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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林建智
研究生(外文):Jian-zhi Lin
論文名稱:基於專利分析之AFM系統技術研究
論文名稱(外文):Evolution of AFM Technology based on Patent Analysis
指導教授:汪島軍汪島軍引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立雲林科技大學
系所名稱:機械工程系碩士班
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:75
相關次數:
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本文針對美國專利商標局蒐索與原子力顯微鏡系統技術相關專利,詳讀後執行專利分析以瞭解原子力顯微鏡的系統技術特徵及其技術演進情形。藉由專利分析的結果,參考現代原子力顯微鏡系統所採用之技術,進一步討論原子力顯微鏡系統技術發展演進的方向與趨勢,如此則不僅能掌握以前使用過的技術,亦可瞭解技術演變至今應用的情況。而最終的目的在於提供一個知識基礎,讓台灣有心在原子力顯微鏡系統技術領域尋求發展的廠商與學術界,能正確地擬訂其技術發展之策略
In this paper, we search the patents correlating with technology of AFM in the United States Patent and Trademark Office. We implement the patent analysis to understand the technological characteristic and gradual progress after reading patents. According to the result of patent analysis, and refer to the technology of the modern AFM, we discuss further the developing direction and gradual progress of the technology of AFM. Thus, we not only can master the technology used in the past, but also understand what situation the developed technology has reached now. The final purpose is to provide a knowledge groundwork, and let the manufacturer or academia in Taiwan that can work out the tactics of the technical development of AFM
correctly.
第一章 緒論……………………………………..……………………………………1
1.1研究動機與目的………………………..……………………………………1
1.2 AFM發展歷史回顧…………………..……………………………………...1
1.3 呈像原理……………………………….…………………………………....2
1.3.1掃描穿隧顯微術呈像原理…………………………………………….3
1.3.2原子力顯微術呈像原理……………………………………………….3
第二章 專利分析……………………………………………………………………..6
2.1 概要………………………………………………………………………….6
2.2 AFM系統技術分析原則…………………………………………………….6
2.3 專利資料檢索……………………………………………………………….7
2.4專利技術分析……………….……………………………………………….8
2.4.1 專利技術群聚分析……………………………………………………8
2.4.2 技術群聚指標分析…………………………………………………..11
2.4.3 專利技術演進圖……………………………………………………..11
2.4.4 技術預測……………………………………………………………..14
2.5 AFM系統技術專利分析之結果與討論…………………………………...16
第三章 AFM系統技術演進………………………………………………………...17
3.1 懸臂樑探針設計技術之發展……………………………………………...17
3.2 探針位移檢測裝置設計技術之發展……………………………………...25
3.3 試片掃描致動裝置設計技術之發展……………………….……………..29
3.4 AFM本體結構設計技術之發展….………………………………………..32
3.5 AFM系統技術演進之結果與討論.………………………………………..40
3.6 當代AFM系統之設計………….…………………………………………43
第四章 結論…………………………………………………………………………46
參考文獻……………………………………………………………………………..47
附錄…………………………………………………………………………………..49
附錄一…………………………………………………………………………..49
附錄二…………………………………………………………………………..54
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