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研究生:李季龍
研究生(外文):Chi-Lung Li
論文名稱:單發氣中放電瞬時微球探針成形研究及精微模具製作
論文名稱(外文):Research single-pulse discharge produce the micro-ball probe in the air and Technology of Mass Manufacturing of matrix
指導教授:郭 佳 儱
指導教授(外文):Chia-Lung Kuo
學位類別:碩士
校院名稱:國立雲林科技大學
系所名稱:機械工程系碩士班
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2004
畢業學年度:92
語文別:中文
論文頁數:81
中文關鍵詞:單發放電氣中放電精微模具
外文關鍵詞:single-pulse
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本研究係利用三菱放電加工機外加單脈衝電晶體放電回路與PC control pulse電容放電回路,於空氣中進行單發放電製作微球探針;電極材料為矯直後的純鎢ψ300μm,搭配高速主軸與WEDG機構將電極修至長度1000μm,ψ50μm電極前端30度的圓錐電極對SKD11為平版進行放電。藉由改變電極架設的位置來探討上針下平版模式分別搭配單發電晶體放電回路及單發電容放電回路進行放電對於微球電極外型的影響,此實驗採用田口實驗來進行實驗的設計及實驗後的數據分析,藉由田口方法找出最大的微球電極147μm及偏擺量最小的微球電極的最佳參數。
放電反轉精微模系使用Sodick AQ35L 大型雕模放電加工機,透過直接反轉模式與搖動加工模式搭配強制噴流、吸流及自由流動等三種排屑方式成功的製作做出與300dpi噴孔片上噴孔相對位置一樣的精微模具,該微結構 平均直徑56.52μm平均長度20μm的精微模具。
This study took Mitsubishi EDM Machine with single-pulse silicon power amplifier discharge reflux and PC control pulse capacitor discharge reflux to make the process of single-pulse discharging then produce the micro-ball probe in the air.The straightened pure tungsten (ψ300μm) is the material of electrode and combined with high-speed spindle and WEDG constitution then the electrode was adjusted to the length of 1000μm. The conic electrode of the front of thirty degree of ψ50μm electrode discharged to SKD11 board.According to changing the position of setting the electrode, to discuss this issue, the model of upper spindle and bottom board, respectively combined with single-pulse silicon power amplifier discharge reflux and single-pulse capacitor discharge reflux so as to gain the effects of those situations to the form of micro-ball electrode.This text used the experiment of Taguchi method to design the text and the analyze the numbers after the text and by this Taguchi method to find the best references which were the biggest micro-ball electrode 147μm and the smallest ofset .
The micro reverse discharge model used Sodick AQ35L to produce successfully the micro Mould that has the same contraposition 300dpi nozzle plate through the models of direct reverse and shake fabricated further assorted with three residue ways including enforced spraying, absorbing and free current.The average diameter of micro Mould construction is 56.52μm and the average length is 20μm.
中文摘要 Ⅰ
目錄 Ⅱ
表目錄 VI
圖目錄 VII
第 一 章 緒論 1
1.1 研究動機與背景 1
1.1.1單發氣中放電瞬時微球探針成形 1
1.1.2精微模具製作 9
1.2 研究方法 13
1.3 研究目標 14
第 二 章放電加工原理及靜氣中放電理論 16
2.1 放電加工原理 16
2.1.1 放電過程 16
2.1.2 基本的放電迴路 18
2.2氣中放電原理 20
2.2.1平等電場的絕緣破壞 20
2.2.2不平等電場的絕緣破壞 21
