跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(3.236.84.188) 您好!臺灣時間:2021/08/05 00:30
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

: 
twitterline
研究生:李建德
研究生(外文):Kan-Der Lee
論文名稱:氮化鋁銦鎵藍紫光雷射二極體之研製
指導教授:綦振瀛
指導教授(外文):Jen-Inn Chyi
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:75
中文關鍵詞:乾蝕刻藍紫光雷射二極體氮化鎵
相關次數:
  • 被引用被引用:6
  • 點閱點閱:166
  • 評分評分:
  • 下載下載:42
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
  本論文的研究主題為氮化鎵藍紫光雷射二極體,從第一章導論中簡介藍光雷射二極體重要性及應用,與雷射二極體的原理及運作,和藍光雷射二極體的發展歷史,及目前各研究單位的近況。第二章為結構與製程相關的細部說明,第三章在n型電極製作與蝕刻製程的問題分析,第四章的電性與光性之量測結果,以及第五章結論等等,共分成主要五個章節,討論藍光雷射二極體製作的相關技術及問題。
論文摘要 I
致謝 II
目錄 III
圖片索引 V
表格索引 VII
第一章 導論 1
1.1簡介 1
1.2雷射二極體原理 4
1.2.1雷射二極體的發現與演進 4
1.2.2雷射二極體的原理與運作 6
1.3發展與現況 9
1.3.1發展 9
1.3.2現況 10
第二章 結構與製程 18
2.1結構 18
2.1.1低溫緩衝層 19
2.1.2調變摻雜超晶格結構披覆層 19
2.2製程 21
2.2.1劈裂製程 21
2.2.2研磨製程 21
2.2.3清潔製程 22
2.2.4微影製程 24
2.2.5薄膜製程 26
2.2.6蝕刻製程 27
2.2.7高溫製程 29
第三章 製程問題分析 33
3.1電極製作 33
3.1.1 n型歐姆接觸 34
3.1.2 n型歐姆接觸的處理 39
3.2乾蝕刻製程 43
3.2.1 機台簡介與遮罩選用 43
3.2.2 蝕刻條件測試 45
第四章 雷射二極體之量測與分析 53
4.1元件電性 53
4.2元件光性 56
4.3光功率-電流曲線 62
第五章 結論 66
參考文獻 68
[1] V. Yu. Davydov, A. A. Klochikhin, V. V. Emtsev, S. V. Ivanov,
V. V. Vekshin, F. Bechstedt, J. Furthmüller, H. Harima,
A. V. Mudryi, A. Hashimoto, A. Yamamoto, J. Aderhold,
J. Graul, and E. E. Haller:
phys. stat. sol. (b), Vol. 230, No. 2, pp. R4-R6 (2002)
[2] R. N. Hall, G. E. Fenner, J. D. Kingsley, T. J. Soltys,
and R. O. Carlson:
Phys. Rev. Lett., Vol. 9, No. 9, pp.366-368 (1962)
[3] 郭奕玲 沈慧君編著, 李精益校定,
“科學的榮耀 諾貝爾物理學獎 百年回顧”,
科技圖書股份有限公司 (2002)
[4] M. B. Panish, I. Hayashi, and S. Sumski:
Appl. Phys. Lett., Vol. 16, No. 8, pp.326-327 (1970)
[5] I. Hayashi, M. B. Panish, P. W. Foy and S. Sumski:
Appl. Phys. Lett., Vol. 17, No. 3, pp.109-111 (1970)
[6] R. Dingle, W. Wiegmann, and C. H. Henry:
Phys. Rev. Lett., Vol. 33, No. 14, pp.327-330 (1974)
[7] R. Dingle, K. L. Shaklee, R. F. Leheny, and R. B. Zetterstrom:
Appl. Phys. Lett., Vol. 19, No. 1, pp.5-7 (1971)
[8] X. H. Yang, T. J. Schmidt, W. Shan, and J. J. Song:
Appl. Phys. Lett., Vol. 66, No. 1, pp.1-3 (1995)
[9] I. Akasaki, H. Amano, S. Sota, H. Sakai, T. Tanaka,
and M. Koike:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 34, No. 11B, pp.L1517-L1519 (1995)
[10] I. Akasaki, S. Sota, H. Sakai, T. Tanaka, M. Koike,
and H Amano:
Electronics Letters, Vol. 32, No. 12, pp.1105-1106 (1996)
[11] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, H. Kiyoku, and Y. Sugimoto:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 35, No. 1B, pp.L74-L76 (1996)
[12] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku:
Appl. Phys. Lett., Vol. 69, No. 10, pp.1477-1479 (1996)
[13] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku:
Appl. Phys. Lett., Vol. 69, No. 20, pp.3034-3036 (1996)
[14] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku:
Appl. Phys. Lett., Vol. 69, No. 26, pp.4056-4058 (1996)
[15] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku:
Appl. Phys. Lett., Vol. 70, No. 7, pp.868-870 (1997)
