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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:劉佳原
研究生(外文):CHIA-YUEN LIU
論文名稱:運用最小變異控制器於光碟片Hard-Coat製程運用最小變異控制器於光碟片Hard-Coat製程運用最小變異控制器於光碟片Hard-Coat製程
論文名稱(外文):Apply the Minimum Variance Controller to Hard-Coat of Disc Process
指導教授:陳俊宏陳俊宏引用關係
指導教授(外文):CHUN-HUNG CHEN
學位類別:碩士
校院名稱:中華大學
系所名稱:機械與航太工程研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2006
畢業學年度:94
語文別:中文
論文頁數:63
中文關鍵詞:實驗設計最小變異控制器
外文關鍵詞:Design of ExperimentMinimum Variance Controller
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本研究之目的即針對光碟片旋鍍製程(Spin Coating Process),利用實驗設計建立其數學模型,並藉之為控制的依據,來提升Hard-Coat的良率並進一步增進光碟片的品質。首先確定旋鍍製程上影響Hard-Coat內圈和外圈厚度的變數,其次利用錸德所提供的機台做實驗設計 (Design Of Experiment)建立旋鍍製程模型。並利用遞迴最小平方法(Recursive Least Squares,RLS)做製程模型的即時調變,再將調變完之模式帶入最小變異控制器(Minimum Variance Controller,MVC),來更新製成模型參數以維持模型預測精準度及控制製程之穩定性。藉由此機制不僅可以將製程控制在更穩定的狀態下,還可以減少產品品質的變異、提升製程與設備有效操作率。
The purposes of this study are to construct the process model and develop a spin coating process controller for the spin-coat process. The spin coating process model, the foundation of the process controller, is constructed by design of experiment (DOE). In order to improve the Blu-ray Disc Hard-Coat yield and quality, an advanced process control is employed to early predict and diagnose the possible unusual process deviation so as to adjust the parameters for the equipment in a normal operation condition. First, we identify parameters that affect thin film thickness and uniformity of the cover layer. Then DOE method is used to construct the spin coating model. The recursive procedure is used to update model coefficients and develop the process controller for containing the accuracy and stability of process model Results show that the advanced process control can not only steadily control the manufacturing process, reduce the failure rate, but also increase the efficiency of equipment and the process.
摘 要……………………………………………………………………………..i
英文摘要……………………………………………...…………………………..ii
誌 謝……………………………………………………………………………iii
目 錄………………………………………………………………………....... iv
圖標題 v
圖標題 .vi
表標題 vii
第一章 緒論 1
1.1研究動機與目的 1
1.2文獻回顧 2
1.3研究方法與架構 3
第二章 Hard-Coat製程簡介 6
2.1 Hard-Coat的需要 6
2.2 Hard-Coat製程介紹 9
第三章 旋鍍製程之實驗設計法 13
3.1 何謂實驗設計法 13
3.2 Hard-Coat製程之實驗設計與資料分析 14
3.2.1 部分因子實驗,確定製程參數 15
3.2.2 全因子實驗,建立製程模型 18
第四章 遞迴係數調變法 25
4.1 預先一步的預測 25
4.2 遞迴最小平方法 25
4.3 最小變異控制器 30
4.4 完整的批次控制架構.............................................................................32
第五章 製程模擬與控制 34
5.1 RLS動態模型調變方法與最小變異控制器之模擬 34
第六章 結果與討論 59
參考文獻 60
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