2.2.2.1正針負平板正電暈放電 22
2.2.2.2負針正平板負電暈放電 23
2.3實驗設備介紹 25
2.3.1 加工機系統介紹 25
2.3.2單脈衝╱多脈衝放電迴路設計 30
2.3.2.1 單脈衝放電迴路設計 30
2.3.2.2手控單脈衝電容放電迴路設計 32
2.3.3.3 PC控制單/多脈衝電容放電迴路 32
2.3.3.3.1人機介面程式的介紹 33
2.3.3.3.2單/多脈衝電容放電迴路控制箱的設計 35
第 三 章 單發氣中放電應用於微球探針的製作 36
3.1加工方式的簡介 36
3.1.1電極材料的選用及外型的選擇 37
3.1.2電極架設位置選擇 40
3.2 單發放電回路設計說明 41
3.2.1電晶體放電回路放電參數設計說明 41
3.2.1.1田口實驗的參數選擇 41
3.2.1.2結果分析與討論 43
3.2.2電容放電回路放電參數設計說明 49
3.2.2.1田口實驗的參數選擇 51
3.2.2.2結果分析與討論 52
3.3第三章結果分析與討論 56
第 四 章 放電反轉經微模具成形 57
4.1加工方式簡介 57
4.1.1 反轉成形路徑說明 60
4.1.1 排屑模式說明 62
4.2反轉成形之研究 63
4.2.1 強制吸流模式結果分析與討論 63
4.2.1.1直接反轉成形 63
4.2.1.2搖動反轉成形 65
4.2.2 強制噴流模式 66
4.2.2.1直接反轉成形 66
4.2.2.2搖動反轉成形 67
4.2.3.自由流動模式 68
4.2.3.1直接反轉成形 68
4.2.3.2搖動反轉成形 70
4.2.4.噴流複合自由流動直接反轉成形 72
4.2.4.1噴流複合自由流動直接反轉成形結果分析與討論 72
4.3第四章結果分析與討論 73

第 五 章結論論與未來展望 77
5.1 實驗結果與討論 77
5.2 未來展望 78
參考文獻 79
【1】Young-Mo Lim,and Soo Hyun Kim,An electrochemical fabrication method for extremely thin cylindrical micropin, International Journal of Machine Tools & Manufacture 41 (2001) 2287–2296
【2】大森整,片平和俊,林偉民,上原嘉宏,鈴木享,小茂鳥潤,“ナノレベル表面機能を実現する超精密金型のマイクロ研削技術”,型技術,第十七卷,第3號,pp.24-28,3月號,2002
【3】大森整,光學元件的超精密加工方法技術研討會1991,11,19
【4】P.A.Rasmussen,J.Thaysen,S.Bouwstra,A.Boisen,Modular design of AFM probe with sputtered silicon tip,Sensors and Actuators A 92 (2001) 96-101
【5】A.Boisen,J,P.Rasmussen,O.Ⅱausen and S.bouwatra, Indirect tip fabrication for Scanning Probe Microscopy,Microelectronic Engineering 30 (1996) 579-582
【6】武沢英樹 毛利尚武 古谷克司 太田勝,単発放電によるマイクロ加エ用電極の成形メカニズム1999年度電気加工学会全国大会論文集,49
【7】武沢英樹、毛利尚武、古谷克司、単発放電による微細電極成形,電気加工技術,Vol.24,N0.78,pp.15-20,2000(社 ・電気加工学会)
【8】田辺里枝、伊藤義郎、武沢英樹、毛利尚武,大電流単発放電における紐線電極消耗挙動の時間分解観察,pp.17-18,電気加工学会全国大会2001講演論文集
【9】許東亜,WEDG加工技術と単発放電を併用して微細ボール状探針の開発, 電気加工技術,Vol.26,N0.83,pp.7-14,2002(社 ・電気加工学会
【10】郭佳儱, “微放電加工技術於MEMS之應用”,機械月刊,第二十五卷,第十一期,pp.304-313,1999
【11】国技正典、吉田政弘,気中放電加工,精密工学会誌,Vol.64,N0.12,pp.1735,1998
【12】竹內芳美, “マイクロ3次元切削加工”,型技術,第十七卷,第3號,pp.18-23,3月號,2002
【13】早乙女康典,秦誠一, “超塑性複合加工によるマイクロ2段齒車の創成”,塑性と加工,40,pp.49,2000
【14】Masuzawa, T., Fujino, M., and Kobayashi, K., “Wire Electro-Discharge Grinding for Micro-Machining,” Annals of the CIRP, Vol. 34, No. 1, pp. 431-434, 1985
【15】T., Masuzawa, J., Tsukamoto, and M., Fujino, “Drilling of Deep Microholes by EDM,” Annals of the CIRP, Vol. 38, No. 1, pp. 195-198, 1989
【16】 T., Masuzawa, M., Fujino, and K., Kobayashi, “Wire Electro-Discharge Grinding for Micro-Machining,” Annals of the CIRP, Vol. 34, No. 1, pp. 431-434, 1985
【17】K.Kagaya , Y.Oishi.K.Yada , “Micro-electrodischarge machining Using Water as a working Fluid-2: Narrow Slit Fabrication”, Precision Engineering , 12, 4, pp.213-217 , 1990.