[16] K. Itaya, M. Onomura, J. Nishio, L. Sugiura, S. Saito:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 35, No. 10B, pp.L1315-L1317 (1996)
[17] A. Kuramata, K. Demon, R. Soejima, K. Horino, S. Kubota,
and T. Tanahashi:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 36, No. 9A/B, pp.L1130-L1132 (1997)
[18] A. Kuramata, S. Kubota, R. Soejima, K. Domen, K. Horino,
and T Tanahashi:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 37, No. 11B, pp.L1373-L1375 (1998)
[19] A. Kuramata, S. Kubota, R. Soejima, K. Domen, K. Horino,
P. Hacke, and T Tanashi:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 38, No. 5A, pp.L481-L483 (1999)
[20] A. Tsujimura, Y. Hasegawa, A. Ishibashi, S. Kamiyama,
I. Kidoguchi, R. Miyanaga, M. Suzuki, M. Kume,
K. Harafuji, and Y. Ban:
Electronics Letters, Vol. 35, No. 12, pp.998-999 (1999)
[21] A. Tsujimura, A. Ishibashi, Y. Hasegawa, S. Kamiyama, I. Kidoguchi, N. Otsuka, R. Miyanaga, G. Sugahara,
M. Suzuki, M. Kume, K. Harafuji, and Y. Ban:
phys. stat. sol. (a) 176, No. 1, pp.53-57 (1999)
[22] D. P. Bour, M. Kneissl, L. T. Romano, M. D. McCluskey,
C. G. Van deWalle, B. S. Krusor, R. M. Donaldson,
J. Walker, C. Dunnrowicz, and N. M. Johnson:
IEEE Journal of Selected Topics Quantum Electronics,
Vol. 4, No. 3, pp498-504 (1998)
[23] D. P. Bour, M. Kneissl, C. G. Van deWalle, J. Northrup,
L. T. Romano, M. Teepe, R. Wood, T. Schmidt,
and N. M. Johnson:
phys. stat. sol. (a), Vol. 180, No. 1, pp.139-147 (2000)
[24] F. Nakamura, T. Kobayashi, T. Tojo, T. Asatsuma,
K. Naganuma, H. Kawai, and M. Ikeda:
Electronics Letters, Vol. 34, No. 11, pp.1105-1107 (1998)
[25] G. E. Bulman, K. Doverspike, S.T. Sheppard, T. W. Weeks,
H. S. Kong, H. M. Dieringer, J. A. Edmond, J. D. Brown,
J. T. Swindell, and Schetzina:
Electronics Letters, Vol. 33, No. 18, pp.1556-1557 (1997)
[26] G. E. Bulman, K. Doverspike, K. W. Haberern, H. Dieringer, H. S. Kong, J. A. Edmond, Y. K. Song, M. Kuball,
and A. V. Nurmikko:
Proceedings of SPIE, Vol. 3628, pp.1556-1557 (1999)
[27] H. Katoh, T. Takeuchi, C. Anbe, R. Mizumoto, S. Ymaguchi, C. Wetzel, H. Amano, I. Akasaki, Y. Kaneko, and N. Yamada:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 37, No. 4B, pp.L444-L446 (1998)
[28] K. Iida, T. Kawashima, A. Miyazaki, H. Kasugai, S. Mishima,
A. Honshio, Y. Miyake, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano,
and I. Akasaki
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 43, No. 4A, pp.L499-L500 (2004)
[29] M. Kneissl, D. P. Bour, N. M. Johnson, L. Romano, B. Krusor,
R. Donaldson, J. Walker, C. Dunnrowicz, and R. Bringans:
Appl. Phys. Lett., Vol. 72, No. 13, pp.1539-1541 (1998)
[30] M. Kneissl, D. P. Bour, C. G. Van de Walle, L. T. Romano,
J. E. Northrup, R. M. Wood, M. Teepe, and N. M. Johnson:
Appl. Phys. Lett., Vol. 75, No. 4, pp.581-583 (1999)
[31] M. Kneissl, D. P. Bour, L. Romano, C. G. Van de Walle,
J. E. Northrup, W. S. Wong, D. W. Treat, T. Schmidt,
and N. M. Johnson:
Appl. Phys. Lett., Vol. 77, No. 13, pp.1931-1933 (2000)
