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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳冠章
研究生(外文):Kuan-Chang Chen
論文名稱:Cu/Ni,Au/Ni,及Pd/Ni雙層膜之光學、磁性、及電性研究
論文名稱(外文):Optical, magnetic, and electrical studies on the Cu/Ni, Au/Ni, and Pd/Ni bilayer systems
指導教授:任盛源江海邦
指導教授(外文):Shien-Uang JenHai-Pang Chiang
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣海洋大學
系所名稱:光電科學研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:100
中文關鍵詞:光學磁性霍爾柯爾電漿奈米粒子
外文關鍵詞:CuAuPdNiopticalmagneticHallKerrplasmanano-partical
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摘要

磁光材料具有相當多的優點,舉凡非揮發性、攜帶方便性、高穩定性、讀寫速度快等優點,讓磁性材料方面的研究一直是相當熱門的話題。本文將基於磁光柯爾效應與磁電霍爾效應,研究Ni/Pd、Ni/Au、Ni/Cu三種雙層膜的磁性、電性、光學等性質。我們很幸運的在某些樣品表面看見許多奈米粒子,並且比較其他數據作為佐證,發現由於奈米粒子導致表面電漿的產生會使得磁光柯爾效應訊號變大,對於磁性薄膜而言,這將是一個有趣的領域。而霍爾電阻率以及VSM的量測則直接證明了非磁性薄膜淡化磁性的效應;並且提供了穿入深度(由於電子平均自由路徑)及膚深度之參考數據,經過交叉與實驗數據比較,將讓我們對本研究系統有更深一層的了解。
Abstract

There are many advantages in the magneto-optical material, such as un-volatile ,easy to carry, high stability, and high speed of read and write. These advantages make the research of magnetic materials continuing to be popular.
In this thesis, I will studied magnetic, electrical, and optical characteristics of three kinds of bilayers-Ni/Pd, Ni/Au, and Ni/Cu. I have been so lucky to make many nano-particles on some of my samples, and after checking their physical properties, we are sure that the surface plasmon resonance effect causes the polar magneto-optical Kerr signal to become bigger. This certainly will open an interesting new field to magnetic thin films. The measurements of Hall resistivity and vibrating sample magnetometer(VSM) also showed that the non-magnetic thin films on top can weaken the magnetism of the magnetic thin films below. Some values of the penetration depth (due to the electron mean free path) and skin depth have been estimated, so that we can compare them. They will allow us to understand deeply about
About these experimental systems.
Outline:
第一章 前言
1-1 研究動機
第二章 實驗步驟
2-1磁極柯爾效應量測儀 Polar Kerr Effect Magnetometer
2-1-1 實驗原理
2-1-2極化磁光柯爾轉角儀量測柯爾旋轉角
2-1-3 極化磁光柯爾轉角儀量測反射率
2-1-4極化磁光柯爾轉角儀量測反射率
2-1-5 極化磁光柯爾轉角儀量測橢圓率
2-2 震動式樣品磁性量測儀VSM
2-3 霍爾效應Hall effect
2-4 掃描式電子顯微鏡-X射線能譜分析SEM-EDX
2-5 原子力顯微鏡AFM
2-6 穿透式電子顯微鏡TEM
第三章 樣品的製作
3-1 電弧融合爐Arc Furnace
3-2 熱蒸鍍 Thermal evaporator
第四章 實驗結果與討論
4-1 穿透式電子顯微鏡實驗討論
4-1-1 校正scale bar的尺度
4-1-2 計算薄膜的厚度
4-2 電弧融合實驗討論
4-3 掃描式電子顯微鏡-X射線能譜分析實驗討論
4-4集膚深度 skin depth
4-5 雙層膜Ni/Au、Ni/Cu、Ni/Pd實驗結果
4-5-1 Au(x)/Ni(83.4)
4-5-2 Cu(x)/Ni(84)
4-5-3 Pd(x)/Ni(86.3)
4-6 柯爾旋轉角討論
4-7電子平均自由路徑(electronic mean free path)
4-7-1理想電子平均自由路徑
4-7-2實驗電子平均自由路徑
4-8 Ni-Pd合金實驗結果
第五章 總結




