臺灣博碩士論文加值系統

背光模組提供LCD之平面背光源，其中使用的導光板(Light Guide)與2片菱鏡片(Prism sheet)是採用微溝槽之結構來增強其出光效率。用準分子雷射加工背光模組之V型微溝槽(V-groove)，經由掃描式電子顯微鏡(SEM)觀察可看出V型微溝槽的外型完整，表面平順，用原子力顯微鏡(AFM)量測其表面粗度Ra值為2.3nm，已可達光學鏡面的需求，因此準分子雷射加工小尺寸背光模組V型微溝槽在技術上是可行的。


關鍵詞：背光模組V型微溝槽、準分子雷射微加工(Excimer laser micromachining)

Backlight module provides LCD’s plane backlight source. The light guide plate and two prism sheets were uset the micro groove to enhance the light efficiency. Using excimer laser to fabricate the micro V-groove of backlight module have excellent profile and smooth surface. You can see it using SEM. Using atomic force microscopy (AFM) to measure the surface roughness of V-groove, the Ra is 2.3nm, it is achieve the demand of light lens. So using excimer laser to fabrication the small size micro V-groove of the backlight module is feasible in technique.

摘要 i
英文摘要 ii
目錄 iii
圖目錄 v
第一章、緒 論 1
1-1 前言 1
1-2 研究方向 2
第二章、文獻回顧 3
2-1 LCD背光模組 3
2-1-1導光板及稜鏡片 3
2-1-2 V型微溝槽(V- groove)導光板 4
2-2 準分子雷射(Excimer Laser) 5
2-2-1 Excimer Laser設備原理 5
2-2-2 Laser-LIGA製程 6
2-3 電鑄 8
2-3-1電鑄原理 8
2-3-2電鑄精密模具必須具備之條件 8
2-3-3電鑄特性 9
2-3-4影響電鑄因素 10
2-3-5電鑄應用 10
第三章、實驗步驟 12
3-1 實驗規劃 12
3-2 實驗設備 12
3-3 實驗材料備製 14
3-4 光罩製備 15
3-5 Laser製程 15
3-6 電鑄製程 17
3-6-1鎳鈷電鑄液成份 17
3-6-2操作條件及鎳鈷電鑄析出 18
3-7 V型微溝槽量測 18
第四章、結果與討論 20
4-1 Laser製程討論 20
4-2 電鑄製程討論 23
4-3 微溝槽量測結果 24
第五章、結論 25
第六章、參考文獻 26

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