臺灣博碩士論文加值系統

在全球競爭環境下，企業為了永續經營，紛紛尋求資訊科技的輔助，應用與累積企業的內部知識，快速且確實落實企業策略。然而進行公司內部資源整合與收集時常常會遭受極大的阻力，使得產業知識無法累積與使用。 然而半導體製造業是一種要求高精密度且技術密集的工業，昂貴的生產設備佔所有生產成本的比例相當的高，而且生產設備能否正常運作對半導體製造的產能、良率與品質將會造成直接的影響。至於在半導體設備維修方面，目前國內半導體設備的維修主要還是靠著工程師與專家的經驗與維修手冊來執行，但因為離職或退休等種種因素使得許多工程師與專家的經驗與知識無法傳承下來，而且都常要從厚厚的維修手冊中找出正確的維修知識也使得維修效率不彰。另一方面，半導體製造設備種類繁多、技術性高等因素亦增加了故障維修的困難。
因此，本研究針對半導體設備故障維修的作業流程，利用一系列的知識管理活動，構建一整合知識管理與設備維修流程之模型，除此之外還開發一套以案例式推理(Case-Based Reasoning)為基礎的線上設備維修知識管理雛型系統，將電漿化學氣相沉積設備(PECVD)複雜的故障維修知識加以分類並作有系統的歸納，使得維修人員可以利用此系統有效率地得到故障維修上的正確資訊，以作為設備故障維修決策的重要參考依據。
本研究所構建的線上設備維修知識管理系統有以下幾個優點:圖形化介面操作容易、利用網路瀏覽器隨時可使用本系統、可以有效率地搜尋到相關的維修案例資料、故障診斷相似度演算法與參數值可作適度的修改使系統更具有彈性。

第一章 緒論
1.1 研究背景與動機
1.2 研究目的
1.3 研究範圍與限制
1.4 研究步驟
1.5 研究架構
第二章 文獻探討
2.1案例式推理(Case-based Reasoning )
2.1.1 案例式推理基本理論
2.1.2 案例式推理的起源與歷史
2.1.3 案例式推理的循環運作流程
2.1.4 案例式推理的優缺點
2.2 知識管理活動與推行
2.2.1 知識的定義
2.2.2 何謂知識管理
2.2.3 知識管理的主要活動
2.2.4 知識管理的推行
2.3 故障診斷相關文獻
2.4 半導體設備簡介
2.4.1 IC製程前段設備
2.4.2 IC製程後段設備
2.4.3 IC檢測設備
2.4.4 相關周邊設備
2.5 半導體設備產業特性
第三章 線上設備維修知識管理系統架構規劃與設計
3.1 知識管理整合設備維修流程之模式探討
3.1.1 現行設備維修流程
3.1.2 設備維修資料需求
3.1.3 半導體設備維修之知識管理
3.1.4 知識管理整合設備維修流程
3.2 電漿化學氣相沉積(CVD)設備介紹
3.2.1 CVD設備簡介
3.2.2 電漿CVD設備簡介
3.2.3 電漿CVD設備各子系統之結構
3.2.4 電漿CVD設備故障種類分析
3.3 線上設備維修知識管理系統架構規劃
3.3.1 故障診斷功能
3.3.1.1 故障診斷功能說明
3.3.1.2 故障診斷相似度演算法
3.3.2 案例維護功能
3.3.3 指標權重維護功能
3.3.4 系統架構推展至其他設備之探討
第四章 實作線上設備維修知識管理雛型系統
4.1 構建系統之環境與工具
4.2 實作系統流程與功能說明
4.2.1 使用者認證功能
4.2.2 故障診斷功能
4.2.3 案例維護功能
4.2.4 指標權重維護功能
4.3 實作系統成效探討
第五章 結論與建議
5.1 結論
5.2 未來研究方向與建議
參考文獻
附錄 指標權重及相似度值

中文部份:
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ITIS 產業資訊服務網: http://www.itis.org.tw/
台灣應用材料公司網站: http://www.amt.com.tw/
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