跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(18.97.9.172) 您好!臺灣時間:2025/02/16 20:36
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

: 
twitterline
研究生:蔡榮修
研究生(外文):Rung-Shiou Tsai
論文名稱:相位移干涉系統誤差分析與補償
論文名稱(外文):Error analysis and error compensation in a phase-shifting interferometry
指導教授:曾垂拱
指導教授(外文):Chwei-Goong Tseng
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣科技大學
系所名稱:機械工程系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2006
畢業學年度:94
語文別:中文
論文頁數:84
中文關鍵詞:麥克森干涉系統相位移法四相位法系統誤差
外文關鍵詞:Michelson interference systemphase unwrappingFour-Frame techniquesystem error
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:358
  • 評分評分:
  • 下載下載:56
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
本研究是有關以光學干涉法進行物件表面的量測。在麥克森干涉系統中加入四分之一波片與偏光鏡來產生相位移的效果,由四相位法(Four-Frame Technique),計算出代表各點高度的相位資料,以提昇系統的解析度。相鄰兩干涉條紋間區域性相位補償,以及全試片條紋序號的補償都發展出電腦程式來進行。待測物的凹凸面判別法也在文中記載。
在本文中藉由兩片光學平鏡以量測系統的系統誤差,並判斷此誤差的凹凸面。在確定系統誤差後,再選取任一待測物進行量測,說明如何扣除原來的系統誤差,以得到真實待測物的表面輪廓。
This thesis is about using optical interference method to measure surface geometry. Phase-shifting techniques with simple optic elements were employed to increase the resolution of a Michelson interference system. The phase height of each surface point was obtained through Four-Frame technique. The required computer software were develop to compensate phase value between any two interference fringes and also among the entire surface. The principle to determine concave or convex of a surface is also provided.
An optical flat was used as a sample to determine the error of the system. Demonstration of how to compensate the system error in a measurement is illustrated in details.
中文摘要……………………………………………………………..Ⅰ
英文摘要…………………….………………………………………..Ⅱ
致謝…..…..………………….………………………………………..Ⅲ
目錄…..………………….……………………………………..……..Ⅳ
圖表索引…………………….………………………………………..Ⅶ
符號表索引…………………….……………………………………..XI
第一章 緒論
1-1前言…………………….………………………………………..1
1-2文獻回顧…………………….…………………………………..2
1-3實驗目的與內容…………………….…………………………..5
第二章 相關理論概述
2-1引言…………………….………………………………………..6
2-2縱波與橫波…………………………….………………………..6
2-3偏光與偏光鏡…………………………….…………………..…7
2-4雷射光偏振方向檢測…………………………….……………..9
2-5偏光鏡偏光軸方向檢測…………………………….…………10
2-6波動方程式…………………………….………………………12
2-7折射現象…………………………….………………….….…..13
2-8雙折射現象與四分之一波片………………………….…..……14
2-9麥克森干涉系統…………………………….……………..……18
2-10四分之一波片與偏光鏡的相位組合…………………....….…20
2-11公式推導…………………………….……………..…………..20
2-11.1基準相位………………………………..…...……………22
2-11.2相位延遲90度………………….………….…….…..…...24
2-11.3相位延遲180度…………………….…………..…......….26
2-11.4相位延遲270度…..………………………………..……..27
第三章 相位移法與相位重建
3-1引言…………………….…………………………….………….29
3-2相位移法的基本概念與目的…….….………………………….30
3-3相位移法的基本公式……….……………….……………...…..31
3-4相位移演算法…………………….……….……...……………..32
3-5四相位法的相位補……………….……….……...……………..35
3-6判斷待測物為凸面或凹面……….……….……...……………..39
3-7定條紋序……………….……….……...………………………..41
3-8曲面重建……………….……….……...………………………..42

第四章 實驗與討論
4-1引言…………………….………………………......…………..45
4-2實驗設備…………………….……………...……………...…..46
4-3實驗步驟…………………….………………………...…...…..54
4-3.1麥克森干涉系統組裝步驟………………………………...54
4-3.2干涉系統的誤差分析………………………………...........65
4-3.3系統誤差量測與任一待測物的量測……………………...67
4-3.4系統誤差與真實待測物表面高度的關係………………...69
4-4實驗結果…………………….…………………...………...…..70
4-4.1系統誤差校正的四個相位圖形………………...................70
