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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林瑋耿
研究生(外文):Wei-Keng Lin
論文名稱:二氧化矽粒子製備之批間控制
論文名稱(外文):Run-to-run process control of producing silica particles with drift
指導教授:鄭西顯鄭西顯引用關係
指導教授(外文):Shi-Shang Jang
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學工程學系
學門:工程學門
學類:化學工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2006
畢業學年度:94
語文別:中文
論文頁數:48
中文關鍵詞:批間控制二氧化矽單一產品控制策略
外文關鍵詞:Run to run controlsilicaTool-Based controlProduct-Based controlSingle-product control
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本研究論文主要是以溶膠凝膠法(sol-gel method)製備二氧化矽粒子在相同的實驗操作條件下,加入大量的氨水揮發作為系統干擾並探討以批間控制(Run to run control)的方法使用同一套設備及以批間控制器調整實驗配方製備不同規格之二氧化矽粒徑的大小(size)並獲得穩定的控制且達到設定的目標值。
同時,我們也應用了前人所建立的一套批間控制的系統模式,證明以單一產品控制策略(Single-Product control)在生產單一規格的二氧化矽粒子時,批間控制確實可以在幾個實驗批次內消除因氨水揮發所導致的系統干擾,並重新調整下一個批次的實驗配方以改善前一個批次與下一個批次之間的變異,及應用前人的系統模式在製備二氧化矽粒子的實驗過程中,嘗試利用兩種不同的批間控制方法〝 Tool-based控制策略〞及〝Product-based控制策略〞探討在固定時間及室溫下氨水揮發所造成系統干擾,對於控制二氧化矽粒徑規格的可行性。
摘要 II
目錄 IV
圖目錄 VII
1.緒論 1
1.1 光子晶體 1
1.2 批間控制簡介 3
1.3 研究動機 5
2.二氧化矽之製備 6
2.1 二氧化矽之反應機制 6
2.2 影響二氧化矽粒徑的因素 7
3.批間控制器 12
3.1 EWMA原理介紹 12
3.2 批間控制在粒徑控制應用 15
4.實驗步驟與方法 17
4.1 實驗裝置與步驟 17
4.2 實驗藥品 21
4.3 實驗儀器 21
4.4 JEOL SEM JSM-5600 操作程序 22
5.批間控制實驗 27
5.1 系統線性模式 27
5.2 單一產品控制 30
5.3 Tool-Based 控制策略 34
5.4 Product-Based 控制策略 36
5.5系統干擾控制 39
5.6系統干擾之模擬與實驗控制 41
6.結論 45
文獻回顧 46
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