[32] M. Kneissl, T. L. Paoli, P. Kiesel, D. W. Treat, M. Teepe,
N. Miyashita, and N. M. Johnson:
Appl. Phys. Lett., Vol. 80, No. 18, pp.3283-3285 (2002)
[33] M. Kneissl, W. S. Wong, D. W. Treat, M. Teepe, N. Miyashita,
and N. M. Johnson:
IEEE Journal of Selected Topics Quantum Electronics,
Vol. 7, No. 2, pp188-191 (2001)
[34] M. Kneissl, W. S. Wong, D. W. Treat, M. Teepe, N. Miyashita,
and N. M. Johnson:
phys. stat. sol. (a), Vol. 188, No. 1, pp.23-29 (2001)
[35] M. Kneissl, D. W. Treat, M. Teepe, N. Miyashita,
and N. M. Johnson:
phys. stat. sol. (a), Vol. 200, No. 1, pp.118-121 (2003)
[36] M. Koike, S. Yamasaki, Y. Tezen, S. Nagai, S. Iwayama,
and A. Kojima:
MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5S1, W1.2 (2000)
[37] M. Kuramoto, A. Kimura, C. Sasaoka, T. Arakida, M. Nido,
and M. Mizuta:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 40, No. 9A/B, pp.L925-L927 (2001)
[38] M. Kuramoto, C. Sasaoka, Y. Hisanaga, A. Kimura,
A. A. Yamaguchi, H. Sunakawa, N. Kuroda, M. Nido, A. Usui, and M. Mizuta:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 38, No. 2B, pp.L184-L186 (1999)
[39] M. Kuramoto, C. Sasaoka, Y. Hisanaga, A. Kimura,
A. A. Yamaguchi, H. Sunakawa, N. Kuroda, M. Nido, A. Usui, and M. Mizuta:
phys. stat. sol. (a), Vol. 176, No. 1, pp.35-38 (1999)
[40] M. Miyachi, H. Ota, Y. Kimura, A. Watanabe, T. Tanaka,
H. Takahashi, and K. Chikuma:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 38, No. 11A, pp.L1237-L1239 (1999)
[41] M. Miyachi, Y. Kimura and K. Chikuma:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 43, No. 2A, pp.L136-L138 (2004)
[42] M. P. Mack, A. Abare, M. Aizcorbe, P. Kozodoy, S. Keller, U. K. Mishra, L. Coldren, and S. DenBaars:
MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. Vol. 2, No. 41 (1997)
[43] M. P. Mack, G. D. Via, A. C. Abare, M. Hansen, P. Kozodoy,
S. Keller, J. S. Speck, U. K. Mishra, L. A. Coldren
and S. P. DenBaars:
Electronics Letters, Vol. 34, No. 13, pp.1315-1316 (1998)
[44] M. Takeya, T. Tojyo, T. Asano, S Ikeda, T. Mizuno, O. Matsumoto, S. Goto, Y. Yabuki, S. Uchida, and M. Ikeda:
phys. stat. sol. (a), Vol. 192, No. 2, pp.269-276 (2002)
[45] M. Razeghi, A. W. Saxler, P. Kung, D. Walker, X. Zhang, A. Rybaltowski, Y. Xiao, H. J. Yi, and J. E. Diaz:
Proceedings of SPIE, Vol. 3284, pp.113-121 (1998)
[46] R. Czernetzki, M. Leszczynski, I. Grzegory, P. Perlin,
P. Prystawko, C. Skierbiszewski, M. Krysko, M. Sarzynski,
P. Wisniewski, G. Nowak, A. Libura, S. Grzanka, T. Suski,
L. Dmowski, E. Litwin-Staszewska, M. Bockowski,
and S. Porowski:
phys. stat. sol. (a), Vol. 200, No. 1, pp.9-12 (2003)
[47] R. Kehl Sink, “Cleaved-Facet Group-III Nitride Lasers”,
Electrical and Computer Engineer Dept., Ph.D., UCSB (2000)
[48] R. Soejima, A. Kuramata, S. Kubota, K. Domen, K. Horino,
and T. Tanahashi:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 37, No. 10B, pp.L1205-L1207 (1998)
[49] S. Bader, B. Hahn, H. -J. Lugauer, A. Lell, A. Weimar,
