臺灣博碩士論文加值系統

本論文之研究目的在於探討半導體業之水資源回收再利用及處理分析之重要性，由於台灣需要的是建立一個整合國內奈米相關設備環境及提供對先進奈米製造和系統整合技術的機制，以增進國家研究資源的有效運用，因此國家奈米元件實驗室（NDL）提供國內學界所需之奈米尺度半導體製程與奈米元件技術實驗室研究環境，亦提供學界包含奈米電子、奈米光子、奈米生物元件，奈米功能性材料，以及與晶片系統整合技術的研究使用，技術諮詢和各類合作，提升我國科學技術的研發能量，增強台灣在此重要奈米科技領域的國際競爭力。

The objective of this paper is to study the importance of water-recovery/waste and water resources analysis and management for semiconductor industry. We need an organization which could provide integrated nano-related facility environment, advanced manufacturing and system integration to enhance the usage of national resource. NDL（National Nano Device Laboratories）provides below services to academic communities such as Laboratory environment with nanometer scale of semiconductor process and device - including nano-electronic, nano-photonic, nano-biological device and material, research in the system-on-chip, technical consultants and other cooperation. Thus, NDL could raise our research and design capabilities of our own country and be more competitive in nano-technology globally.

中文提要……………………………………………………… i
英文提要……………………………………………………… ii
誌謝 ……………………………………………………… iv
目錄 ……………………………………………………… v
表目錄 ……………………………………………………… vi
圖目錄 ……………………………………………………… viii
一、緒論……………………………………………………… 1
1.1研究目的…………………………………………………… 1
1.2研究方法…………………………………………………… 2
二、文獻回顧………………………………………………… 3
2.1.水資源回收再利用之現況……………………………… 3
2.2.水資源回收之技術與成本……………………………… 10
三、研究水資源回收再利用理論依據及策略……………… 26
3.1逆滲透原理………………………………………………… 26
3.2離子交換樹脂……………………………………………… 29
3.3化學混凝…………………………………………………… 34
3.4活性碳……………………………………………………… 35
3.5TOC儀器原理……………………………………………… 36
3.6製造流程改善措施………………………………………… 39
3.7水資源回收利用種類……………………………………… 41
3.8放流水之水質……………………………………………… 42
3.9自來水危機與開源節流…………………………………… 45
3.10廢水回收再利用之相關法令…………………………… 48
3.11廢水回收再利用之相關優惠獎勵措施………………… 53
四、節水方案規劃與探討…………………………………… 56
4.1真空脫氣塔冷卻水………………………………………… 56
4.2逆滲透膜濃縮水…………………………………………… 56
4.3空調冷凝水………………………………………………… 56
4.4化學機械研磨廢水………………………………………… 57
4.5限外濾膜濃縮水…………………………………………… 58
4.6離子交換樹脂再生廢水…………………………………… 58
4.7半導體製程機台廢水排放………………………………… 59
4.8延長機台再生反洗時間…………………………………… 60
五、結果與討論……………………………………………… 61
5.1台灣地區自來水資源比較統計…………………………… 61
5.2水平衡圖、製程回收率、全廠回收率及全廠排放率…… 61
5.3實驗室各項節省措施與水量彙整統計……………………… 65
六、結論、建議與展望…………………………………………… 66
6.1結論…………………………………………………………… 66
6.2建議…………………………………………………………… 66
6.3未來展望……………………………………………………… 67
參考文獻 …………………………………………………… 68

