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研究生:廖彥發
研究生(外文):Yan-Fa Liao
論文名稱:離子束濺鍍鎳鐵合金薄膜結構與磁特性之研究
指導教授:李志浩李志浩引用關係
指導教授(外文):Chin-Hao Lee
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工程與系統科學系
學門:工程學門
學類:核子工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2003
畢業學年度:91
語文別:中文
論文頁數:69
中文關鍵詞:鎳鐵合金坡莫合金離子束濺鍍同步輻射
外文關鍵詞:permalloyIBSDNSRRC
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我們主要是利用架設在清華大學工科系真空薄膜實驗室的離子束濺鍍系統製備磁性薄膜,離子束濺鍍沈積法(Ion Beam Sputter Deposition)製備鎳鐵合金薄膜,具有堆積密度高,薄膜粗糙度較低等優點,而且鎳鐵合金為一個工業界大量應用的軟磁性材料,而鎳鐵合金奈米薄膜的成長機制(鍍膜速率、成長溫度與入射離子方向引致磁異向性)結構和磁性的關係,在未來的磁性元件應用上,將是一個重要的問題。我們主要利用磁光柯爾效應(Magnetic-Optical Kerr Effect)去量測薄膜的磁性,再利用國家同步輻射研究中心(NSRRC)的光束線來分析鎳鐵合金奈米薄膜的成分比例與薄膜的結構特性,藉以釐清薄膜成長條件與結構和磁性的關連性。

We builf up an Ion Beam Sputter Deposition System(IBSD) in the department of Engineering and System Science, NTHU. We utilise this system to prepare NiFe thin film. The thin film made by IBSD has the advantages higher packing density and lower roughness. The NiFe are soft magnetic material usually used in commercial product and it’s structure and magnetic are important problem to nano-magnetic devices. The NiFe thin film structure might be affected by the thin film growth condition (deposition rate, growth temperature and ion entering direction induced magnetic anisotropy). We utilise MOKE to measure the NiFe thin film magnetism and NSRRC beam line to determine the thin film structure and composition of NiFe. We will compare the thin film growth condition, structure and magnetic property in this thesis.

目 錄
第一章 文獻回顧……………….……………………...1
1-1研究動機
1-2歷史背景與應用
第二章 基本理論………………………………………9
2-1離子束濺鍍沈積法
2-2薄膜沈積行為的理論
2-3薄膜磁性的研究
2-4磁異向性
2-5薄膜結構對磁性的影響
第三章 樣品製備與實驗儀器……….………………24
3-1基板準備
3-2離子束濺鍍系統
3-3樣品生成
3-4實驗量測儀器
3-5磁光柯爾效應
第四章實驗結果與討論………….……….…………37
4-1表面形貌測量儀
4-2 X-ray反射率實驗
4-3 X-ray繞射實驗
4-4 MCD之量測
4-5 MOKE量測
4-6 X-ray吸收光譜
4-7 X-ray螢光分析
4-8實驗結果討論
4-9實驗檢討
第五章 結論…………………………………………64
參考文獻
附錄A

(1) B. D. Cullity, ”Introduction to magnetic materials”,
Addison-Wesley, (1972).
(2) R. M. Bozorth, Phys. Rev., 70, 923, (1946)
(3) L. W. McKeehan, P. P. Cioffi,Phys. Rev., 28, 146, (1926)
(4) R. Lawrence, “Introduction to Magnetism and Magnetic
Recording”. Comstock ,(1999).
(5) Donald L. Smith, “Thin-Film Deposition principles &
practice”, McGraw-Hill Inc., (1992).
(6) Milton Ohring,”The Materials Science of Thin Film”,
Academic press. INC., (1992) Tadatsugu Itoh, “Ion Beam
Assisted Film Growth”, Elsevier, (1989).
(8) Jiles D, ”Introduction to Magnetism and Magnetic
Materials”, Chapman and Hill, (1991).
(9) R. Mary, Phys. Rev., 18, 245, (1921).T. Takahashi, T. Kato,
S. Iwata, S. Tsunashima, Surf. Sci., 493, 731, (2001).
(11) Borsa F., Tognetti V. et al ,”Magnetic Properties of
Matter”, World Scientific, (1986).
(12) 陳文娟, “Ni80Fe20╱Ru╱Ni80Fe20三層膜磁耦合隨著Ru厚度變化
之研究”, 國立成功大學物理系碩士論文.
(13) Borsa F., Tognetti V. et al, ”Magnetic Properties of
Matter”, World Scientific, (1986).
(14) Akio Fujiwara, J. Vac. Sci. Technol. A, 9, 141, (1991).
(15) M. A. Ruderman, C. Kittel, Phys. Rev., 96, 99, (1954).
(16) J. Young, B. K. Lee, G. S. Park, M. Uchida , J. Magn.
Magn. Mater., 235, 53, (2001)
(17) S. H. Lim, S. H. Han, H. J. Kim, S. H. Song, D. Lee, J.
Appl. Phys., 87, 5801, (2000)
(18) X. Liu, G. Zangari, J. Appl. Phys., 90, 5247 (2001)
(19) A. M. Zeltser, N. Smith, J. Appl. Phys., 79, 9224, (1996)
(20) M. L.Watson, W. D. Doyle, H. Fujiwara, S. Hossain,J. Appl.
Phys. 73(10), 5518, (1993).
(21) M. F. Gillies,and A. E. T. Kuiper, J. Appl. Phys., 88 (10), 5894, (2000)
(22) H. J. M. Swagton, and G.. J.strijkers, P. J. H.Bloemen,
et al.,Phys Rev B, 53 (14), 9108, (1996)
(23) W. F. Egelhoff, Jr, T. Ha, R . D . K. Misra, et al., J
Appl.Phys., 78(1), 273, (1995)
(24) M. F. Gillies, A. E. T. Kuiper, and G.W. R. Leibbrandt, J.
Appl. Phys., 89(11), 6922, (2001)
(25) H. Sakakima, M. Satomi, Y. Sugita, and Y. Kawawake, J.
Magn. Magn. Mater., 210, L20, (2000)
(26) V. Kottler, M. F. Gillies, and A. E. T. Kuiper, J. Appl.
Phys., 89, 3301, (2000)
(27) H. Fukuzawa, K. Koi, H. Tomita, H. N. Fuke, Y.
Kamiguchi,H. Iwasaki, M. Sahashi, J. Magn. Magn. Mater.,
235, 208, (2001).
(28) U. Bovensiepen, Hyuk J. Choi and Z. Q. Qiu, Phys.Rev. B,
61, 3235, (2000)
(29) M. Baibach, J. Broto, A. Fert, F. Nguyen Ven Dau, and F.
Petroff, Phys. Rev. Lett., 61, 2472, 1988. (30). L. G.
Parratt, Phys. Rev., 95, 359, (1954).
(31) Yamauchi H.,Mizoguchi T., J. Phys. Soc. Japan., 39, 542,
(1975)
(32) Jiles D.,”Introduction to Magnetism and Magnetic
Materials”, Chapman and Hill, (1991).
(33) Cyrot M. et al,, “Magnetism of materials and alloys”,
North-Holland, (1982).
(34) Bate L. F., “Modern Magnetism 4th”,Cambridge, (1961).
(35) Borsa F., Tognetti V. et al,,”Magnetic Properties of
Matter”, World Scientific, (1986).

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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