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研究生:陳鉞庭
研究生(外文):Yue-Ting Chen
論文名稱:LCD玻璃基板厚度與間隙之檢測
論文名稱(外文):Measuring the Thickness and Gap for LCD’s Glass
學位類別:碩士
校院名稱:國立虎尾科技大學
系所名稱:光電與材料科技研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2006
畢業學年度:94
語文別:中文
論文頁數:89
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針對目前面板廠而言,曝光時光罩與基板間的距離,是影響製程良率的關鍵因素之ㄧ。本研究針對LCD玻璃基板厚度與間隙的檢測問題進行研究,根據測量的範圍與精度,分別發展出二套非接觸式的量測系統。在小量程及高精度的要求下,本文以共軛焦的概念設計系統,可精準的測量玻璃的厚度與間隙。在較大量程的需求下,則使用三角量測的概念設計系統,在結合線陣列CCD、PSD及後級信號的處理下完成精密檢測的目的。
The one of key factors which effects yield rate is the distance between the mask and substrate during exposure process in present panel factory. We develop two non-contact measurement systems to detect the thickness and gap of LCD glass substrates. To achieve less measuring range and higher precision, we propose a confocal method which can precisely measure the thickness and gap of glass substrates. For satisfying the requirement of large measuring range, we apply a concept of triangle measurement, and then combine linear array CCD (Charge coupled Device), PSD (Position Sensitive Detector) and power ramp signal processing to accomplish accurate detection.
中文摘要…………………………………………………………………i
英文摘要…………………………………………………………………ii
誌謝……………………………………………………………………iii
目錄……………………………………………………………………iv
表目錄…………………………………………………………………vii
圖目錄…………………………………………………………………viii
第一章 緒論 1
1.1 前言 1
1.2 文獻回顧 4
1.3 論文架構 7
第二章 三角量測系統 8
2.1 量測系統基本原理 8
2.2 CCD量測系統 11
2.2.1 CCD的脈衝驅動與信號處理 11
2.2.2 CCD量測系統架構 17
2.2.3 實驗結果與分析 19
2.3 PSD量測系統 24
2.3.1 PSD元件與信號處理 24
2.3.2 PSD量測系統架構 27
2.3.3 實驗結果與分析 29
2.4光束調變與PSD量測系統 34
2.4.1 光束調變與PSD量測系統架構 34
2.4.2 實驗結果與分析 35
2.5 誤差分析 39
2.6探討小間隙的情況(兩光點重合時) 44
2.6.1 檢測雷射光點大小之實驗架構 45
2.6.2 檢測光點大小之實驗結果與分析 46
2.6.3 PSD量測系統於光點重合時之結果與分析 47
2.7 小結 50
第三章 共軛焦量測系統 51
3.1 量測系統之基本原理 51
3.1.1 共軛焦系統之原理 51
3.1.2 聚焦原理 52
3.1.3 量測原理 54
3.2 雙探頭量測系統 56
3.2.1 步階式掃描量測 57
3.2.2 實驗結果與分析 60
3.2.3 連續快速掃描量測 68
3.2.4 實驗結果與分析 69
3.2.5 誤差分析 76
3.3 小結 83
第四章 結論與未來展望 84
4.1 結論 84
4.2 未來展望 85
參考文獻 87
[1] H. Jeong and M. A. Hartney, “Optical projection system for gigabit DRAMs,” J. Vac. Sci. Technol. Vol. B-11, p. 2675, 1993.
[2] 林宸生,”自動化光學檢測系統於LCD產業之設計與應用”, 科技新知, 第26卷, 第二期, P27-39, 中華民國93年.
[3] A. R. Tynes, D. L. Bisbee, “3.5-Precise interferometry of glass plates“, J. IEEE., vol. QE-3, p. 459, 1967.
[4] S. Y. El-Zaiat, “Measuring the thickness and refractive index of athick transparent plate by an unexpanded laser beam”, Optics & Laser Technology. vol. 29, p. 63, 1997.
[5] Jari Rasanen, Kai-Erik Peiponen, “ On-line measurement of the thickness and optical quality of float glass with a sensor based on a diffractive element”, Appl. Opt., vol. 40, p. 5034, 2001.
[6] Zhi-Cheng Jian, Cheng-Chih Hsu, Der-Chin Su, “ Improved technique for measuring refractive index and thickness of a transparent plate”, Optics Communications, vol. 226, p. 135, 2003.
[7] G. Coppola, P. Ferraro, M. Iodice, and S. D. Nicola, “Method for measuring the refractive index and the thickness of transparent plates with a lateral-shear, wavelength-scanning interferometer”, Appl. Opt., vol. 42, p. 3882, 2003.
