參考文獻
一、中文部份
[1]工業技術研究院．「市場與技術分析」．1998 年半導體工業年鑑，1998。
[2]永勝工程股份有限公司，「潔淨室工程訓練資料」，1994。
[3]台灣積體電路製造股份有限公司，「台南廠區擴廠計畫環境影響說明書」，May 2001。
[4]行政院勞委會，「危險物有害物危險性工作場所審查及檢查研討會資料」，頁41，2000。
[5]邱昌泰，「危機狀態下的災變管理：美國經驗及其對我國的挑戰」，研考雙月刊，第18 卷4 期，頁4~12，1994。
[6]施邦築、熊光華，「大規模災害救災標準作業系統建立」，內政部消防署委託研究案成果報告，2002。
[7]吳秀東，「透過OHSAS18001 的建置評估半導體廠之潛在危害風險」．工業污染防治報導，13，第1~3頁，2000。[8]岡部洋一著，陳連春譯，「圖解半導體與IC」，建興出版社，第4~5頁，1999。
[9]林博彥，「我國災變管理政策執行過程之研究」，台灣大學政治學研究所碩士論文，第5~8頁，1994。[10]洪根強、楊明枝、曾傳銘，「如何擬定緊急應變計畫」．工業安全衛生管理與實務，台北：揚智文化，頁250~280，1998。
[11]侯璿，「半導體製程設備拆移機風險管理研究」，交通大學研究所碩士論文，第6~8頁，2003。[12]徐啟銘、周煌傑，「半導體業安全衛生問題淺論」，工業安全科技，28，第2~7頁，1998。[13]陳火炎、熊光華，「防救災體系與計畫之資料蒐集及資料庫建立之研究」，內政部消防署專題研究報告書，1999。
[14]陳弘毅，「火災學」，鼎茂圖書，1996。
[15]梁杏娟，「我國緊急應變體系整建之研究—以九二一地震為例」，國力暨南國際大學公共行政與政策研究所碩士論文，頁9，2001。
[16]陳亮全等，「新竹科學園區重大火災預防措施之評估」，新竹科學工業園區委托研究，1998。
[17]莊達人，「VLSI製造技術」，高利圖書有限公司，1996。
[18]張一岑，「化工製程安全管理」，頁32~34，1995。
[19]詹中原，「美國政府之危機管理：組織發展與政策架構」，美國月刊，第五卷五期，頁96~105，1990。[20]趙鋼，「災難事故危機管理」，研考報導，第43 卷，頁52~53，1998。[21]經濟部工業局，「緊急應變應用技術手冊」，台北：中國技術服務社，1995。
[22]閻立泰，「政府與民眾危機溝通知研究— 九二一個案分析」，政大公共行政所，碩士論文，頁39~40，2001。[23]鄧明忠，「由無塵室的工作環境談安全」，工業安全科技，22期，第28~31頁，1997。[24]鄭謀至，「如何擬訂緊急應變計畫」．工業安全衛生月刊，36期，頁33~44，1992。[25]劉憶蓉、盧哲明、陳政任、鄭功耀，「半導體WCVD製程尾氣分析與危害評估」，工業安全衛生研討會，經濟部工業局/工研院工安衛中心主辦，2000。
[26]謝正倫、施邦築，「鄉鎮縣﹙市﹚基層地區災害防救工作之強化與落實」，第一屆全國防災學術研討會論文集，頁29，1997。
[27]顏登通，「潔淨室之設計與管理」，全華科技圖書股份有限公司，1997。
[28]鄧家駒，「風險管理」，台北：華泰，頁29 ~37，1998。
[29]Norman Augustine 著，吳佩玲譯，「危機管理」，天下文化，頁10~31，2001。
二、英文部分
[30]Acron, W. A., Code Compliance for Advanced Technology Facilities – A Comprehensive Guide for Semiconductor and Other Hazardous Occupancies, Noyes, 1993.
[31]American Society of Safety Engineers, Dictionary of Terms Used in the Safety Profession (3rd ed.), Des Plaines, IL: ASSE, 16, 1988.
[32]Bolmen, J. R., Building and Fire Codes Impacting the Semiconductor Industry, Semiconductor Safety Handbook - Chapter 9, Noyes Publications. Library of Congress catalogue number: 97-24032. ISBN: 0-8155-1418-2, 1998.
[33]CCPS, Guidelines for Hazard Evaluation Procedures, 2nd ed., Center for Chemical Process Safety, American Institute of Chemical Engineers, 1992.
[34]Chen, J. R., Sources and Solutions of Fire and Explosion in Semiconductor Manufacturing Processes, 10th International Symposium on the Loss Prevention, Safety Promotion in the Process Industries, Stockholm, Sweden, 2001.
[35]Crowl, D. A. and Louvar, J. F., Chemical Process Safety, Prentice-Hall, 1990.
[36]Electronic Industry Association of Japan (EIAJ), Past accidents by process, 1980-2000.
[37]Factory Mutual Research Co., Data Sheet 7-7/17-12, Semiconductor Fabrication Facilities, 1997.
[38]Factory Mutual Global 7-7, Property Loss Prevention Data Sheets Semiconductor Fabrication Facilities, 2001.
[39]Godschalk, The Hazard Mitigation Grant Program: Scattered Spending. In Natural Hazard Mitigation: Recasting Disaster Policy and Planning, Washington, D.C., 1999.
[40]Herman, C., Some Consequences of Crisis Which Limit the Viability of Organizations, Administrative Science Quarterly, Vol. 8, pp. 61-82, 1963.
[41]Lee, G., Ohtani, H., Uehara, Y. and Aramaki, M., Experimental Study on Flammability Limit of a Chlorine Trifluoride/Dichlorosilane/ Nitrogen, J. Loss Prev. Process Ind., pp. 192-195, 1992.
[42]Mayer, M. and Norman, A., The Handbook for Effective Emergency and Crisis Management, Lexington, Massachusetts: D.C. Health and Company, pp. 3-4, 1988.
[43]Mileti, D. S., Disaster by Design: A Reassessment of Natural Hazards in the United States, Washington D.C.: Joseph Henry, 1999.
[44]NFPA 318, Standard for the Protection of Cleanrooms, National Fire Protection Association, 1995.
[45]Oklahoma State University, Incident Command System, Fire Protection Publication, 1980.
[46]Rosenthal, U., Crisis Decision Making in the Netherlands, Netherlands Journal of Sociology, Vol. 22, pp. 103-129, 1986.
[47]Seliger, J.S. and Simoneau, J. K., Emergency Preparedness, Disaster Planning for Health Facilities, 1986.
[48]Sze, S. M., VLSI Technology, 2nd ed., McGraw-Hill, p.127, 1988.
[49]Turner, B., Man Made Disasters, London: Wykenham, 1978.
三、網站部份
[50]http://www.cbs.state.or.us/external/osha/educate/training/pages/100xm6.html
[51]http://www.nfa.gov.tw/asp/history.aspx?pid=18