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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:蔡仲維
研究生(外文):Chung-Wei Tsai
論文名稱:可撓式電致色變元件PET/ITO/V2O5之製備及電致色變性質之研究
論文名稱(外文):A Study of Preparation and Electrochromic Propertiesfor Flexible Electrochromic Device PET/ITO/V2O5
指導教授:林永森林永森引用關係
指導教授(外文):Yung-Sen Lin
學位類別:碩士
校院名稱:逢甲大學
系所名稱:化學工程學所
學門:工程學門
學類:化學工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2005
畢業學年度:93
語文別:中文
論文頁數:196
中文關鍵詞:可撓式射頻磁控濺鍍電致色變五氧化二釩
外文關鍵詞:electrochromicplasma sputteringflexible
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摘要
電致色變材料(Electrochromic)近年來受到研究注意的新方向,作
為電致色變裝置(Electrochromic Devices),可以廣泛運用於圖案或數字
顯示器,且可應用在調節光線入射量的建築窗材與車用後視鏡。在市場
的推動下,便不段追求輕量化、薄型化及可撓曲使用的發展。在現行的
電致色變元件都是以玻璃當作基板,然而塑膠基材因為具有輕、薄、耐
衝擊及可撓曲等優勢,故本研究是以此為研究動機朝可撓式電致色變元
本論文研究是使用以射頻磁控濺鍍技術製備可撓式電致色變元件
PET/ITO/V2O5, 探討其電致色變特性為將來元件的製備做準備。此電
漿濺鍍之操作參數為氬氣流量與氧氣流量的變化、濺鍍功率大小和濺鍍
時間長短等不同條件製備。製備的薄膜分別以冷場發射掃描式電子顯微
鏡( Field Emission Scanning Electron Microscope,FESEM) 分析薄膜厚度
與表面形貌,X射線光電子能譜儀(X-ray Photoelectron Spectroscope,
XPS )分析表面化學元素與組成,再利用循環伏安儀與紫外可見光光譜
儀測試薄膜的電致色變特性、光學特性, 進而計算出薄膜的光學密度
變化、變色效率與離子遷出/遷入的x值。
由結果顯示,製備出來的薄膜可見光穿透率比其他氧化態的電致色
變材料較為透明。隨著O2流量增加,其遮光率逐漸下降,當氧氣流量為
2sccm時,遮光率最大,在波長450nm時,其值為29.8%;變色效率逐漸
變少,當氧氣流量為2sccm時變色效率最高,其值23.43cm2/C;響應時間
越來越快,當氧氣流量為8sccm時的去著色響應時間分別為6.37sec與
6.83sec。LixV2O5的遷出/遷入的x 值以O2流量為4sccm時最大,遷出x
值為0.86,遷入x值為0.85;本實驗最佳的參數是以濺鍍功率200W,濺
鍍時間180min,Ar為4sccm,O2為2sccm有最佳穿透率變化,在波長450nm
時,其值為31.928%,變色效率為26.93cm2/C,離子遷出x值為1.06,離
遷入x值為1.03。
Abstract
Electrochromic is a new innovation in research as
Electrochromic Devices, which apply extensively to patterns or
numberal monitors recently. It also put in use to adjust the amount
of light irradiating of architectural material of windows and
driving mirrors. Owing to the driving markets, Electrochromic
becomes thinner, more lightweight, and flexible in its usage of
developments. Current Electrochromic Device uses glass as the
base-board. The Plastic Substrate has an advantageous position,
such as lightweight, thin, flexible and high impact resistance, so
the motive of this study is about the flexible electrochromic
devices.
This study discusses the electrochromic properties using the
flexible electrochromic devices, PET/ITO/V2O5, Produced from
RF magnetron sputtering , for the future production preparation.
Many experiment operation parameters are manufactured by
different conditions, such as the variation of Ar flow and O2 flow,
power magnitude, and the length of sputtering time. The
manufactured films analyze the film thickness and surface
morphology by Cold Field Emission Scanning Electron
Microscope, FESEM , and analyze the surface chemical element
and composing by X-ray Photoelectron Spectroscope, XPS,
respectively. Researchers can test the electrochromic properties,
optical properties of vanadium pentoxide film by Cyclic
Voltammetry, CV and Ultraviolet-Visible spectrophotometry,
UV ,and then sum up the optical density difference, coloration
efficiency, and the value of ion intercalation and deintercalation
of film.
