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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王嘉麟
論文名稱:運用失效模式與影響分析評估矽甲烷供應系統之安全性-以TFT-LCD廠為例
論文名稱(外文):Use FMEA to assess the safety of silane supply system- take TFT-LCD factory as an example
指導教授:金大仁金大仁引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:工學院碩士在職專班產業安全與防災學程
學門:環境保護學門
學類:環境防災學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2006
畢業學年度:95
語文別:中文
論文頁數:88
中文關鍵詞:失效模式與影響分析矽甲烷失誤樹
外文關鍵詞:FMEASilaneFTA
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TFT-LCD產業是目前台灣重要的產業之一,此產業使用了各種具有燃燒性、爆炸性、毒性、…等高度反應性的危害物質,對人的安全與健康有嚴重的威脅性。本文之研究以矽甲烷供應系統之作業安全為研究對象,收集過去已知發生之事故與相關案例進行矽甲烷供應系統之危害分析,及辨識潛在之危害。運用失效模式與影響分析來進行事故潛在發生因子的辨識與分析發生風險,並比較與半導體廠之安全管理差異,藉由失誤樹之推演,可以瞭解TFT-LCD廠矽甲烷事故的起始因素,提出防範措施與安全管理建議。
中文摘要 ……………………………………………………… iii
英文摘要 ………………………………………………………… iv
誌謝 ………………………………………………………… v
目錄 ………………………………………………………… vi
表目錄 ………………………………………………………… viii
圖目錄 ………………………………………………………… ix
第一章 緒論…………………………………………………… 1
1.1 前言…………………………………………………… 1
1.2 文獻回顧……………………………………………… 4
1.3 本文研究目的及方法………………………………… 8
第二章 製程危害分析………………………………………… 10
2.1 TFT-LCD之製程簡介…………………………………… 10
2.2 氣瓶櫃設備(Gas Cabinet)介紹……………………… 13
2.3 事故災害案例分析…………………………………… 14
2.4 危害因子辨識………………………………………… 17
第三章 FMEA及FTA…………………………………………… 19
3.1 FMEA設計……………………………………………… 21
3.2 失誤樹分析…………………………………………… 22
第四章 問卷調查……………………………………………… 26
第五章 研究結果……………………………………………… 30
5.1 基本資料……………………………………………… 30
5.1.1 產業分類方面………………………………………… 30
5.1.2 在工作職務方面……………………………………… 31
5.1.3 在工作年資方面……………………………………… 31
5.2 FMEA分析……………………………………………… 32
5.2.1 失誤機率……………………………………………… 32
5.2.2 失誤嚴重性…………………………………………… 34
5.2.3 光電業與半導體業之差異…………………………… 34
5.2.4 TFT-LCD FMEA分析結果……………………………… 37
5.2.5 半導體業失效發生機率及嚴重度…………………… 45
5.3 FTA分析………………………………………………… 47
5.3.1 氣體供應系統失誤樹分析…………………………… 47
5.3.2 機台系統失誤樹分析………………………………… 48
5.3.3 除害設備系統失誤樹分析…………………………… 48
5.3.4 矽甲烷供應系統失誤樹分析………………………… 49
5.3.5 半導體業矽甲烷供應系統失誤樹分析……………… 53
5.4 預防措施分析………………………………………… 55
5.5 改善建議……………………………………………… 60
第六章 結論與建議…………………………………………… 65
參考文獻 ………………………………………………………… 67
附錄一 SiH4之MSDS…………………………………………… 69
附錄二 SiH4氣體安全管理調查表…………………………… 78
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