G. Brüderl, J. Baur, D. Eisert, M. Scheubeck, S. Heppel,
A. Hangleiter, and V. Härle:
phys. stat. sol. (a), Vol. 180, No. 1, pp.177-182 (2000)
[50] S. Goto, M. Ohta, Y. Yabuki, Y. Hoshina, K. Naganuma,
K. Tamamura, T. Hashizu, and M. Ikeda:
phys. stat. sol. (a), Vol. 200, No. 1, pp.122-125 (2003)
[51] S. Ito, Y. Yamasaki, S. Omi, K. Takatani, T. Kawakami, T. Ohno,
M. Ishida, Y. Ueta, T. Yuasa, and M. Taneya:
phys. stat. sol. (a), Vol. 200, No. 1, pp.131-134 (2003)
[52] S. Nagahama, T. Yanamoto, M. Sano, and T. Mukai:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 40, No. 5A, pp.3075-3081 (2001)
[53] S. Nagahama, T. Yanamoto, M. Sano and T. Mukai:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 40, No. 8A, pp.L788-L791 (2001)
[54] S. Nagahama, T. Yanamoto, M. Sano, and T. Mukai:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 41, No. 1, pp.5-10 (2002)
[55] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, H. Kiyoku, and T. Mukai:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 35, No. 2B, pp.L217-L220 (1996)
[56] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada,
T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku:
Appl. Phys. Lett., Vol. 70, No. 11, pp.1417-1419 (1997)
[57] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, T. Matsushita,
H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano,
and T. Mukai:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 38, No. 3A, pp.L226-L229 (1999)
[58] S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa,
T. Matsushita, and T. Mukai:
Appl. Phys. Lett., Vol. 76, No. 1, pp.22-24 (2000)
[59] S. Nunoue, M. Yamamoto, M. Suzuki, C. Nozaki, J. Nishio,
L. Sugiura, M. Onomura, K. Itaya, and M. Ishikawa:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 37, No. 3B, pp.1470-1473 (1998)
[60] S. Kijima, T. Tojyo, S. Goto, M. Takeya, T. Asano, T. Hino,
S. Uchida, and M. Ikeda:
phys. stat. sol. (a), Vol. 188, No. 1, pp.55-58 (2001)
[61] T. Asano, K. Yanashima, T. Asatsuma, T. Hino, T. Yamaguchi,
S. Tomiya, K. Funato, T. Kobayashi, and M. Ikeda:
phys. stat. sol. (a), Vol. 176, No. 1, pp.23-30 (1999)
[62] T. Asano, M. Takeya, T. Tojyo, T. Mizuno, S. Ikeda, K. Shibuya,
T. Hino, S. Uchida, and M. Ikeda:
Appl. Phys. Lett., Vol. 80, No. 19, pp.3497-3499 (2002)
[63] T. Böttcher, Ch. Zellweger, S. Figge, R. Kröger, Ch. Petter,
H. -J. Bühlmann, M. Ilegems, P.L. Ryder, D. Hommel:
phys. stat. sol. (a), Vol. 191, No. 1, pp.R3-R5 (2002)
[64] Tim Böttcher, “Heteroepitaxy of Group-Ⅲ-Nitrides for the Application in Laser Diodes”, Institute of Solid State Physics, Ph.D., University of Bremen (2002)
[65] T. Kobayashi, F. Nakamura, K. Naganuma, T. Tojyo,
H. Nakajima, T. Asatsuma, H. Kawai, and M. Ikeda:
Electronics Letters, Vol. 34, No. 15, pp.1494-1495 (1998)
[66] T. Takeuchi, T. Detchprohm, M. Yano, M. Yamaguchi,
N. Hayashi, M. Iwaya, K. Isomura, K. Kimura, H. Amano,
I. Akasaki, Yw. Kaneko, S. Watanabe, Y. Yamaoka,
R. Shioda, T. Hidaka, Ys. Kaneko, and N. Yamada:
