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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:張恭銘
研究生(外文):Chang Kung-Ming
論文名稱:添加劑鑭及鉛含量對異質多層鐵電薄膜之影響
指導教授:吳振名
指導教授(外文):Wu Jenn-Ming
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
中文關鍵詞:鐵電薄膜鋯鈦酸鉛異質多層疲勞鉛含量
外文關鍵詞:Ferroelectric thin filmPZTMulti-layerFatiguePb contant
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本實驗以溶凝膠法(sol-gel)法鍍製異質多層結構鋯鈦酸鉛鐵電薄膜,並以微量鑭(La)的添加及不等量鉛的過量,改善其結構及電性.探討其結晶行為、鐵電特性、介電特性、抗疲勞特性、及漏電流性質.實驗所使用的基板為Pt/Ti/SiO2/Si,期望能利用多層結構的方式改善鐵電薄膜應用在白金電極上的各項問題.
結果顯示,以富鈦成分PZT(20/80)為長晶層(Seeding Layer)能有效降低PLZT(0.5/53/47)的Perovskite相結晶溫度至500℃.隨著鉛含量的增加,明顯改變異質多層結構薄膜的結晶性.SIMS結果發現,Sol-gel法鍍製的PZT異質多層薄膜,會因結晶順序不同造成成分偏移,且隨著鉛含量的增加,明顯改善中間層出現嚴重鉛空乏區的現象.
異質多層薄膜的介電性質,如同各成分層之相互串聯,因受介面層影響其介電常數有稍微增減.在鐵電性質部分,隨著鉛過量程度的增加,Ec值下降且呈現不隨輸入電壓變化而改變的現象,鐵電遲滯曲線也較為飽和.此一性質也由實驗證明的確在抗疲勞上顯現極佳的效果. 異質多層結構PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛15%的薄膜,抗疲勞性質,在承受10E10次電場反轉後,皆還有80%以上的極化殘留.此外,亦有相當好的漏電流性質,在250KV/cm電場情況下,可以有小於10-7A/cm2的漏電流值.
由本次實驗的種種分析顯示,PZT(20/80)當做長晶層(Seeding Layer)的異質多層薄膜,的確能降低結晶溫度,並且由過量鉛的調整,進而改善中間層PLZT(0.5/53/47)的結構,使鐵電特性、介電特性、抗疲勞特性、及漏電流性質獲得改善.

目錄
摘要……………………………………………………….…….……….I
目錄…………………………………………………………….……...II
圖表錄………………………………………………………………...III
第一章 簡介…………………………………………………………………..1
第二章 文獻回顧……………………………………………………………..3
1. 現今不同成分組成搭配PZT薄膜之研究…………………………...3
2. 現今三價鑭的添加……………………………………………………5
3 極化疲勞的成因與機制………………………………………….....6
第三章 實驗步驟…………………………………………………… .8
1. 薄膜的製作……………………………………………………………8
2. 特性測量……………………………………………………………...11
第四章 結果與討論………………………………………………………...............13
4.1. 晶體結構分析XRD………………………………………………...13
4.2. 微觀結構分析……………………………………….……………...19
4.3 SIMS成分分析…………………………………………………….22
4.4. 介電特性…………………………………………………………....24
4.5. 鐵電特性…………………………………………………………....28
4.6. 疲勞特性…………………………………………………………....35
4.7 漏電流分析……………………………………………………….…38
第五章 結論………………………………………………………… 39
圖表目錄
圖1.1 : ABO3鈣鈦礦(pervoskite)之結晶結構………………………………………42
圖3.1 : 異質多層薄膜結構示意圖…………………………………………………42
圖3.2 起始溶液製備流程圖………………………………………………………43
圖3.3 : 薄膜旋鍍示意圖……………………………………………………………44
圖3.4 : RT66A鐵電量測系統之等效電路圖………………………………………44
圖3.5 : RT66A鐵電量測系統P-E量測波形…………………………………45圖3.6 : RT66A鐵電量測系統疲勞量測波形………………………………45
圖4.1-1 : PZT(53/47)過量鉛5%不同溫度熱處理XRD結果 ……………46
圖4.1-2 : (a) PLZT(0.5/53/47)過量鉛5%不同溫度熱處理XRD結果….47
圖4.1-2 : (b) PLZT(0.5/53/47)過量鉛10%不同溫度熱處理XRD結果…47
圖4.1-2 : (c) PLZT(0.5/53/47)過量鉛15%不同溫度熱處理XRD結果…48
圖4.1-3 : PLZT(1/53/47)過量鉛10%不同溫度熱處理XRD結果…………49
圖4.1-4 : (a)PZT(20/80)過量鉛5%不同溫度熱處理XRD結果 …………50
圖4.1-4 : (b)PZT(20/80)過量鉛10%不同溫度熱處理XRD結果 ………50
圖4.1-5 : (a)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛5%不同溫度熱處理 XRD結果..51
圖4.1-5 : (b)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛10%不同溫度熱處理XRD結果…………………………………………………..51
圖4.1-5 : (c)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛15%不同溫度熱處理XRD結果……………………………………………………..52
圖4.1-6 : PLZT(20/80-3/53/47-20/80)過量鉛10%不同溫度熱處理XRD
結果………………………………………………………………………..53
圖4.2-1 : PLZT(0.5/53/47)過量鉛10%不同溫度熱處理SEM照片………….54
圖4.2-2 : PLZT(0.5/53/47)過量鉛15%不同溫度熱處理SEM照片……………….55
圖4.2-3 : PZT(20/80)不同溫度熱處理SEM照片…………………………………56
