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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:張嘉萍
論文名稱:內置式線圈之游離物理氣相沉積系統的電漿特性量測
指導教授:寇崇善
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:27
中文關鍵詞:電漿量測氬氣氮氣
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我們利用蘭米爾探針、光譜儀、質譜儀量測內置式線圈之IPVD系統,目的為了解純Ar與純N2電漿特性及發展不同的電漿研究方式。作法為(1)利用光譜儀配合光譜理論corona 模型,以及用蘭米爾探針求得的電子溫度,求出在不同氣壓下之電子溫度,還配合一簡單的載子平衡公式作為理論,確定此作法之可信度。(2)探討經由一接地的孔隙來萃取電漿粒子時,所要考慮的因素,以及得到何種特性曲線。(3)利用光譜儀、質譜儀探討電漿加入鋁原子的變化。

Chapter 1 簡介
1.1 研究目的 …………………………………………… 1
1.2 Ionized PVD …………………………………………1
1.3 ICP電漿的原理 ………………………………………3
Chapter 2 實驗安排 ……………………………………………4
Chapter 3 電漿量測方法及分析原理
3.1 探針 …………………………………………………7
3.2 光譜儀 ………………………………………………8
3.2.1 光譜儀的結構與操作
3.2.2 光譜理論
3.3 質譜儀 ………………………………………………12
3.3.1 質譜儀的結構與操作
3.3.2 質譜儀操作的原理
Chapter 4 實驗結果與討論
4.1 基本電漿特性量測
4.1.1 探針與光譜儀的電子溫度比較 ………………18
4.1.2 電漿密度與質譜儀的計數關係 ………………20
4.2 電漿加入鋁原子的變化
4.2.1 光譜儀結果 ………………………………………22
4.2.2 質譜儀結果 ………………………………………23
Chapter 5 結論 …………………………………………………27
Reference …………………………………………………………28

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