As the result shows that the visible light transmittance of the
manufactured films is more transparent than other oxidized
Electrochromic materials. By increasing of the O2 flow, the
shading ratio will descend gradually, and it has the largest
shading ratio when the oxygen flow is 2sccm. While the
wavelength is at 450nm, its ratio is 29.8%. Colored Efficiency
will reach the apex as 23.43cm2/C when the oxygen flow is
2sccm by the Colored Efficiency is going to decrease
progressively. Response time will be faster and faster. Colored
and bleached response time are 6.37 and 6.83 seconds
respectively when the oxygen flow is at 8sccm. When O2 flow is
at 4sccm, the x of LixV2O5 mobility which out-mobility x is at
0.86 and in-mobility x is at 0.85 is huge. Anti-dazzling rate is
increasing gradually while the sputtering time is also increasing.
The Anti-dazzling rate increasing little by little. The best
parameter of this study is as follow : Ar is 4sccm while the
sputtering power is 200W and the sputtering time is 180min. O2
flow has the best anti-dazzling rate when it at 2sccm, and its is
31.928% while the wavelength is at 450nm. The discolored
efficiency is 26.93cm2/C, the ionic out-mobility x is 1.06, and the
ionic in-mobility x is 1.03.
摘要.......................................... i
Abatract........................................................................................................... ii
目錄.......................................................................................................... iv
表目錄.......................................................................................................... viii
圖目錄.......................................................................................................... ixx
符號說明....................................................................................................xviii
第一章前言............................................................................................... 1
1-1 概述.................................................................................................. 1
1-2 研究動機及目的.............................................................................. 2
第二章文獻回顧......................................................................................... 13
2-1 變色節能窗之分類........................................................................ 13
2-1.1 電致色變(Electrochromic)................................................... 13
2-1.2 光致色變(Photochromism) .................................................. 13
2-1.3 熱致色變(Thermochromism)............................................... 14
2-1.4 電、光與熱致色變的比較.................................................. 14
2-2 電致色變發展歷史........................................................................ 17
2-3 電致色變元件系統簡介................................................................ 18
2-4 互補式電致色變元件系統............................................................ 22
2-5 可撓式電致色變發展趨勢............................................................ 24
2-6 電致色變材料種類........................................................................ 26
2-7 V2O5 薄膜的介紹......................................................................... 29
2-8 電致色變薄膜製備法比較............................................................ 30
第三章實驗方法與步驟............................................................................ 31
3-1 實驗材料與基材前處理................................................................ 31
3-2 以射頻磁控濺鍍沉積五氧化二釩薄膜........................................ 34
3-3 五氧化二釩薄膜電致色變性質分析............................................ 35
3-3.1 可見紫外光光譜量測.......................................................... 35
3-3.2 循環伏安分析...................................................................... 35
3-3.3 階梯電位響應時間分析...................................................... 37
3-3.4 光學密度變化與著色效率.................................................. 39
3-3.5 LixV2O5 的植入係數x....................................................... 39
3-4 薄膜基本物性量測........................................................................ 40
3-4.1 薄膜厚度量測...................................................................... 40
