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研究生:林山
論文名稱:新型銅金屬錯合物的合成及其在選擇性化學氣相沉積的應用
指導教授:季昀季昀引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學系
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2003
畢業學年度:91
語文別:中文
論文頁數:119
中文關鍵詞:銅化合物化學氣相沉積選擇性沉積
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本篇論文為研究戊酮亞胺銅金屬錯合物的合成、性質探討與其在化學氣相沉積的應用。我們以K-10為催化劑合成出一系列戊酮亞胺類化合物1a、1b、2a、2b和3a,將這些化合物作成鈉鹽與氯化銅反應,可得到一系列具有高揮發性且在空氣下穩定的錯合物4a、4b、5a、5b及6a,這些錯合物的特性,如熱物理性質和X-ray繞射結構等,皆詳述於論文中。
最後我們選取錯合物4a、5a和6a作為化學沉積的前驅物,以冷壁式反應器在SiO2的基材上沉積銅薄膜,於實驗進行中,我們觀察到錯合物5a具有選擇性沉積的特性,可以在具有SiO2圖形的Si基板上沉積出圖形化的銅膜。所有鍍製出來的金屬薄膜皆由掃描式電子顯微鏡、四點探針及ESCA進行分析和鑑定,並在論文中探討影響薄膜純度、表面形貌,和電性表現的原因。

第一章、序論 1
第一節、前言 1
第二節、化學氣相沉積簡介 7
第三節、銅金屬化學氣相沉積之文獻回顧 13
第四節、研究動機 23
第二章、實驗部分 24
第一節、一般敘述 24
(一)藥品 24
(二)直立冷壁式化學氣相沉積裝置 24
(三)分析工具 27
第二節、實驗步驟 32
第一部份、銅金屬錯合物的合成 32
第二部份、化學氣相 41
第三章、結果與討論 43
第一節、銅金屬錯合物之結構解析與性質探討 43
第一部份、銅金屬錯合物之結構解析 43
第二部份、錯合物之物理及化學性質探討 58
第二節、銅金屬薄膜的微結構與物理性質的探討 68
第四章、結論 108

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