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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:劉采風
研究生(外文):LIU,TSAI-FENG
論文名稱:時間限制下晶圓廠批量機台之現場管控模式
論文名稱(外文):Shop-Floor Control Model of Batch Machine Under Time Constraints
指導教授:杜瑩美杜瑩美引用關係
指導教授(外文):Ying-Mei Tu
學位類別:碩士
校院名稱:中華大學
系所名稱:科技管理研究所
學門:商業及管理學門
學類:其他商業及管理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2006
畢業學年度:94
語文別:中文
論文頁數:56
中文關鍵詞:晶圓製造時間限制現場管控模式批量大小
外文關鍵詞:Wafer FabricationTime ConstraintsShop-Floor ControlBatch Size
相關次數:
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現今晶圓製造技術越來越精密,晶圓廠為了提高晶圓的良率,工程師在爐管區內晶圓製造過程中加上時間限制(Time Constraints;TC),以提升晶圓的良率。晶圓廠的爐管生產線為批量加工機台,因此,到達批量工作站之產品除了需要等候批量工作站加工完畢外,還必須為了集批而增加額外的等候時間。而其下一站為單批加工機台,因此,當上游機台加工完成後,在製品(WIP)會大批的到達等候區而增加其等候時間。由於爐管機台及其下游機台製程皆為時間限制機台,所以等候時間的長短對晶圓的良率有著重大的影響。
歸納上述結果,本研究將提出一套現場管控模式來解決相關問題,稱之為在時間限制下之動態批量機台現場管控模式(Dynamic Batch Job Control with Time Constraints ; DBCTC)。DBCTC法則之現場管控模式將利用目前的環境條件下,在爐管區這段生產線決定數個合適的決策條件,其不只是單一平衡點,而是希望現場人員能依據此管控模式對爐管機台及其上下游機台的投料與加工製程作出最適當的決策與判斷。本研究主要分為兩個部分,首先第一部分是先對上游機台其投料決策的判斷模式,第二部分是針對爐管機台之加工決策模式。針對於在製品在爐管機台製程前後之時間限制問題而言,決策者只要掌控爐管機台之加工產品種類別,以及依據加工產品種類別之在製品狀態來決定爐管機台的最佳批量大小(Batch Size),即可控制在製品的等候時間,使得在製品超過時間限制的比率降低,進而提高在製品的良率以。在此兩部分的決策模式是希望在晶圓產出、在製品超過時間限制的比率等指標上有較佳的表現。
此模式若能應用在目前半導體晶圓製造上,爐管區的製程加工環境將可依照此模式,在產能不變的條件下,大幅降低在製品的超過時間限制的比率,以降低在製品報廢的可能性,將對於改善爐管區內晶圓製程有很大的助益。
摘 要 i
致 謝 ii
目 錄 iii
圖目錄 v
表目錄 vi
第一章 緒論 1
1.1研究背景與動機 1
1.2研究目的 3
1.3研究範圍與限制 3
1.4研究架構 4
第二章 文獻探討 7
2.1批量機台之加工特性 7
2.2批量機台之派工法則 7
2.2.1未來批量到達資訊未知之策略 8
2.2.2最近到達之批量資訊已知之策略 10
2.2.3未來批量到達資訊完全已知之策略 17
2.3等候時間限制之特性 17
2.4總結 19
第三章 現場管控模式之構建 20
3.1問題範圍與限制 20
3.2現場管控模式 21
3.2.1上游投料模式 24
3.2.1.1上游機台全部停止投料 24
3.2.2爐管機台之加工決策模式 27
3.3總結 29
第四章 範例與模式驗證 32
4.1範例環境介紹 32
4.1.1產品目標 32
4.1.2機台資訊 32
4.1.3製程資料 33
4.2範例估算 34
4.2.1範例之詳細步驟 34
4.3模擬驗證與分析 37
4.3.1模擬環境 37
4.3.1.1模擬環境描述 38
4.3.2模擬時間決定 39
4.3.2.1模擬時間設定 39
4.3.3模擬結果與分析 39
4.3.3.1 MBSX法則批量之選擇 39
4.3.3.2 DBCTC法則、MBSX法則和DJAH法則相關性分析 40
4.4總結 45
第五章 結論與建議 46
5.1結論 46
5.2未來研究方向及建議 47
參考文獻 48
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