3-4.2 薄膜表面形態分析.............................................................. 40
3-4.3 化學分析電子儀量測.......................................................... 40
第四章結果與討論.................................................................................... 41
4-1 可撓式電致色變元件PET/ITO/V2O5 驅動電壓最佳化分析...... 41
4-1.1 循環伏安曲線的比較.......................................................... 41
4-1.2 可見光穿透率變化的比較.................................................. 47
4-2 製備參數對於電致色變性質之影響............................................ 53
4-2.1 O2 流量之影響....................................................................... 53
4-2.1.1 循環伏安驅動之影響................................................ 53
4-2.1.1.1 循環伏安曲線的比較...................................... 53
4-2.1.1.2 可見光穿透率變化的比較.............................. 57
4-2.1.2 階梯電位驅動之影響................................................ 62
4-2.1.2.1 階梯電位響應時間分析探討.......................... 62
4-2.1.2.2 可見光穿透率變化的比較.............................. 65
4-2.1.2.3 光學密度變化與著色效率的計算.................. 69
4-2.1.2.4 LixV2O5 的植入係數x 的計算.................... 70
4-2.2 Ar 流量之影響................................................................... 71
4-2.2.1 循環伏安驅動之影響................................................ 74
4-2.2.1.1 循環伏安曲線的比較...................................... 74
4-2.2.1.2 可見光穿透率變化的探討.............................. 78
4-2.2.2 階梯電位驅動之影響................................................ 82
4-2.2.2.1 階梯電位響應時間分析探討.......................... 82
4-2.2.2.2 可見光穿透率變化的比較.............................. 85
4-2.2.2.3 光學密度變化與著色效率的計算.................. 89
4-2.2.2.4 LixV2O5 的植入係數x 的計算.................... 90
4-2.3 濺鍍功率之影響................................................................ 92
4-2.3.1 循環伏安驅動之影響................................................ 94
4-2.3.1.1 循環伏安曲線的比較...................................... 94
4-2.3.1.2 可見光穿透率變化的比較.............................. 98
4-2.3.2 階梯電位驅動之影響.............................................. 102
4-2.3.2.1 階梯電位響應時間分析探討........................ 102
4-2.3.2.2 可見光穿透率變化的比較............................ 105
4-2.3.2.3 光學密度變化著色效率的計算.................... 108
4-2.3.2.4 LixV2O5 的植入係數x 的計算...................110
4-2.4 濺鍍時間之影響.................................................................111
4-2.4.1 循環伏安驅動之影響...............................................113
4-2.4.1.1 循環伏安曲線的比較.....................................113
4-2.4.1.2 可見光穿透率變化的探討.............................117
4-2.4.2 階梯電位驅動之影響.............................................. 121
4-2.4.2.1 階梯電位響應時間分析探討........................ 121
4-2.4.2.2 可見光穿透率變化的比較............................ 123
4-2.4.2.3 光學密度變化著色效率的計算.................... 127
4-2.4.2.4 LixV2O5 的植入係數x 的計算.................. 129
4-3 製程參數對可撓式電致色變元件PET/ITO/V2O5薄膜物性之影響
.............................................................................................................. 130
4-3.1 薄膜厚度與成長速率........................................................ 132
4-3.1.1 O2 流量之影響........................................................ 132
4-3.1.2 Ar 流量之影響....................................................... 134
4-3.1.3 濺鍍功率之影響...................................................... 135
4-3.1.4 濺鍍時間之影響...................................................... 136
4-3.2 薄膜表面型態分析............................................................ 137
4-3.2.1 O2 流量之影響........................................................ 137
4-3.2.2 Ar 流量之影響....................................................... 139
4-3.2.3 濺鍍功率之影響...................................................... 140
4-3.2.4 濺鍍時間之影響...................................................... 142
4-3.3 表面元素與化學態分析.................................................... 144
4-3.3.1 O2 流量之影響........................................................ 144
4-3.3.2 Ar 流量之影響....................................................... 147
4-3.3.3 濺鍍功率之影響...................................................... 150
第五章總結論......................................................................................... 153
參考文獻..................................................................................................... 155
附錄....................................................160
表目錄
