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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳建憲
研究生(外文):Chen,Chien-Hsien
論文名稱:對稱式交互氣流微波電漿源之研究
論文名稱(外文):Study of a symmetric alternativegas flow microwave plasma source
指導教授:寇崇善
指導教授(外文):Kou,Chwung-Shan
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:54
中文關鍵詞:電漿乾式清潔接觸角
外文關鍵詞:plasmadry cleaningcontact angle
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PCB由於其物理及化學特性目前在業界被廣汎使用,而並非所有的聚合物都具有良好的附著性,因此我們以電漿處理進行表面改質。而本實驗利用電漿的擴散與PCB進行作用,表面能量從作用前的不到20dyne/cm提升至60dyne/cm以上;且利用抽氣位置控制腔體內氣流方向以交互氣流作用的方式提升處理均勻度,PCB上各點表面能量相差在5dyne/cm以下。
  實驗中以時間定序的方式量測脈衝式電漿源激發之電漿計算一些電漿參數,並利用分析電漿光譜的方式了解電漿內氣體游離的狀況,及量測接觸角的變化了解電漿處理效果及計算表面能量。
第一章 緒論
1.1 前言
1.2 電漿處理的優勢
1.3 電漿對表面的處理
1.4 研究目的
第二章 實驗設備系統
2.1 微波電漿激發系統
2.1.1 電漿源
2.1.2 微波反應共振腔
2.2 Langmuir探針量測系統
2.2.1 Langmuir探針結構
2.2.2 探針量測的介面控制
2.3 光譜儀量測系統
2.4 接觸角
2.4.1 電漿表面處理系統
2.4.2 接觸角量測系統
第三章 量測方式及分析原理
3.1 Langmuir探針簡介
3.1.1 I-V特性曲線
3.1.2 I-V特性曲線分析
3.2 時間定序量測
3.2.1 時間定序量測方式
3.2.2 時間定序的優缺點
3.3 接觸角分析
第四章 時間結果與討論
4.1 電漿量測
4.1.1 I-V特性曲線
4.1.2 電漿密度
4.1.3 電漿溫度
4.2 O.E.S量測
4.2.1 氬氣電漿O.E.S
4.2.2 氧氣電漿O.E.S
4.3 接觸角量測
4.3.1 氬氣電漿對PCB的處理
4.3.2 氧氣電漿對PCB的處理
4.3.3 均勻度量測
第五章 結論
5.1 實驗結論
5.2 發展應用
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Dr. James D. Getty, “How Plasma-Enhenced Surface Modification Improves the Production of Microelectronics and Optoelectronics” Technical Forum

Y.W. Park, N. Inagaki, “Surface modification of poly(vinylidene fluride) film by remote Ar, H2 and O2 plasmas” polymer 44(2003) 1569-1575

吳倉聚博士論文,微波激發之大面積高密度表面波電漿源之研究,2000年7月

張志振博士論文,多重微波源電漿源之研究,2003年11月

David R. LIDE, “CRC Handbood of Chemisty and Physics 78TH edition”

F.F. Chen, “Plasma Diagnostic Techniques, Chap4” edited by R.H. Huddle and S.L. Leonard(Academic, New York, 1995)

“Maxwellian Velocity Distribution”http://jersey.uoregon.edu/vlab/Balloon

J Reece Roth, “Industrial Plasma Engineering, Vol.2 Chap20.6”

Yuri P. Raizer, “Gas Discharge, Chap2”

Kenji Aoyagi. Itsuo Ishikawa, Yukinori Saito and Shinji Suganomata, “Mode Change of 1MHz Discharge in O2 Gas at Low Pressure” Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 35 (1996) pp. 6248-6251
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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