圖4.2-4 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛5%不同溫度熱處理
SEM照片………………………………………………………………….57
圖4.2-5 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛10%不同溫度熱處理
SEM照片………………………………………………………………….58
圖4.2-6 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛15%不同溫度熱處理
SEM照片………………………………………………………………….59
圖4.2-7 : 異質多層結構薄膜截面圖……………………………………………….60
圖4.2-8 : 異質多層結構薄膜截面圖……………………………………………….61
圖4.3-1 : (a)PLZT(0.5/53/47)過量鉛5% 650℃熱處理SIMS縱深成分分析……..62
圖4.3-1 : (b)PLZT(0.5/53/47)過量鉛10% 650℃熱處理SIMS縱深成分分析……62
圖4.3-2 : (a)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛5% 6500C熱處理SIMS
縱深成分分析…………………………………………………………..63
圖4.3-2 : (b)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛10% 6500C熱處理SIMS縱深成分分析…………………………………..63
圖4.3-2 : (c)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛15% 6500C熱處理SIMS縱深成分分析……………………………………………..64
圖4.4-1 : PLZT(0.5/53/47)過量鉛5%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子
對頻率(f)的關係…………………………………………………………..65
圖4.4-2 : PLZT(0.5/53/47)過量鉛10%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子
對頻率(f)的關係…………………………………………………………..66
圖4.4-3 : PLZT(0.5/53/47)過量鉛15%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子
對頻率(f)的關係…………………………………………………………..67
圖4.4-4 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛5%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子
對頻率(f)的關係…………………………………………………………..68
圖4.4-5 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛10%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子對頻率(f)的關係…………………………………………..69
圖4.4-6 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)過量鉛15%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子對頻率(f)的關係……………………………………………70
圖4.4-7 : PLZT(20/80-3/53/47-20/80)過量鉛10%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子對頻率(f)的關係……………………………71
圖4.4-8 : PLZT(20/80-5/53/47-20/80)過量鉛10%(a)介電常數(K)(b)介電散逸因子對頻率(f)的關係…………………………………..72
圖4.5-1 : PZT(53/47)鉛過量5%不同熱處理溫度的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃,(c)600℃…………………………………………73
圖4.5-2 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量5%不同熱處理溫度的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃,(c)600℃………………………………………..74
圖4.5-3 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量10%不同熱處理溫度的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃…………………………………………………..75
圖4.5-3 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量10%不同熱處理溫度的P-E曲線
(c)550℃,(d)500℃………………………………………………………..76
圖4.5-4 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量15%不同熱處理溫度的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃………………………………………………………..77
圖4.5-4 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量15%不同熱處理溫度的P-E曲線
(c)550℃,(d)500℃………………………………………………………..78
圖4.5-5 : PLZT(1/53/47)鉛過量10%不同熱處理溫度的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃………………………………………………………..79
圖4.5-5 : PLZT(1/53/47)鉛過量10%不同熱處理溫度的P-E曲線
(c)550℃,(d)500℃………………………………………………………..80
圖4.5-6 : PZT(20/80)鉛過量5%不同熱處理溫度的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃………………………………………………………..81
圖4.5-6 : PZT(20/80)鉛過量5%不同熱處理溫度的P-E曲線