表1-1 塑膠基板與玻璃基板的比較......................................................... 12
表2-1 各種變色材料的比較..................................................................... 16
表2-2 電致色變材料分類......................................................................... 28
表3-1 實驗參數......................................................................................... 33
表4-2 不同氧氣流量參數O/V 的比例.................................................. 145
表4-3 不同氬氣流量參數O/V 的比例.................................................. 148
表4-4 不同濺鍍功率參數的O/V 比例.................................................. 151
圖目錄
圖1-1 智慧型窗戶的應用(a)示意圖及(b)應用現場....................... 4
圖1-2 智慧型窗戶的應用現場................................................................... 5
圖1-3 智慧型窗戶的應用實例................................................................... 6
圖1-4 電致色變智慧型玻璃應用在汽車之頂窗上................................... 6
圖1-5 電致色變智慧型玻璃應用在車內天窗及車窗............................... 7
圖1-6 電致色變元件之(a)圖案顯示器(b)數字顯示器................... 8
圖1-7 普魯士藍製作成之數字顯示器....................................................... 9
圖1-8 電致色變商品................................................................................. 10
圖1-9 汽車防眩後視鏡及後照鏡............................................................. 10
圖1-10 未來住家........................................................................................11
圖2- 1 電致色變元件系統...................................................................... 19
圖2-2 穿透式電致色變裝置示意圖......................................................... 21
圖2-3 反射式電致色變裝置示意圖......................................................... 22
圖2-4 互補式電致色變元件結構示意圖................................................. 23
圖2-5 具有電致色變性質的氧化物之過渡金屬元素............................. 27
圖3-1 實驗流程圖..................................................................................... 32
圖3-2 本研究使用之濺鍍系統................................................................. 34
圖3-3 本研究的電化學裝置..................................................................... 36
圖3-4 (a) 電位與時間關係圖.................................................................... 36
圖3-4 (b) 電流密度與電位的關係圖....................................................... 37
圖3-5 (a) 電位與時間的關係圖................................................................ 37
圖3-5 (b) 電流密度與時間的關係圖....................................................... 38
圖3-6 穿透率與穿透率對時間微分和時間的關係圖............................. 38
圖4-1.1 驅動電壓(a)-1.2V~1.2V (b)-1V~1.2V (c)-1V~1V (d)-0.8V~1V
(e)-0.6V~1V 及(f)-0.4V~1V 之循環伏安曲線圖..................................... 44
圖4-1.2 五氧化二釩典型的穿透率變化光譜圖...................................... 47
圖4-1.3 驅動電壓(a)-1.2V~1.2V (b)-1V~1.2V (c)-1V~1V (d)-0.8V~1V
(e)-0.6V~1V 及(f)-0.4V~1V 第1、50、100、150、200 次在波長450nm
的穿透率變化圖........................................................................................... 50
圖4-1.4 不同驅動電壓下在波長450nm 的穿透率變化圖..................... 51
圖4-1.5 不同驅動電壓的衰退比率圖...................................................... 52
圖4-2.1.1.1 氧氣流量為(a)2sccm (b)4sccm (c)6sccm 及(d)8sccm 的循環伏
安曲線圖....................................................................................................... 55
圖4-2.1.1.2 不同氧氣流量的去著色電流密度變化圖............................ 57
圖4-2.1.1.2 氧氣流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm 及(d)8sccm 在波長
450nm 第1、50、100、150、200 次的穿透率變化圖............................ 59
圖4-2.1.1.3 以循環伏安法量測的不同氧氣流量在波長400nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 60
圖4-2.1.1.4 以循環伏安法量測的不同氧氣流量在波長450nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 60
圖4-2.1.1.5 以循環伏安法量測的不同氧氣流量在波長400nm 之穿透率
變化比較圖................................................................................................... 61
圖4-2.1.1.6 以循環伏安法量測的不同氧氣流量在波長450nm 之穿透率
變化比較圖................................................................................................... 61
圖4-2.1.2.1 不同氧氣流量的去著色響應時間比較圖............................. 63
圖4-2.1.2.1 為O2 流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm 及(d)8sccm 第1、50、
100、150、200 次與第1~第200 次的階梯電位響應時間圖.................. 64
圖4-2.1.2.2 氧氣(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm 及(d)8sccm 第1、50、100、
150、200 次在波長450nm 的穿透率變化圖............................................ 66