[8] Wang Wei, Dong Zaili, Liu Changyou, “ Thc Method .Research of Non-Contact Thickness Measurement of Transparent Object with Free-Form Surface”, IEEE, p. 3837, 2004.
[9] B. He, F. Cabestaing, Member, IEEE, J. G. Postaire, and R. Zhang, “Narrow-Band Frequency Analysis for Laser-Based Glass Thickness Measurement”, IEEE, vol. 54, p. 222, 2005.
[10] E. E. Moon, P. N. Everett, K. Rhee and Henry I. Smith, “Simultaneous measurement of gap and superposition in a precision aligner for x-ray nanolithography”, J. Vac. Sci. Technol., vol. 14, p. 3969, 1996.
[11] Paul J. Thomas R. Mani, N. Khalil, “Noncontact measurement of e´talon spacing using a retroreflection technique”, Rev. Sci. Instrum., vol. 70, p. 2225, 1999.
[12] Cheng-Chih Hsu , Ju-Yi Lee , Der-Chin Su, “Thickness and optical constants measurement of thin film growth with circular heterodyne interferometry”, Thin Solid Films, vol. 491, p. 91, 2005.
[13] L. Montgomery Smith and Chris C. Dobson, “Absolute displacement measurements using modulation of the spectrum of white light in a Michelson interferometer”, Appl. Opt., vol. 28, p. 3339, 1989.
[14] Guanming Lai and Toyohiko Yatagai, “Use of the fast Fourier transform method for analyzing linear and equispaced Fizeau fringes”, Appl. Opt., vol. 33, p. 5935, 1994.
[15] Gordon S. Kino and Stanley S. C. Chim, “Mirau correlation microscope”, Appl. Opt., vol. 29, p. 3775, 1990.
[16] S. Hell, S. Witting, M. v. Schckfus, R. W. Wijnaendts van Resandt, S. Hunklinger, E. Smolka, M. Neiger, “A confocal beam scanning white-light microscope,” J. Microsc. vol. 163, p. 179, 1991.
[17] 施敏,”半導體物理元件”, 國立交通大學出版社, 2003.
[18] 張漢龍,”CCD Gamera 量測系統” 國立中央大學光電科技研究所碩士論文, 2001.
[19] 林佳芬,”CCD影像儀光學系統測試” 國立成功大學物理研究所碩士論文, 2002.
[20] ” ILX526A CCD Linear Image Sensor (B/W) Datasheet”, Sony corp.
[21] 卓家軒、林宸生,’’透明玻璃間隙的光電量測方法研究與系統開發’’,第二十屆機械工程研討會論文集, p1159-1166,中華民國92年.
[22] 諶廷政、呂海寶,”CCD 細分技術方法研究及應用”, 中國光學學報,第二十二卷第十一期, 2002.
[23] 陳陽,”光學式非接觸厚度-微位移測量儀的研製,中國哈爾濱理工大學工學碩士學位論文, 2003.
[24] 莊葆華,”非接觸雷射探頭研製” ,機械月刊第二十二卷第二期, 1996.
[25] 袁雅珍, ”位敏探測器PSD特性及其在三角測量中的應用”, 光學 精密工程第四卷第四期, 1996.
[26] H. Andersson, G. Thungstrom, A. Lundgren, H.-E. Nilsson, “Processingand characterization of a position sensitive lateral-effect metal oxide semiconductor detector”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, vol. A-531, p. 140, 2004.
[27] 張永威,”PSD的基本特性與應用之研究”, 國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所碩士論文, 2003.
[28] Eugene Hecht, ”Optics”, pp. 472-474, 4end, Addison Wesley, 2002.
[29] John M. Khosrofian and Bruce A. Garetz, “Measurement of a Gaussian laser beam diameter through the direct inversion of knife-edge data”, Appl. Opt., vol. 22, p. 3406, 1983.
[30] 李宗憲, ”透鏡光纖的光學模型與耦合效率之研究”, 國立中央大學光電科學研究所碩士論文, 2003.
[31] 朱志良, ”奈米級三次元量測移之研製”, 國立台灣大學機械工程研究所博士論文, 2002.
[32] “OPU66.30 optical Pickup unit Product information and guide”, PHILIPS corp.
[33] 王仁椲, “精巧型雷射直寫系統及繞射元件之研製”, 國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所碩士論文, 2005.
[34] 何建娃, 耿繼業, “幾何光學”, 全華出版社, 2004.
[35] “AMLCD Glass Substrates Material Information”, Corning Incorporated, 2003.
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