1.PETER VAN ZENT著，姜庭隆譯，李佩雯校閱，「半導體製程學」第四版，滄海書局，台北市，民國90年。
2.賴耿陽譯著，純水、超純水製造法 復漢出版社，台北市，民國79年 。
3.http://www.water.gov.tw/sample1/news/avg_quality_show/4hsinchu.htm台灣省自來水公司網站
4.經濟部技術處，「廢水薄膜處理技術應用與推廣手冊」，經濟部 台北，2000。
5.http://wwww.sipa.gov.tw/WEB/Jsp/Page/frame2.jsp?thisRootID=147 科學工業園區網站
6.江秉芳，在回風室安裝薄板對潔淨室內流場均勻度之影響，大同大學，碩士論文，民國91年。
7.http://pavo.sipa.gov.tw/wastewater/index.htm 科學工業園區污水處理廠網站
8.國家奈米元件實驗室，半導體設備見習班講義（新竹＆南科班），民國94年。
9.陳彥旻，半導體業化學機械研磨廢水回收處理再利用技術研究，國立成功大學，碩士論文，民國92年。
10.曾迪華，「工業污染防治技術手冊-工業廢水離子交換處理」，經濟部工業局，財團法人中國技術服務社工業污染防治技術服務團，台北，民國92年。
11.黃煌洲，以離子交換樹脂法回收導線架氰系水洗廢水之研究，朝陽科技大學，碩士論文，民國93年。
12.黃仁楷，硼酸氫納對水溶液中重金屬離子的去除效能，元智大學，碩士論文，民國94年。
13.楊岳軍，「離子交換樹脂在重金屬廢水處理之應用」，重金屬廢水處理技術研討會，工研院化工所，新竹（1989）。
14.「工業廢水二級處理放流水再生利用技術研究-造紙綜合廢水二級處理放流水再生利用技術研究」，經濟部水資源局，MOER/WRS-8900073，2000。
15.Ried C.E.and Breton E.J.，”Water And Ion Folw Across Cellulose Membrane”，J.of Applied Ployer Science ，Vol.1 ，pp 133-143，1959。
16.Riely R.L.，Lonsadle H.K.，Lyons C.R. and Merton U.，”Prepatation of Ultrathin Reverse Osmosis Membrane and the Attainment of Theoretical Salt Rejection”， J.of Applied Ployer Science ，Vol.11 ，pp 2143-2158，1967。
17.Gerry F. and Peter M.，”Ultra-low Pressure RO Membranes : an Analysis of Performance and Cost”，Desalination， Vol.113 ，pp147-152，1997。
18.Mike J. and Matthew B.T.，”Operational Experience with a New Fouling Resistant Reverse Osmosis Membrane ”， Desalination， Vol.119 ，pp243-250，1998。
19.Jack and Solvak R.，”Developments in Membrane Technology”，Water Technology ，pp 15-25，1987。
20.Tambo N. and Kamei T.，”Coagulation and Flocculation on Water Quality Matrix”，Water Science and Technology，Vol.37，No.10，pp31-41，1998。
21.Rout D.，Verma R. and S.K.Agarwal ，”Polyelectrolyte Treatment –An Approach for Water Quality Improvement”，Water Science and Technology，Vol.40，No.2，pp137-142，1999。
22.Hoyer O. and H. Shell，”Monitoring Raw Water Quality and Adujustment of Trenament Processes-Experiences at the Wahnbach Reservoir”，Water Science and Technology，Vol.37，No.2，pp43-48，1998。
23.張之樺，粒狀活性碳結合薄膜系統應用於自來水處理之研究，國立台北科技大學，碩士論文，民國89年。
24.蘇維彬，活性碳吸附對汽車表面塗裝噴塗房含漆霧排氣之處理效能評估，元智大學，碩士論文，民國92年。
25.經濟部工業局，「年度工業用水效率提升輔導與推廣計畫期末報告」，經濟部 台北，2003。
26.Metcalf and Eddy ，”Wastewater Engineering Treatment Reuse ”，Chaper13，New York：McGraw-Hill Companies INC.，pp1345-1445，2003。
27.http://www.water.gov.tw/sample1/service/count.asp#1 台灣省自來水公司網站
28.http://w3.epa.gov.tw/epalaw/search/LordiDispFull.aspx?ltype=06&lname=0200
29.黃俞昌，「科學園區節約用水之努力與做法」，節水季刊37期，15-21頁，94年3月。
30.行政院農業委員會，「公告灌溉用水水質標準」，發文字號：農林字第0920031524號，發文日期：92年11月7日。
31.李信玄，「從國際水資源開發與利用趨勢談國內節水推動策略」「94年度節約用水績優單位」，節水季刊40期，4-47頁，94年12月。
32.節水服務團，「94年度節約用水績優單位- 工業組」，節水季刊36期，24-27頁，93年12月。
33.經濟部技術處，「染整工程與廢水處理效能提升技術手冊」，經濟部 台北，2000。
34.徐毓蘭，工業廢水回收再利用策略探討，國立台北大學，碩士論文，民國93年。
35.李文聖，都市污水廠放流水再生利用之潛勢分析，國立台北科技大學，碩士論文，民國93年。
36.廖紋蘭，石化工業廢水二級處理出流水再生利用技術之可行性研究，國立成功大學，碩士論文，民國91年。
37.工業技術研究院，台灣地區廢污水再生利用潛勢整體評估，經濟部水利署 台中，2003。
38.http://www.anatel.com.tw 海州企業股份有限公司協助
39.http://www.epa.goc.tw/main/index.asp 行政院環境保護署網站
40.http://www.twd.gov.tw/ 台北自來水事業處網站
41. 國家奈米元件實驗室，半導體人才師資培訓班（南科班），民國94年。