圖目錄

圖2-1法拉第效應與磁光柯爾效應
圖2-2 Polar effect
圖2-3 Longitudinal effect
圖2-4 Longitudinal effect
圖2-5 Kerr量測系統電磁鐵示意圖
圖2-6 Kerr roration
圖2-7 labview-kerr2.vi 控制示意圖
圖2-8 Au18Ni84 Kerr Rotation
圖2-9 Polar Kerr Angle 理論計算
圖2-10 Reflection
圖2-11 Reflection
圖2-12分光鏡測試強度示意圖
圖2-13 Kerr ellipticity
圖2-14 VSM
圖2-15 Magnetic moment 旋轉示意圖
圖2-16 實際上操作VSM樣品所放置的位置
圖2-17 VSM(Cu15/Ni85/glass)
圖2-18 霍爾電阻率理想圖
圖2-19 霍爾電阻率樣品
圖2-20 霍爾電阻率實際效用範圍
圖2-21 霍爾效應量測儀器圖
圖2-22 電阻率(Cu15/Ni85/glass)
圖2-23 霍爾電阻率(Cu15/Ni85/glass)
圖2-24 SEM
圖2-25 SEM-EDX理論圖
圖2-26 EDX訊號分析結構圖
圖2-27 Pd-Ni半定量EDX分析圖
圖2-28 AFM理論操作示意圖
圖2-29 DME DualScope DS 95-50 控制電腦
圖2-30 TEM 研磨樣品準備圖
圖2-31 TEM研磨樣品流程圖
圖2-32 PIPS
圖2-33試片即將產生破洞
圖2-34試片產生破洞
圖3-1 ARC實驗儀器圖
圖3-2熱蒸鍍儀器圖
圖4-1 Si(111)上鍍Ni薄膜TEM圖
圖4-2鑽石晶格原子分佈圖
圖4-3 Si(111)上鍍Ni薄膜TEM圖(經過對比與亮度調整的圖)
圖4-4 Si(111)上鍍Ni薄膜TEM圖
圖4-5雙層膜示意圖
圖4-6 Kerr Rotation 對 Au/Ni薄膜Au膜厚度的關係圖
圖4-7 Kerr ellipticity 對 Au/Ni薄膜Au膜厚度的關係圖
圖4-8磁化率 對 Au/Ni薄膜Au膜厚度的關係圖
圖4-9反射率 對 Au/Ni薄膜Au膜厚度的關係圖
圖4-10霍爾電阻率 對 Au/Ni薄膜Au膜厚度的關係圖
圖4-11電阻率 對 Au/Ni薄膜Au膜厚度的關係圖
圖4-12 Kerr Rotation 對 Cu/Ni薄膜Cu膜厚度的關係圖
圖4-13 Kerr ellipticity 對 Cu/Ni薄膜Cu膜厚度的關係圖
圖4-14磁化率 對 Cu/Ni薄膜Cu膜厚度的關係圖
圖4-15反射率 對 Cu/Ni薄膜Cu膜厚度的關係圖
圖4-16霍爾電阻率 對 Cu/Ni薄膜Cu膜厚度的關係圖
圖4-17電阻率 對 Cu/Ni薄膜Cu膜厚度的關係圖
圖4-18 Kerr Rotation 對 Pd/Ni薄膜Pd膜厚度的關係圖
圖4-19 Kerr ellipticity 對 Pd/Ni薄膜Pd膜厚度的關係圖
圖4-20磁化率 對 Pd/Ni薄膜Pd膜厚度的關係圖
圖4-21反射率 對 Pd/Ni薄膜Pd膜厚度的
圖4-22霍爾電阻率 對 Pd/Ni薄膜Pd膜厚度的關係圖
圖4-23電阻率 對 Pd/Ni薄膜Pd膜厚度的關係圖
圖4-24雙層膜三種金屬的Kerr旋轉角比較

