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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳奕晉
研究生(外文):Yi-Chin Chen
論文名稱:矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片/光開關
論文名稱(外文):Silicon-Based Liquid Crystal Fabry-Peort Filter/Switch
指導教授:張正陽張正陽引用關係
指導教授(外文):Jeng -Yang Chang
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電科學研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:64
中文關鍵詞:光開關濾光片矽基板液晶
外文關鍵詞:switchsilicon-basedFabry-Perotfilter
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液晶式Fabry-Perot微調濾光片的特點為結構簡單、低損耗、低驅動電壓、低半高寬、應答時間短和較寬的波長微調範圍。矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片除了保有原有的各種優點外,還能使體積更微小化,另外,可以利用蝕刻的方式控制空間層共振腔的厚度,取代以間隔物 ( Spacer ) 定義厚度的方式。期望往後能將此一元件實際應用在光學系統上,達到Silicon on Chip的積體化目的。
本文以紅外光為光源,以矽基板取代常用的玻璃基板,鍍上金屬當做電極和反射層,液晶為調變材料,以外加電壓控制液晶的折射率,達到調變波長的效果,做成矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片或光開關。
我們設計了三種共振腔厚度的樣品:10.65、13.31和20μm,比較了FSR、FWHM和Finess,數值分別在23.6~48.2nm、4.2~5.4nm和4.72~8.92的範圍內。另外也以四種不同的外加電壓頻率1KHz、10KHz、100KHz和1MHz,比較其穿透光譜,並討論元件的優缺點。
第一章 緒論……………………………………………………………1
1-1 前言……………………………………………………….1
1-2 研究目的…………………………………………………3
第二章 理論……………….…………………………………………..6
2-1 干涉………………………………………………………6
2-2 Fabry-Perot原理…………………………………………..9
2-3 液晶種類及其物性………………………………………12
2-4 液晶式Fabry-Perot……………………………………….19
第三章 工作原理與元件設計…………………………………………24
3-1 元件結構…………………………………………………24
3-2 工作原理…………………………………………………25
3-3 元件設計…………………………………………………28
第四章 元件製作……………………………………………………...31
4-1 製程步驟…………………………………………………31
4-2 圖示製程步驟…………………………………………..36
第五章 量測與實驗結果……………………………………………..38
5-1 量測架構………………………………………………..38
5-2 量測結果………………………………………………..41
第六章 結語………………………………………………………….54
[1] 李正中,“薄膜光學鍍膜技術”,藝軒圖書出版社, 2001
[2] 顧鴻壽,“光電液晶平面顯示器”,新文京開發出版有限公司, 2002
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八期
[6]蔡榮源,“高密度多波分工器干涉濾鏡之介紹”,光訊,第六十七期
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[15]A. Mezzetti, G. Pucker, M. Crivellari, C. Kompocholis, P. Bellutti,
A. Lui, N. Daldosso, F. Riboli, M. Saiani, Z. Gaburro, and L. Pavesi,
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[18]Jin-Jei Wu, Chih-Ming Wang, Wang-Yang Li, and Shu-Hsia Chen,
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