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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:鄭吉成
論文名稱:雙層光阻材料回溫形成微透鏡之製程
論文名稱(外文):Processing of micro-lens by reflow of dual photoresist
指導教授:賀陳弘賀陳弘引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
中文關鍵詞:光阻回溫微透鏡
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微透鏡應用在光纖通訊上越來越廣泛,微透鏡發展出許多製造方法,其中大部分昂貴且費時。本研究中的製造方法不僅省時而且可以製作出接近球狀的微透鏡。為了瞭解微透鏡成形的參數作用,探討直徑、聚合物和光阻的厚度、回溫時間與溫度等條件對於微透鏡幾何形狀的影響。實驗結果顯示,若以形成球狀而言,深寬比大約5比3、聚合物厚度大且回溫溫度僅需在特定溫度以上,便能形成微球透鏡。曲率半徑之檢測可經由簡單的影像處理來得到。
目 錄
摘要……………………………………………………………………..Ⅰ
誌謝……………………………………………………………………..Ⅱ
目錄……………………………………………………………………..Ⅲ
表目錄…………………………………………………………………..Ⅵ
圖目錄…………………………………………………………………..Ⅶ
第一章 緒論……………………………………………………………..1
1.1 前言……………………………………………………………..1
1.2 微透鏡的應用…………………………………………………..3
1.3 研究背景與目的………………………………………………..4
1.4 文獻回顧………………………………………………………..5
1.4.1 表面輪廓透鏡…………………………………………...6
1.4.1.1 光阻回流法……………………………………..6
1.4.1.2 基材膨脹收縮法………………………………..7
1.4.1.3 微影印刷PMMA成長法………………………7
1.4.1.4 滴製法…………………………………………..9
1.4.2 漸變折射率透鏡………………………………………...9
1.4.2.1 圓柱狀漸變折射率透鏡………………………10
1.4.2.2 平面狀漸變折射率透鏡………………………11
第二章 微透鏡的光學原理……………………………………………12
第三章 製程實驗………………………………………………………19
3.1 製程原理…………………………………………………19
3.2 光罩設計…………………………………………………20
3.3 製程設計…………………………………………………22
3.4 製程參數…………………………………………………23
3.4.1 光阻厚度………………………………………...24
3.4.2 烘烤時間………………………………………...24
3.4.3 曝光時間………………………………………...25
3.4.4 顯影時間………………………………………...25
3.4.5 烤箱溫度………………………………………...26
3.5 製程設備…………………………………………………27
3.6 微透鏡量測………………………………………………29
3.6.1 掃瞄式電子顯微鏡(SEM)……………………..30
3.6.2 C++程式測算曲率半徑…………………………30
3.6.3 干涉式表面形狀量測儀(interferometer)……….31
3.6.4 光阻材料之折射率……………………………...34
第四章 實驗結果與討論………………………………………………35
4.1圓直徑的影響……………………….……………………35
4.2聚合物厚度的影響………………….……………………37
4.3 溫度的影響………………………………………………37
4.4 影響良率的因素…………………………………………39
4.5製程成本與時間比較…………………………………….40
第五章 結論……………………………………………………………55
參考文獻………………………………………………………………..56
附錄:實驗數據…………………………………………………………58
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