圖4-25 Ni/Au Kerr旋轉角以及反射率比照圖
圖4-26 Kerr 角度變大的原因
圖4-27 18Å
圖4-28 25Å
圖4-29 55Å
圖4-30 103Å
圖4-31比較Cu的反射率以及Kerr旋轉角
圖4-32 Cu=15 Å
圖4-33 Cu=43 Å
圖4-34 Ni/Au Kerr 旋轉角以及橢圓率對厚度比較圖
圖4-35 Ni/Cu Kerr 旋轉角以及橢圓率對厚度比較圖
圖4-36磁性電子滲透示意圖
圖4-37 Cu/Ni 霍爾電阻率對tCu厚度
圖4-38 Au/Ni 霍爾電阻率對tAu厚度
圖4-39 Pd/Ni 霍爾電阻率對tPd厚度
圖4-40 Kerr rotation 對於Pd-Ni薄膜成份比較圖
圖4-41 Kerr ellipticity 對於Pd-Ni薄膜成份比較圖
圖4-42 Pd合金與雙層膜的Kerr轉角比較
圖5-1 Skin depth 以及 mean free path對兩種金屬的影響

表目錄

表2-1電流源對於電磁鐵相對應的磁場關係(Kerr)
表2-2分光鏡對He-Ne 632.8 nm 強度測試
表2-3 VSM(Cu15/Ni85/glass)數值
表2-4 供磁系統之電流與磁場的關係(Hall effect)
表3-1 熱蒸鍍材料參數設定表
表3-2 熱蒸鍍厚度設定表
表4-1 經過ARC之後各成分重量的損失率
表4-2 EDX定量成分分析
表4-3 skin depth
表4-4 electron mean free path
表4-5 electron mean free path 理論實驗比較
表4-6霍爾電阻率飽和段的斜率
Reference:
[1]J.C.Wu, C.S.Wu, Bing-mau Chen, and Han-Ping D. Shieh ,”Magnetoresistance anomaly in DyFeCo thin films”,J.Appl. Phys.,89(2001)p7209-7211.
[2]Hiroshi Fuji et.al.,”The mechanism of super-RENS MO disks”,ISOM’01,2001,P38.
[3]Gerd Bergmann,”The anomalous Hall effect”Physics today/August,1979,p25-30.
[4]謝志虎,The Construction of the Polar Kerr Effect Magnetometer.
[5]汪建民,材料分析 第六章
[6]賴一凡、鄭偉鈞,A study of the interfacial reaction in the Au/Si(100)and Au/Si(111)systems.
[7]陳力俊等箸,材料電子顯微鏡學 修訂版 國科會精儀中心
[8]Charles Kittel,Introduction to Solid State Physics seventh edition,Pg.19
[9] Charles Kittel,Introduction to Solid State Physics seventh edition,Pg.160

[10] R. Gupta,M. J. Dyer, and W.A.Weimer,”Preparation and characterization of surface plasmon resonance tunable gold and silver films”Jol. App. Phys.V92,2002,5264-5271.
[11] A. A. Schmidt, H. Eggers, K. Herwig and R. Anton, “Comparative investigation of the nucleation and growth of fcc-metal particles (Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au) on amorphous carbon and SiO2 substrates during vapor deposition at elevated temperatures” •Surface Science 349,1996(301-306)
其他參考書目及文章
l 鄭振東,實用磁性材料
l Soshin Chikazumi, 磁性物理學
l T.Katayama, Y. Suzuki, M.Hayashi and A. Thiaville,”Oscillation of saturation magneto-optical Kerr rotation in epitaxial Fe/Au/Fe and Fe/Ag/Fe(100) sandwiched films”JMMM 126(1993) 527-531
l 李炳璋 王正合,“金屬反射膜材料簡介”
l 王俊凱,”奈米電磁學中的共振現象及其應用”光電工程第八十三期92.09
l 葉林秀、吳德和,”磁光記錄在資料儲存上的應用與發展”
l Williams,H.,RR. Sherwood, F.Ffoster, and E. Kelly, 1957,”Magnetic writing on thin films of MnBi”, Journal of Applied Phy-sics, Vol.28,P1181-1183
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