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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王淑貞
研究生(外文):Shu-Chen Wang
論文名稱:設備總和效率模式及試算表之建立-以步進機為例
論文名稱(外文):An Excel-based Total Equipment Efficiency Model-using stepper as an example
指導教授:許棟樑許棟樑引用關係
指導教授(外文):D.Daniel Sheu
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程與工程管理學系
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:98
中文關鍵詞:微影製程綜合設備使用率整體投入效率設備擁有成本績效指標理想值
外文關鍵詞:Photolithography ProcessesOEEOIECOOPerformance IndexIdeal quantity
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設備在半導體產業中佔製造成本的大部分,故準確地衡量設備效率是很重要的,本研究以步進機為例,建立一個計算設備整體效率的模式。業界大多只著重在設備綜合效率之計算,在此提出設備投入效率(OIE)為另一個影響設備效率的重要因素,其構成投入效率之計算有四:廠務、人力,原材料、及耗材。經過本研究建立的模式可以得到:1)訂定投入標準; 2)以Excel為主來建立一個結合OIE和OEE成TEE的整合計算表格,並以步進機台為例。
Equipment constitutes the great majority of overall manufacturing cost in I.C. fabrication industry. It is therefore an important issue to measure the equipment efficiency properly. This research established a model to calculate total equipment efficiency using stepper as an example. Most industry practitioners consider overall equipment effectiveness (OEE) as the full story for efficiency. The research argued that the Overall Input Efficiency (OIE) is another important half of the equipment efficiency. Therefore total equipment efficiency is the product of OIE and OEE. To account for operational input efficiency four major components are proposed: facility, inputs manpower, raw materials, and consumables. The standards for ideal levels of inputs are proposed. An excel-based spreadsheet was established to facilitate computations of OIE, OEE, and TEE of the stepper equipment.
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[2] 吳振寧,指導教授 許棟樑,”台灣半導體廠設備管理指標模型建立與評比”, 國立清華大學工業工程與工程管理學系碩士論文,1999
[3] 郭亦桓,指導教授 許棟樑,”台灣半導體廠設備管理標竿:黃光區設備”,國立清華大學工業工程與工程管理學系碩士論文,2000
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