圖4-2.1.2.3 以階梯電位法量測不同的氧氣流量在波長400nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 67
圖4-2.1.2.4 以階梯電位法量測不同的氧氣流量在波長450nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 67
圖4-2.1.2.5 以階梯電位法量測不同的氧氣流量在波長400nm 之穿透率
變化圖........................................................................................................... 68
圖4-2.1.2.6 以階梯電位法量測不同的氧氣流量在波長450nm 之穿透率
變化圖........................................................................................................... 68
圖4-2.1.2.7 氧氣流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm(d)8sccm 的變色效率69
圖4-2.1.2.8 不同氧氣流量的的光學密度變化與變色效率比較圖........ 70
圖4-2.1.2.9 不同氧氣流量之離子遷出遷入x 比較圖.......................... 71
圖4-2.1.2.10 氧氣流量(a)2sccm、(b)4sccm、(c)6sccm 及(d)8sccm 之第1、
50、100、150、200 次離子遷出/遷入x 值............................................ 73
圖4-2.2.1.1 氬氣流量為(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm(d)8sccm 的循環伏安
曲線圖........................................................................................................... 76
圖4-2.2.1.2 為不同氬氣流量的去著色電流密度變化圖........................ 77
圖4-2.2.1.2 氬氣流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm 及(d)8sccm 在波長
450nm 第1、50、100、150、200 次的穿透率變化圖............................ 79
圖4-2.2.1.3 以循環伏安法量測不同的氬氣流量在波長400nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 80
圖4-2.2.1.4 以循環伏安法量測不同的氬氣流量在波長450nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 80
圖4-2.2.1.5 以循環伏安法量測不同的氬氣流量在波長400nm 之穿透率
變化圖........................................................................................................... 81
圖4-2.2.1.6 以循環伏安法量測不同的氬氣流量在波長450nm 之穿透率
變化圖........................................................................................................... 81
圖4-2.2.2.1 不同氬氣流量的去著色響應時間比較圖............................. 83
圖4-2.2.2.1 Ar 流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm 及(d)8sccm 第1、50、100、
150、200 次與第1~第200 次的階梯電位響應時間圖............................ 84
圖4-2.2.2.2 氬氣(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm 及(d)8sccm 第1、50、100、
150、200 次在波長450nm 的穿透率變化圖............................................ 86
圖4-2.2.2.3 以階梯電位法量測不同的氬氣流量在波長400nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 87
圖4-2.2.2.4 以階梯電位法量測不同的氬氣流量在波長450nm 之穿透率
比較圖........................................................................................................... 87
圖4-2.2.2.5 以階梯電位法量測不同的氬氣流量在波長400nm 之穿透率
變化圖........................................................................................................... 88
圖4-2.2.2.6 以階梯電位法量測不同的氬氣流量在波長450nm 之穿透率
變化圖........................................................................................................... 88
圖4-2.2.2.7 氬氣流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm(d)8sccm 的變色效率89
圖4-2.2.2.8 不同氬氣流量的的光學密度變化與變色效率比較圖........ 90
圖4-2.2.2.9 不同氬氣流量之離子遷出遷入x 比較圖.......................... 91
圖4-2.2.2.10 氬氣流量(a)2sccm、(b)4sccm、(c)6sccm 及(d)8sccm 之第1、
50、100、150、200 次離子遷出/遷入x 值............................................ 93
圖4-2.3.1.1 濺鍍功率為(a)50W(b)100W(c)200W 及(d)300W 的循環伏安
曲線圖........................................................................................................... 96
圖4-2.3.1.2 為不同濺鍍功率的去著色電流密度變化圖........................ 97
圖4-2.3.1.2 濺鍍功率為(a)50W(b)100W(c)200W 及(d)300W 在波長
450nm 第1、50、100、150、200 次的穿透率變化圖............................ 99
圖4-2.3.1.3 以循環伏安法量測的不同濺鍍功率在波長400nm 之穿透率
比較圖......................................................................................................... 100
圖4-2.3.1.4 以循環伏安法量測的不同濺鍍功率在波長450nm.......... 100
圖4-2.3.1.5 以循環伏安法量測的不同濺鍍功率在波長400nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 101
圖4-2.3.1.6 以循環伏安法量測的不同濺鍍功率在波長450nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 101
圖4-2.3.2.1 不同濺鍍功率的去著色響應時間比較圖.......................... 103
圖4-2.3.2.2 為濺鍍功率(a)100W(b)200W 及(c)300W 第1、50、100、150、
200 次與第1~第200 次的階梯電位響應時間圖.................................... 104
圖4-2.3.2.2 濺鍍功率(a)100W(b)200W 及(c)300W 第1、50、100、150、
200 次在波長450nm 的穿透率變化圖.................................................... 106
圖4-2.3.2.3 以階梯電位法量測的不同濺鍍功率在波長400nm 之穿透率
比較圖......................................................................................................... 106
圖4-2.3.2.4 以階梯電位法量測的不同濺鍍功率在波長450nm 之穿透率