(c)700℃,(d)650℃ (e)5000C……………………………………………82
圖4.5-7 : PZT(20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃……………..……………………………………83
圖4.5-7 : (PZT20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線
(c)600℃,(d)550℃,(e)500℃……………………………………..84
圖4.5-8 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量5%不同熱處理的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃………………………………………………….85
圖4.5-8 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量5%不同熱處理的P-E曲線
(c)600℃,(d)550℃……………………………………………………….86
圖4.5-9 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃……………………………………………….87
圖4.5-9 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線(c)600℃,(d)550℃,(e)500℃……………………………88
圖4.5-10 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)(a)鉛過量5%(b)鉛過量10%不同熱處P-E曲線比較………………………………………89
圖4.5-11 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量15%不同熱處理的P-E曲線(a)700℃,(b)650℃……………………………………………….90
圖4.5-11 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量15%不同熱處理的P-E曲線(c)600℃,(d)550℃………………………………………………….91
圖4.5-11 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線(e)700℃……………………………………………………….92
圖4.5-12 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)(a)7000C(b)6500C(c)6000C(d)5500C對不同鉛過量比較…………………………………………93
圖4.5-13 : PLZT(20/80-3/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線
(a)700℃,(b)650℃……………………………………………………….94
圖4.5-13 : PLZT(20/80-3/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線
(c)600℃,(d)550℃……………………………………………………….95
圖4.5-14 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)變溫下鉛過量10%不同熱處理的P-E曲線(a)700℃,(b)650℃,(c)600℃…………………………96
圖4.5-15 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)變溫下鉛過量15%不同熱處理的P-E曲線(a)700℃,(b)650℃,(c)600℃……………………………97
圖4.6-1 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量5%不同熱處理溫度的疲勞測試……98
圖4.6-2 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量10%不同熱處理溫度的疲勞測試……99
圖4.6-3 : PLZT(0.5/53/47)鉛過量15%不同熱處理溫度的疲勞測試…100
圖4.6-4 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量5%不同熱處理溫度
的疲勞測試………………………………………………101
圖4.6-5 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理溫度
的疲勞測試………………………………………………………………102
圖4.6-6 : PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量15%不同熱處理溫度
的疲勞測試………………………………………………………………103
圖4.6-7 : PLZT(20/80-3/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理溫度
的疲勞測試………………………………………………………………104
圖4.7-1 : (a)PLZT(0.5/53/47)鉛過量10%不同熱處理溫度漏電流
對電場關係………………………………………………………………105
圖4.7-1 : (b)PLZT(0.5/53/47)鉛過量15%不同熱處理溫度漏電流
對電場關係………………………………………………………………105
圖4.7-2 : (a)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量5%不同熱處理溫度漏電流對電場關係…………………………………………106
圖4.7-2 : (b)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量10%不同熱處理溫度漏電流對電場關係……………………………………………………106
圖4.7-2 : (a)PLZT(20/80-0.5/53/47-20/80)鉛過量15%不同熱處理溫度漏電流對電場關係………………………………………………………107

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13. 陳錦全,「美國法院對營業秘密防護措施」,資訊法務透析,11月(民國七十八年),2。
14. 湯明輝,「美國營業秘密保護制度」,美國月刊,第8卷,第5期(民國八十二年),90-103。
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