臺灣博碩士論文加值系統

中文摘要
在競爭激烈的半導體工業中，利用設備自動化來提高產量及品質，已是普遍的共識且行之有年。但由於設備的自動化受限於機台本身，或不同機台間的通訊介面問題，而無法規劃成為一整體性的自動化流程。因此世界半導體設備廠商聯盟SEMI於1980年初頒佈SECS 通訊協定標準，此標準係用來規範半導體設備與監控主機間的介面信號，及通訊訊息內容，藉此達到半導體製程之自動化。本研究係發展一套符合SEMI標準之人機介面程式，軟體方面則利用VISUAL BASIC 6.0來撰寫人機介面程式，並與套裝軟體WinSecs進行連線互傳測試。

ABSTRACT
In the sharp competitive semiconductor industry, utilizing automatic manufacturing equipment to upgrade quantity and quality has been the consensus in the industry for years. There is no way to plan a complete and integrated automatic process system because of the automatic problem of the machine itself or the communication interface problem among various machines. So Semiconductor Equipment And Material International (SEMI) promulgated Semiconductor Equipment Communication Standard (SECS), in early 1980, this particular standard specifies the interface signals between semiconductor manufacturing equipment, master monitoring controllers and the content of communication information in order to promote automation of semiconductor manufacturing. This study is to develop an interface program to meet the SEMI standard. The second human-machine interface programs are written in VB6.0 language. Another purpose of this study is to introduce the WinSecs interface and it’s communication with the SECS Interface.