phys. stat. sol. (a), Vol. 176, No. 1, pp. 31-34 (1999)
[67] T. Tojyo, T.Asano, M. Takeya, T. Hino, S. Kijima, S. Goto,
S. Uchida, and M. Ikeda:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 40, No. 5A, pp.3206-3210 (2001)
[68] T. Tojyo, S. Uchida, T. Mizuno, T. Asano, M. Takeya, T. Hino,
S. Kijima, S. Goto, Y. Yabuki, and M. Ikeda:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 41, No. 3B, pp.1829-1833 (2002)
[69] Umesh K. Mishra and Steven P. DenBaars:
Optoelectronic and Microelectronic Materials Devices, 1998. Proceedings 1998 Conference on , 14-16 Dec. 1998
pp.175–178
[70] Y. Kimura, M. Miyachi, H. Takahashi, T. Tanaka, M. Nishitsuka,
A. Watanabe, H. Ota and K. Chikuma:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 37, No. 10B, pp.L1231-L1233 (1998)
[71] Y. Ohba and S. Iida:
phys. stat. sol. (a), Vol. 200, No. 1, pp. 126-130 (2003)
[72] 行政院國家科學委員會 委託 光電科技工業協進會 辦理,
“2003年 光電半導體產業及技術動態調查報告” (2004)
[73] 史光國,“現代半導體發光及雷射二極體材料技術”,
全華科技圖書股份有限公司 (2001)
[74] 史光國,“現代半導體發光及雷射二極體材料技術-進階篇”,
全華科技圖書股份有限公司 (2004)
[75] BPA International, Compound Semiconductor.net,
“Taiwanese university develops violet laser diode”,
http://compoundsemiconductor.net/articles/news/7/2/23/1
[76] Shuji Nakamura, Stephen Pearton, Gerhard Fasol:
“The Blue Laser Diode”, 2nd. Ed., Springer-Verlag (2000)
[77] S. Nakamura:
Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 30, No. 10A, pp.L1705-L1707 (1991)
[78] 陳冠廷, “氮化鋁鎵銦藍紫光雷射二極體研製與特性分析”,
電機工程系, 碩士論文, 國立中央大學 (2000)
[79] P. Kozodoy, Y. P. Smorchkova, M. Hansen, H. Xing, S. P. DenBaars, U. Mishra, A. W. Saxler, R. Perrin,
and W. C. Mitchel:
Appl. Phys. Lett., Vol. 75, No. 16, pp.2444-2446 (1999)
[80] A. Motayed, R. Bathe, M. C. Wood, O. S. Diouf, R. D. Vispute,
and S. Noor Mohammad:
J. Appl. Phys., Vol. 93, No. 2, pp.1087-1094 (2003)
[81] Y. Wu, W. Jiang, B. Keller, S. Keller, D. Kapolnek, S. DenBaars, and U. K. Mishra:
Proceedings of the Topical Workshop on III–V Nitrides,
Nagoya, Japan (1995)
[82] 林明儀, “P型氮化銦鎵歐姆接觸層對氮化鋁鎵銦藍紫光雷射二極體之影響”, 電機工程系, 碩士論文, 國立中央大學 (2001)
[83] X. A. Cao, S. J. Pearton, A. P. Zhang, G. T. Dang, F. Ren,
R. J. Shul, L. Zhang, R. Hickman and J. M. Van Hove:
Appl. Phys. Lett., Vol. 75, No. 17, pp.2569-2571 (1999)
[84] S. W. Pang:
J. Electrochem. Soc., Vol. 133, No. 4,, pp 784-786 (1986)
[85] Stephen J. Pearton, ”Wide Bandgap Semiconductors”,
William Andrew Publishing (2000)
[86] T. Hino, S. Tomiya, T. Miyajima, K. Yanashima, S. Hashimoto, and M. Ikeda:
Appl. Phys. Lett., Vol. 76, No. 23, pp.3421-3423 (2000)
[87] Mitsuo Fukuda, “Reliability and Degradation of Semiconductor Lasers and LEDs”, Artech House Inc. (1991)
[88] Mitra Dutta, and Michael A. Stroscio, “Advances in Semiconductor Lasers and Applications to Optoelectronics”,
World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd. (2000)
[89] 卓昌正, “氮化銦鎵量子井與藍紫光雷射二極體結構之成長與分析”, 電機工程系, 博士論文, 國立中央大學 (2001)
[90] V. E. Bougrov and A. S. Zubrilov:
J. Appl. Phys., Vol. 81, No. 7, pp.2952-2956 (1997)
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top