4-4.2量測待測物表面的四個相位圖形………………...............73
4-4.3真實待測物的表面分佈………………...............................76
第五章 結論與未來展望
5-1結論…………………….………………………...………...…..79
5-2未來展望…………………….………………………...…...…..80
參考文獻…………………….…………………………………...……..81
作者簡介….……………………………………………………...……..84
1. 曾垂拱,葉格銘,“菲索干涉儀與壓電材料之晶圓表面量測”,國立台灣科技大學機械工程技術研究所碩士學位論文,民國九十二年。
2. 曾垂拱,潘安勝,“相位移干涉系統之平坦度量測”,國立台灣科技大學機械工程技術研究所碩士學位論文,民國九十三年。
3. 曾垂拱,江明謙,“用於平坦度量測之相位移光干涉系統”,國立台灣科技大學機械工程技術研究所碩士學位論文,民國九十四年。
4. http://www.bud.org.tw/answer/0004/000473.htm。
5. 潘家寅,“雷射”,徐氏基金會出版,民國74年,第3-5頁。
6. 胡錦標,曹培熙,陳世萍,劉德清,杜惠華,“雷射光電系列(一)-雷射光學實驗”,台大慶齡工業中心出版,民國七十五年,第139-155頁。
7. 張阜權,孫榮山,唐偉國,“光學”,亞東書局印行,民國77年,第327-330頁。
8. J. W.Dally,W. F.Rily,“Experimental Stress Analysis Third Edition”,McGRAW-HILL INTERNATIONAL EDITIONS,1999,P.346-349。
9. 楊建人,“光學原理”,財團法人徐氏基金會,民國八十一年,第215-216頁。
10. 林宸生,陳億成,林文豐,“實用精密量測與機件檢驗”,全欣圖書資訊股份有限公司,民國八十三年,第495-499頁。
11. 馬英俊,“雷射(基本原理及應用)”,徐氏基金會,民國80年,第5-6頁。
12. 吳光雄,“光學實驗”,高立圖書有限公司,民國八十二年。
13. 曾垂拱,余祖輝,“光學式熱膨脹儀的研製”,第十九屆中國機械工程研討會論文集,E11-002,台灣雲林,2002。
14. N.R.Sivakumar,W.K.Hui,K.Venkatakrishnan,B.K.A.Ngoi,“Large surface profile measurement with instantaneous phase-shifting interferometry”,2003。
15. C.K.Lee, C.W.Chen, and H.Y.Chang,“An Innovative Phase Shifting System for Non-Destructive Testing”, Institute of Applied Mechanics, National Taiwan university, (1996)。
16. M.O.Peterson, P.D.Jensen,“Computer-aided Electronic Speckle Pattern Interferometry(ESPE)”. Deformation Analysis by Fringe Manipulation”, Non-Destr. Test.Int,Vol.21(6),pp422-424,(1988)。
17. C.K.Hong, H.S.Ryu, and H.C.Lim,“Least-squares Fitting of the Phase Map Obtained in Phase-shifting Electric Speckle Pattern Interferometry”,
Optics Letters,Vol.20,No.8,p931-933,(April 15,1995)。
18. G.L.Cloud,“Optical Methods of Engineering Analysis”,Cambridge University Press, New York, USA,pp.477-491,(1995)。
19. 陸懋宏,洪文明,“白光相移干涉術之三維表面量測”,國立交通大學光電工程所碩士學位論文,民國九十三年。
20. M.R.R. Gesualdi, D.Soga, M. Muramatsu,“Real-time holographic interferometry using photorefractive sillenite crystals with phase-stepping technique”, Optics and Lasers in Engineering 44 (2006) 55-67.
21. 張智星,“MATLAB程式設計與應用”,清蔚科技出版事業部,民國九十一年。
22. 高堅志,“實用雷射技術”,文笙書局,民國81年,第71-86頁。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
1. 邱淑芬、莊琴英、陳瓊香、楊馥美、毛錦玉、湯靜怡(1996):探討骨科護理在職教育對護理人員的影響。榮總護理,13(3),332-341。
2. 邱秋美、林麗滿、黃珊(2002):某醫學中心手術室護理人員對職業危害認知、防護措施行為及擔心程度探討。長庚護理,13(4),298-307。
3. 邱文科、李永輝(1992):不良工作姿勢與護理人員下背痛之關連性研。護理雜誌,39(2),89-99。
4. 林麗英、張碧華(2003):護理人員學習化學治療課程變其化學治療知識、態度之研究。榮總護理,20(3),270-281。
5. 林麗英、余幸澄、楊美蓉、王富瑩(1998):護理人員對化學治療知識與態度之探討 。 榮總護理 。 15(1),60-73 。
6. 林麗英(1988):護理人員的護理技能、溝通技巧與行政能力之探討。榮總護理,5(3),283-288。
7. 林紀慧(1999):網際網路與護理教育。領導護理,3(2),62-66。
8. 林志銘、韋哲啟、張昭、楊冠洋、趙秀雄(1996):醫療服務業之職業災害—員工公傷事件分析。中華職業醫學雜誌,3(1),9-16。
9. 林世昌、黃勝凱、陳伍仁(1995):某醫院空氣環氧乙烷及笑氣濃度之調查研究。工業安全衛生月刊,75 ,21-28。
10. 林文香、夏萍絗(1998):護理人員面對病患性騷擾及因應之初探。榮總護理,15(4),386-395。
11. 岳修平(1999)。網際網路教學於學校教育之應用。課程與教學季刊,2(4),61-76。
12. 阮慧沁、潘靜雲、陳九五(1994):五專及職校高年級護生對愛滋病知識、態度及護理意願之探討。護理雜誌,41(3),41-51。
13. 汪素敏、鄭美玉(2000):某區域教學醫院加護病房護理人員交班方式改善方案。國防醫學,30(3),271-280。
14. 李選、陳子雲、林淑琴(2005):二十一世紀護理人員應具備的精神心理衛生護理素養。護理雜誌,52(1),5-10。
15. 李琳琳、張玲珍、黃金淑、郭憲文(1997):中部地區某教學醫院醫護人員對工作環境危害認知之研究。中華職業醫學雜誌(復刊號) ,4(2),83-92。