比較圖......................................................................................................... 107
圖4-2.3.2.5 以階梯電位法量測的不同濺鍍功率在波長400nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 107
圖4-2.3.2.6 以階梯電位法量測的不同濺鍍功率在波長450nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 108
圖4-2.3.2.7 濺鍍功率(a)100W(b)200W(c)300W 的變色效率.............. 109
圖4-2.3.2.8 不同濺鍍功率的的變色效率比較圖................................... 109
圖4-2.3.2.9 不同濺鍍功率之離子遷出遷入x 比較圖.........................110
圖4-2.2.3.10 濺鍍功率(a)100W、(b)200W 及(c)300W 之第1、50、100、
150、200 次離子遷出/遷入x 值.............................................................112
圖4-2.4.1.1 濺鍍時間為(a)60min(b)90min(c)120min 及(d)180min 的循環
伏安曲線圖..................................................................................................115
圖4-2.4.1.2 不同濺鍍時間的去著色電流密度變化圖...........................115
圖4-2.4.1.2 濺鍍時間(a)60min(b)90min(c)120min(d)180min 第1、50、
100、150、200 次在波長450nm 的穿透率變化圖.................................118
圖4-2.4.1.3 以循環伏安法量測的不同濺鍍時間在波長400nm 之穿透率
比較圖..........................................................................................................119
圖4-2.4.1.4 以循環伏安法量測的不同濺鍍時間在波長450nm 之穿透率
比較圖..........................................................................................................119
圖4-2.4.1.5 以循環伏安法量測的不同濺鍍時間在波長400nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 120
圖4-2.4.1.6 以循環伏安法量測的不同濺鍍時間在波長450nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 120
圖4-2.4.2.1 不同濺鍍時間的去著色響應時間比較圖........................... 121
圖4-2.4.2.2 為濺鍍時間(a)60min(b)90min(c)120min(d)180min 第1、50、
100、150、200 次與第1~第200 次的階梯電位響應時間圖................ 123
圖4-2.4.2.2 濺鍍時間(a)60min(b)90min(c)120min(d)180min 第1、50、
100、150、200 次在波長450nm 的穿透率變化圖................................ 125
圖4-2.4.2.3 以階梯電位法量測的不同濺鍍時間在波長400nm 之穿透率比較圖......................................................................................................... 125
圖4-2.4.2.4 以階梯電位法量測的不同濺鍍時間在波長450nm 之穿透率
比較圖......................................................................................................... 126
圖4-2.4.2.5 以階梯電位法量測的不同濺鍍時間在波長400nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 126
圖4-2.4.2.6 以階梯電位法量測的不同濺鍍時間在波長450nm 之穿透率
變化圖......................................................................................................... 127
圖4-2.4.2.7 濺鍍時間(a)60min(b)90min(c)120min(d)180min 的變色效率
..................................................................................................................... 128
圖4-2.4.2.8 不同濺鍍時間的變色效率比較圖....................................... 128
圖4-2.4.2.9 不同濺鍍時間之離子遷出遷入x 比較圖........................ 129
圖4-2.2.2.10 濺鍍時間(a)60min、(b)90min、(c)120min 及(d)180min 之第
1、50、100、150、200 次離子遷出/遷入x 值.................................... 131
圖4-3.1.1 氧氣流量2sccm 的橫截面形貌圖......................................... 133
圖4-3.1.2 不同氧氣流量與厚度和沉積速率關係圖............................. 133
圖4-3.1.3 不同氬氣流量與厚度和沉積速率關係圖............................. 134
圖4-3.1.4 為不同濺鍍功率與厚度和沉積速率關係圖......................... 135
圖4-3.1.5 不同濺鍍時間與厚度和沉積速率關係圖............................. 136
圖4-3.2.1 氧氣流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm (d)8sccm 的表面形貌. 138
圖4-3.2.2 氬氣流量(a)2sccm(b)4sccm(c)6sccm (d)8sccm 的表面形貌. 140
圖4-3.2.3 (a) PET/ITO、濺鍍功率(b)50W(c)100W(d)200W(e)300W 的表
面形貌......................................................................................................... 142
圖4-3.2.4 濺鍍時間(a)60min(b)90min(c)120min(d)180min 的表面形貌
..................................................................................................................... 143
圖4-3.3.1 不同氧氣流量參數下V、O 元素百分比的比較圖.............. 145
圖4-3.3.2 不同氧氣流量的V2O5 薄膜經XPS 量測(a)寬能譜分佈圖
(b)V2p 及(c)O1s 窄能譜分佈圖.............................................................. 146
圖4-3.3.3 不同氬氣流量參數下V、O 元素百分比的比較圖.............. 148
圖4-3.3.4 不同氬氣流量的V2O5 薄膜經XPS 量測(a)寬能譜分佈圖
(b)V2p(c)O1s 窄能譜分佈圖..................................................................... 149
圖4-3.3.5 不同濺鍍功率參數下V、O 元素百分比的比較圖.............. 151
圖4-3.3.6 不同濺鍍功率的V2O5 薄膜經XPS 量測(a)寬能譜分佈圖
(b)V2p(c)O1s 窄能譜分佈圖..................................................................... 152
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