授權書．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．iii
中文摘要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．vi
英文摘要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．v
致謝．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．vi
目錄．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．vii
圖目錄．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．ix
表目錄．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．xii
第一章　緒論
1.1簡介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．1
1.2研究動機．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2
1.3內容摘要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
第二章　SECS-Ⅱ通訊協定之簡介
2.1 SECS-Ⅱ簡介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
2.2 SECS-Ⅱ資料結構．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.3 SECS物件結構．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．8
第三章　簡介HSMS 標準
3.1簡介HSMS．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
3.2 HSMS的連線狀態圖．．．．．．．．．．．．．．．． ．10
3.3 HSMS訊息交握程序．．．．．．．．．．．．．．．． ．12
3.4 HSMS訊息格式．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．13
第四章　ISECS介面程式的規劃與實現
4.1架構與說明．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
4.2 ISECS程式介面規劃．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.3 ISECS程式介面實現．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.3.1介面功能說明．．．．．．．．．．．．．．．．．19
第五章　ISECS介面程式測試並與WinSecs連線測試結果
5.1 ISECS介面程式測試．．．．．．．．．．．．．．．．．43
5.1.1 ISECS介面程式參數設定．．．．．．．．． ．． 43
5.1.2 ISECS介面程式連線．．．．．．．．．．． ．． 45
5.2 ISECS與WinSecs 連線測試．．．．．．．．．．．．．．47
5.2.1 WinSecs簡介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
5.2.2 WinSecs參數設定．．．．．．．．．．．．．．．．．47
5.2.3 ISECS與WinSECS 連線測試．．．．．．．．．．．．．49
第六章　結論．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．53
附錄．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．54
參考文獻．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．58
圖目錄
圖1.1自動化架構圖．．．．．．．．．．．．．．．． ．． 2
圖2.1 Stream及Function配置圖．．．．．．．．．．． ． 5
圖2.2 SECS-Ⅱ定義的Stream和Function ．．．．． ．．． 5
圖2.3 Item和List 的Header．．．．．．．．．．．．．．．7
圖2.4 Secs 結構圖．．．．．．．．．．．．．．．．． ． 9
圖3.1 HSMS狀態圖．．．．．．．．．．．．．．．． ．．12
圖4.1架構圖．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
圖4.2引用元件庫．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
圖4.3 Main主表單畫面．．．．．．．．．．．． ．．．．．20
圖4.4新增New Transaction．．．．．．．．．．．．．．． 21
圖4.5刪除Transaction及其子代．．．． ．．．． ．．．． 22
圖4.6正在編輯之Library ．．．．．．．．．．．． ．．． 23
圖4.7初始畫面．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
圖4.8開啟指定*.SML檔．．．．．．．．．．．．．． ．． 24
圖4.9產生資料樹．．．．．．．．．．．．．．．．．． ． 24
圖4.10 正在編輯之Library．．．．．．．．．．．．． ．．25
圖4.11顯示上述畫面供使用者設定檔案名稱與位置．．．．． 25
圖4.12開啟通訊埠．．．．．．．．．．．．．．．．．．． 26
圖4.13關閉通訊埠．．．．．．．．．．．．．．．．．．． 27
圖4.14 Send Message．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
圖4.15 General 標籤頁面．．．．．．．．．．．．．．．．29
圖4.16 HSMS 標籤頁面．．．．．．．．．．．．．．．．． 31
圖4.17 SECSEdit表單晝面．．．．．．．．．．．． ．．． 31
圖4.18未AddChild前．．．．．．．．．．．．．．． ．．．33
圖4.19 AddChild後．．．．．．．．．． ．．．．．． ．．33
圖4.20未New Transaction 前．．．．．． ．．．． ．．． 34
圖4.21 New Transaction後．．． ．．．．．．．．．．．．34
圖4.22未Duplicate 前 ．．．．．．．．．．．．．． ．． 35
圖4.23 Duplicate後．．．．．． ．．．．．．．．．．．．36
圖4.24未DELETE前．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．37
圖4.25 DELETE後．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
圖4.26 未Insert Sibling前．．．．．．．．．．．．．．．38
圖4.27 Insert Sibling 後．．．．．．．．．．．． ．．．38
圖4.28複製節點內資料．．．．．．．．．． ．．．．．．．40
圖4.29貼到S1F2之子代．．．．．．．．．．．．．．． ．．40
圖4.30拖拉資料．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．41
圖4.31拖拉至S1F2之子代．．．．．．．．．．．．． ．．．41
圖4.32 SECSEdit檔案功能表．．．．．．．．． ．．．．． 42
圖5.1讀取共同的SML檔．．．．．．．．．．．．．．． ．．44
圖5.2HSMS參數設定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
圖5.3 ISECS相互連線．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
圖5.4由主動端傳送S1F3到被動端是否確定傳送．．．．． ． 45
圖5.5確定主動端傳送與被動端接收S1F3．．．．．．． ．． 45
圖5.6由被動端傳送S1F5到主動端．．．．．． ．．．．． ．46
圖5.7確定由被動端傳送與主動端接收S1F5．． ．．．．．． 46
圖5.8由主動端進行連線中斷．．．．．．．．．．．．．．．46
圖5.9 WinSECS讀取共同SML檔．．．．．．．．．．．． ．．48
圖5.10 WinSECS之HSMS設定．．．．．．．．．．．．．． ．48
圖5.11將兩端Open埠開啟 ．．．．．．． ．．．．．．． ．49
圖5.12兩端連線成功．．．．．．．．．． ．．．．．．．．50
圖5.13傳送S1F1 Transaction．． ．．．． ．．．．．．．51
圖5.14 WinSECS傳送S1F7之Transaction．．．．．．．．．．51
圖5.15中斷連線．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．52
表目錄
表2.1 SECS-Ⅱ定義之Format Code．． ．．．．．．．．．．7
表3.1 HSMS訊息格式．．．．．．．． ．．．．．．．．．．13
表3.2 HSMS訊息標頭．．．．．．．．．．．．． ．．．．．14
表3.3 HSMS訊息格式綜整．．．．．．．．．．．．．． ．．15

參考文獻
[1]SEMI E5-0301 : SEMI EQUIPMENT COMMUNICATION STARDAND 2
MESSAGE TRANSFER(SECS-II)
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學研究院第二研究所飛行控制組，90年
[5]劉志鵬 半導體製程設備之通訊模組(二)SecsMessage物件，中山
科學研究院第二研究所飛行控制組，90年
[6]劉志鵬 半導體製程設備之通訊模組(三)SecsTransaction物件，中
山科學研究院第二研究所飛行控制組，90年
[7]劉志鵬 半導體製程設備之通訊模組(四)SecsLibrary物件，中山
科學研究院第二研究所飛行控制組，90年
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