臺灣博碩士論文加值系統

半導體產業為因應科技的日新月異，資訊化程度需求的提升，以及市場的競爭激烈，使得高良率成為所追求的目標之一。因此如再以人工目視辨識，不僅浪費時間且有時會因判定的主觀性，而增加誤判的可能性。本研究為提升偵測的準確性及製程良率，將運用機器視覺方法與資料採礦技術，發展一套晶圓錯誤圖樣分析架構。我們首先以模擬方式產生包含十六種錯誤類型以及不同等級隨機誤差的一維與二維晶圓圖資料，在第一階段將討論支持向量機分析方法的錯誤辨識能力，而在第二階段則使用兩種類神經網路方法與兩種分類樹方法，比較這幾種分類方法與資料型態在辨認晶圓圖錯誤樣式的能力優劣。本論文模擬結果顯示使用支持向量機分析法(SVM)的確能提高精準的辨識正確率，且類神經網路中MLP法的表現最佳。當晶圓資料型態轉換成二維時，類神經與分類樹分類方法均可以提升辨識正確率。

The human view-based methods are traditionally used in semi-conductor industry to trace production errors with the disadvantages such as time-wasting and subjectiveness. To enhance the accuracy of detection and the product rate, machine vision methods and Data Mining Techniques are applied in this study to develop a wafer-map analysis system. A two-phase method is adopted in our study. During the first phase, the ability of identification of the erroneous judgment by Support Vector Machine based method will be discussed. In the second phase, neural networks models and decision tree methos are adopted. Random samples of one-dimension and two-dimension wafer bin maps were generated from sixteen patterns with various levels of random noises to compare identification accuracy. Our study shows that the adoption of Support vector machine analysis increases the accuracy of identification. In the second phase, we find that mulit-layer perceptron neural network models functions best. Also, when the wafer data is converted to spatial data representation, both Neural Networks Model and Decision Tree Analysis Model increase the accuracy of identification.

目 錄 I
表目錄 III
圖目錄 IV
第一章　緒論 1
1.1 研究動機 1
1.2 研究目的 2
1.3 研究架構與流程 3
1.4 論文研究大綱 5
第二章 文獻探討與相關研究 6
2.1 資料採礦(DATA MINING)概論 6
2.2 晶圓處理製程與晶圓圖簡介 9
2.2.1 晶圖處理前段製程 9
2.2.2 晶圓處理後段製程 11
2.2.3 晶圓針測製程 14
2.2.4 晶圓圖的錯誤型態 15
2.3 圖樣辨識（PATTERN RECOGNITION）概論 19
2.3.1 圖樣辨識之簡介 19
2.3.2 圖樣辨識（pattern recognition）方法及文獻研究 21
2.4 支持向量機（SUPPORT VECTOR MACHINE；SVM） 22
2.4.1 支持向量機之簡介 22
2.4.2 支持向量機相關研究探討 25
2.5 類神經網路(NEURAL NETWORK) 25
2.5.1 多層感知網路（Mulit-Layer Perceptron Network） 28
2.5.2 nnet演算法 31
2.6 決策樹(DECISION TREE) 31
2.6.1 C＆RT決策樹（Classification and Regression Trees） 33
2.6.2 C4.5決策樹 35
第三章 晶圓圖分類與模式架構 37
3.1 晶圓圖資料之二維輸入法 37
3.2 研究流程 40
第四章 實作與評估 43
4.1 晶圓圖資料來源與生成過程 43
4.2 分類結果之評估準則 44
4.3 不同晶圓圖分類架構之比較分析 45
4.4 第一階段分類效果分析與比較 47
4.5 第二階段四種監督式方法比較分析 51
4.6 不同晶圓圖分類架構下之比較分析 55
第五章　結論與建議 59
5.1 結論 59
5.2 建議 60
參考文獻 62
表目錄
表2.1 DATA MINING 與STATISTICS比較表 9
表2.2 決策樹演算法比較 32
表3.1 通過晶圓圖上每個晶片的直線與圓之方程式 39
表4.1 評估準則分類列聯表 44
表4.2 評估準則 45
表4.3 四種不同的架構下之測試樣本的準確率、精確率與檢出率 48
表4.4 六種不同的架構之測試樣本的辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張，測試集1000張 51
圖目錄
圖1.1 研究架構圖 4
圖2.1 最基本的矽晶圓加工流程 11
圖2.2 半導體積體電路生產流程（旺宏電子） 14
圖2.3 晶圓針測之流程圖 15
圖2.4 不同BIN層晶圓圖 16
圖2.5 十五種錯誤類型的晶圓圖 18
圖2.6 混合性故障 19
圖2.7 圖樣辨識流程 21
圖2.9 類神經元模型 26
圖2.10 MLP神經網路架構圖 29
圖2.11 決策樹樹狀圖 32
圖3.1 晶圓圖單維資料型態 37
圖3.2 座標上的晶圓圖 38
圖3.3 通過晶圓圖上每個晶片的直線 38
圖3.4 通過晶圓圖上每個晶片的圓 39
圖3.5 晶圓圖二維資料型態 40
圖3.6 本研究晶圓圖分類架構 42
圖4.1 六種不同晶圓圖分類架構 47
圖4.2 不同干擾係數之系統型故障精確率 49
圖4.3 不同干擾係數之隨機型故障精確率 49
圖4.4 不同干擾係數之系統型故障檢出率 49
圖4.5 不同干擾係數之隨機型故障檢出率 49
圖4.6 不同干擾係數之準確率 49
圖4.7 MLP分類法與六種架構之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集 1000張 測試集1000張 52
圖4.8 C4.5分類法與六種架構之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 53
圖4.9 NNET分類法與六種架構之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 53
圖4.10 C&RT分類法與六種架構之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 54
圖4.11 一維資料輸入與四種監督式分類方法之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 55
圖4.12 二維資料輸入與四種監督式分類方法之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 55
圖4.13 空間統計與判別分析+一維輸入與四種監督式分類方法之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 56
圖4.14 空間統計與判別分析+二維輸入與四種監督式分類方法之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 56
圖4.15 SVM支持向量機+一維輸入與四種監督式分類方法之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 57
圖4.16 SVM支持向量機+二維輸入與四種監督式分類方法之測試樣本辨識正確率，2000張晶圓圖，訓練集1000張 測試集1000張 57

參考文獻
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