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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王聖元
論文名稱:外置式線圈離子化物理氣相沉積系統之電漿特性量測
指導教授:寇崇善
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:46
中文關鍵詞:外置式線圈離子化物理氣相沉積物理氣相沉積電感式耦合電漿源電漿特性
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實驗室內原本的離子化物理氣相沉積系統(Ionized-PVD)是使用電感式耦合電漿源(Inductively Coupled Plasma 簡稱 ICP),而在系統設計上電感線圈是放置於真空腔體內。現在將電感線圈改繞於真空腔體外,形成一個外置式電感式耦合電漿源的離子化物理氣相沉積系統,改變系統裝置後另外加入法拉第盾(Faraday shield),再研究新系統的電漿特性。包括:電漿電位、電漿密度、電子溫度和電子能量分佈函數。另外在和一個簡單的電漿模型做比較,使我們能更加了解電漿特性。
目錄
第一章:緒論 1
1.1 研究目的 ……………………………………………… 1
1.2 Ionized-PVD ………………………………………… 1
1.3:ICP原理 ……………………………………………… 3
第二章:實驗安排 5
2.1 儀器介紹 ……………………………………………… 5
2.2 Faraday shield與電漿源 …………………………… 7
2.3 量測系統 ……………………………………………… 10
2.3.1 Langmuir probe 的結構 ……………………… 12
第三章:探針理論 14
3.1 簡介 …………………………………………………… 14
3.1.1 典型的I-V曲線 ……………………………… 14
3.2 電漿參數的計算 ……………………………………… 16
3.2.1 平面型探針 …………………………………… 16
3.2.2 EEDF理論 …………………………………… 18
第四章:電漿模型的理論 22
4.1 理論的架構 …………………………………………… 22
4.1.1 電子溫度 ……………………………………… 28
4.1.2 電漿密度 ……………………………………… 30
4.2 計算的結果 …………………………………………… 31
4.3 理論計算的結果 ……………………………………… 32
第五章:實驗結果與討論 35
5.1 基本電漿特性量測結果 ……………………………… 35
5.2 結論 …………………………………………………… 46
參考文獻
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