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研究生:廖億豐
研究生(外文):Yi-Feng Liao
論文名稱:準分子雷射製程之多晶矽薄膜太陽電池製作
論文名稱(外文):Fabrication of Excimer-Laser-Processed Poly-Crystalline-Silicon Thin-Film Solar Cells
指導教授:蔡樹川
指導教授(外文):Shu-chuan Cai
學位類別:碩士
校院名稱:國立雲林科技大學
系所名稱:電機工程系碩士班
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:35
中文關鍵詞:準分子雷射回火多孔性二氧化矽膜溶-凝膠製程
外文關鍵詞:Excimer laser annealingPorous SiO2 filmsol-gel method
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太陽電池被視為能夠取代部分傳統的石化能源的再生能源之一,但是其最大問題點在於太陽電池晶片之製造成本過高,因此導致太陽電池至今無法被普遍的推廣與使用。本研究提案以溶-凝膠製程(sol-gel method)之Porous SiO2薄膜、具有吸收係數之SiON薄膜與準分子雷射回火(Excimer laser annealing)等方式,來製作多晶矽薄膜太陽電池。運用此方式,將非常有機會製作出高效率、低成本之多晶矽薄膜太陽電池。
Solar cell is one of renewable energy that is expected to alternate a part of conventional fossil energy. The problem of the solar cells is in its high manufacturing cost, and therefore generalization of solar cell is still restricted now. We proposed a new fabrication process for solar cells by sol-gel method Porous SiO2 film, has light absorption that can be applied as heat retaining layer to enhance crystallization of poly -Si during Excimer laser annealing and Excimer laser annealing method. This study provided a possibility to realize a new fabrication process for achieving low cost and high efficiency Poly-Crystalline-Silicon Thin-Film Solar Cells.
中文摘要 --------------------------------------------------------------------------- i
英文摘要 --------------------------------------------------------------------------- ii
誌謝 --------------------------------------------------------------------------- iii
目錄 --------------------------------------------------------------------------- iv
表目錄 --------------------------------------------------------------------------- vi
圖目錄 --------------------------------------------------------------------------- vii
符號說明 --------------------------------------------------------------------------- viii
第一章、 緒論--------------------------------------------------------------------- 1
1.1 研究背景及動機------------------------------------------------------ 1
1.2 研究目標及方法------------------------------------------------------ 2
1.3 論文大綱--------------------------------------------------------------- 2
第二章、 太陽電池--------------------------------------------------------------- 3
2.1 太陽電池的現況------------------------------------------------------ 3
2.2 太陽電池的種類------------------------------------------------------ 5
2.3 太陽電池的原理------------------------------------------------------ 7
第三章、 Sol-gel method Porous SiO2 film的製作------------------------- 9
3.1 溶-凝膠製程的簡介-------------------------------------------------- 9
3.1.1 溶-凝膠製程的優缺點----------------------------------------------- 9
3.1.2 溶-凝膠製程的反應原理-------------------------------------------- 10
3.2 Porous SiO2 film之製備--------------------------------------------- 13
3.3 凝膠之高溫熱處理--------------------------------------------------- 15
3.4 本章結論--------------------------------------------------------------- 16
第四章、 準分子雷射製程之多晶矽薄膜太陽電池吸收層的製作------ 19
4.1 準分子雷射回火製程的簡介--------------------------------------- 19
4.1.1 準分子雷射誘發之橫向長晶--------------------------------------- 20
4.1.2 準分子雷射誘發之固相磊晶--------------------------------------- 21
4.2 實驗方法與步驟------------------------------------------------------ 22
第五章、 結論--------------------------------------------------------------------- 26
參考文獻 --------------------------------------------------------------------------- 27
附錄一 矽基板清洗步驟------------------------------------------------------ 29
附錄二 玻璃基板清洗步驟--------------------------------------------------- 30
附錄三 Secco Etching溶液調製比例---------------------------------------- 31
附錄四 HCl溶液比例對於sol-gel凝固時間的影響---------------------- 32
個人簡歷 --------------------------------------------------------------------------- 33
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