【18】Xi-Qing Sun , T.Masuzawa , M.Fjino ,“ Micro ultrasonic machining and its applications in MEMS”, Sensors and actuators, A57,ppl59-164, 1996.
【19】W. Ehrfeld and H. Lehr , “ Deep X-Ray Lithography for the production of three-dimensional microstructures from metals, polymers and ceramics” , Radiat .Phys.Chem Vol.45 No.3, pp.349-365 , 1995.
【20】Domoiniek Reynaerts,Paul-Herni’s Heeren ,Hendrik Van Bmssel,“Microstructuring of silicon by elelctro - discharge machining(EDM) Part I: theory”, Sensors and actuators,A60,pp212-218,1997.
【21】Seong.S.Choi , Jung , D.W.Kim , M.A.Yakshin , J.Y.Park , .Kuk ,“Frabrication and microelectron gun arrays using laser micromachining” , Microelectronic Engineering , 41/42 ,pp.l67-170, 1998
【22】D. M. Allen, A. Lecheheb . “Micro electro-doscharge machining of ink jet nozzles : optimum selection of material and machining parameters” , Journal of Materials Processing Technology , 58 , pp. 53-66, 1996
【23】L.Kuo and T.Masuzawa, “A Micro – Pipe Fabrication Process”,Proc. Of IEEE MEMS’91,pp.80-85,1991.
【24】A.C.Wang, B.H.Yan , X.T.Li , F.Y.Huang , Use of micro ultrasonic vibration lapping to enhance the precision of microholes drllled by micro electro – discharge machining , International Journal of Machine Tools and Manufacture,Vo1.42 , pp.915-923 , 2002.
【25】C.T.Yang, S.S.Ho and B.H.Yan, Micro Hole Machining of Borosilicate Glass though Electrochemical Discharge Machining, Key Engineering Materials,Vol.196,pp.149-166,2001.
【26】T.MASUAZWA ,1Masatoshi FUFINO, Masaki YAMANOTO and, “Micro Punch System as an application of WEDG”,生產研究所39卷6號,P277-P280,東京大學生產研究所,1987
【27】T.Masuzawa,“An Approach to Micromachnining through Machine
Tool Technology”,Annals of the CIRP,34,1,pp.419-425,1985.
【28】D. M. Allen, A. Lecheheb . “Micro electro-doscharge machining of ink jet nozzles : optimum selection of material and machining parameters” , Journal of Materials Processing Technology , 58 , pp. 53-66, 1996.
【29】山本真嗣,宇野義幸,窪田真一郎, “YAG レ-ザを併用した超硬合金への微細深穴放電加工-併用加工における加工能率の向上に関する研究”,電気加工学会全国大会講演論文集,pp.57-60,2001
【30】B.Y.Joo,S.I.Oh and B.H,Jeon, “Development of Micro Punching System”,Annals of the CIRP,P191-P194,2001.
【31】許東亞,増沢隆久, “電極供給の自動化に関する研究”, 電気加工学会誌,Vol.36,No.81,pp.7-14,2002.
【32】Takahata, K.; Shibaike, N.; Guckel, H., “A novel micro electro- discharge machining method using electrodes fabricated by the LIGA process”,1Micro Electro Mechanical Systems, IEEE , pp. 238 -243 Jan. 1999.
【33】Takahata, K.; Gianchandani, Y.B., “Batch mode micro-EDM for high- density and high-throughput micromachining”,Micro Electro Mechanical Systems, IEEE ,pp. 72 -75 Jan 2001.
【34】郭佳儱,梁輝源, “微放電與衝壓複合加工於矩陣式微孔製作”,國立雲林科技大學機械製造研究所,碩士論文,2003年6月
【35】吉田政弘、国枝正典,気宇放電加工における加工速度向上の試み,電気加工学会全国大会1999講演論文集
【36】H., Takeiawa, Y., Ito., N., Mohri., The Behavior of Thin Electrode Wear in Electrical Discharge Machining Prceedings of the 13th International Symposium for Electromachining ISEM ⅩⅢ, Bilbao, SPAIN, Vol.1, pp.727-735, 2001
【37】T. Ono , D. Y. Sim and M. Esashi ,“ Imaging of Micro-Discharge in a Micro-Gap
of Electrostatic Actuator ”, IEEE , pp. 651-656 , Tohoku University , 2000
【38】周至宏 , 品質工程課程講議 , 國立雲林科技大學機械工程研究所.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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