臺灣博碩士論文加值系統

化學工廠、石油煉製廠、醫藥品製造廠、橡膠及合成樹脂製造廠、可燃性氣體製造廠、液化氣體填充廠所及園區之半導體及光電相關電子產業…等，均需使用或製造大量易燃性物質，屬爆炸性混合氣體可能生成之主要場所，該類場所使用之電氣設備如不具防爆構造性能，極易造成火災爆炸事故而蒙受重大損失。
TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)產業建廠成本是相當高昂的，亦是我國繼半導體產業以來，跨入21世紀後最主要的高科技工業。隨著生產設備步入大型化、自動化後，建廠成本更已逐漸超越半導體廠。
行政院勞工安全衛生委員會於「勞工安全衛生設施規則」[1]第一百七十七條規定：雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣、可燃性氣體或爆燃性粉塵以外之可燃性粉塵滯留，而有爆炸、火災之虞者，所使用的電氣機械裝置、設備，應具有適合其設置場所危險區域劃分使用之防爆性能構造。但觀察國內高科技廠之防爆電氣設置規劃大多注重於廠務區之設備，對於FAB內之製程機台較無整體性之評估。本文章之內容即針對無塵室機台防爆電氣如何設置評估進行探討，並納入防爆電氣正確的選用原則，在確認機台需要裝設防爆電氣的同時，能夠正確並快速的選用安全且合適的防爆電氣設備，盼能對於日後產業界有所幫助，並提供專班學員一份參考的文件。

關鍵詞：危險區域、電氣、防爆

Chemical Factory, Petroleum Refinery Industry, Medical Drugs Factory, Rubber and Synthetic Resin Factory, Ignitable Gas manufacturing plant, Liquefying Gas Packing Factory and the Campus Semiconductor and Photo electricity relating electronic industry…and so on, must use or produce
massive flammable materials, which enable the creation of Explosive Mixture Gas. As a result, if installation of explosion-proof equipments was not adopted in this sort of manufacturing plants, the fire and explosion accidents would be happened easily and suffer damage and loss significantly such as facilities, equipments, people and cost.
TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) manufacturing industry has invested heavily in building new factory, also in Taiwan becomes the primary technical industry following by the semiconductor industry in twenty-first century. With the large-scale and automation of production equipments, the setting cost had exceeded semiconductor factor gradually.
According to the “Enforcement RULES of LABOR SAFETY AND HEALTH FACILITY LAW ARTICLE 177”, it is responsibility of the employer to provide explosion –proof constructions for electronic setting and facility, which must be appropriate to the partition of damage areas, with the vapor of inflammable liquid、 combustible gas or combustible dust except for the detention of deflagration dust, but have potential explosion and fire consideration. However, with the observation of the explosion-proof equipment setting in domestic high technical plants, most of them are more emphasize on the safety of facility area, but less on entire assessment of the manufacture machinery. The purpose of this article is to address how to assess the explosion-proof equipments setting and integrates the principles regarding the chose of explosion-proof equipments. Meanwhile, it shows accuracy and the fastest way to select safe and appropriate explosion-proof electrical facility while establishing machinery, to provide information, which might useful in the TFT-LCD manufacturing field, and provide the documents for learners in the future.

Key words：Hazardous area、electrical apparatus、explosion protection

中文摘要…………………………………………i
英文摘要…………………………………………ii
誌謝…………………………………………iv
目錄…………………………………………v
表目錄…………………………………………viii
圖目錄…………………………………………ix
一、緒論…………………………………………1
1.1 研究背景………………………………………… 1
1.2 研究動機………………………………………… 1
1.3 研究目的………………………………………… 1
二、文獻探討………………………………………… 3
2.1 TFT-LCD製程介紹………………………………………… 3
2.1.1 Array製程………………………………………… 3
2.1.2 第二階段-Cell製程……………………………………… 6
2.1.3 第三階段-Module製程…………………………………… 7
2.2 國內外防爆電氣相關法規求…………………………………8
2.2.1 勞工安全衛生法………………………………………… 8
2.2.2 勞工安全衛生設施規則…………………………………… 8
2.2.3 高壓氣體勞工安全規則…………………………………… 9
2.2.4 我國屋內線路裝置規則 ……………………………………9
2.2.5 國際防爆電氣標準………………………………………… 10
2.3 火災爆炸原理介紹………………………………………… 11
2.3.1 燃燒三要素………………………………………… 11
2.3.2 火災爆炸的發生………………………………………… 12
2.4 防爆電氣種類及原理介紹…………………………………… 14
2.4.1耐壓防爆(Ex d)………………………………………… 15
2.4.2 內壓防爆(Ex p)………………………………………… 15
2.4.3 充填防爆(Ex q)………………………………………… 16
2.4.4 油入防爆(Ex o)………………………………………… 16
2.4.5 安全增防爆(Ex e)………………………………………… 17
2.4.6本質安全防爆(Ex i)……………………………………… 17
2.4.7 模注耐壓防爆(Ex m)……………………………………… 18
三、研究內容與方法………………………………………… 19
3.1危險區域劃分標準現況分析………………………………… 19
3.2 機台防爆電氣設置評估因素探討…………………………… 20
3.2.1 機台化學品使用分類……………………………………… 20
3.2.1.1 氣態化學品………………………………………… 21
3.2.1.2 液態化學品………………………………………… 21
3.2.2 查找和確定釋放源………………………………………… 22
3.2.3 洩漏等級的判斷………………………………………… 23
3.2.4 確定危險場所等級………………………………………… 24
3.2.5 電氣設備設置位置考量…………………………………… 24
3.2.6 通風等級的設定………………………………………… 24
3.2.7 通風可用度的判斷………………………………………… 27
3.2.8其它考量因素………………………………………… 28
3.2.8.1危險場所的區域範圍…………………………………… 28
3.2.8.2氣體或液體洩漏時其相對密度………………………… 29
3.2.9機台防爆電氣設置評估流程……………………………… 29
3.3防爆電氣選用原則………………………………………… 32
3.3.1危險區域等級與防爆電氣設備之對應…………………… 32
3.3.2耐壓防爆選用原則………………………………………… 32
3.3.3安全增防爆選用原則…… ……………………………… 35
四、機台防爆電氣設置評估規範實施方式與成果說明………… 36
4.1案例公司實施方式………………………………………… 38
4.2成果說明………………………………………… 44
五、結論與建議………………………………………… 54
參考文獻………………………………………… 55
附錄一 可燃性資料表………………………………………… 56
附錄一 可燃性資料表(續)……………………………………… 57
附錄一 可燃性資料表(續)……………………………………… 58
附錄一 可燃性資料表(續)……………………………………… 59
附錄一 可燃性資料表(續)……………………………………… 60
附錄一 可燃性資料表(續)……………………………………… 61
附錄二 最小引燃電流………………………………………… 62

[1]行政院勞工安全委員會，勞工安全衛生設施規則，民國九十六年二月。
[2]Semiconductor Equipment and Materials International“SEMI S2-93＂，環安中心。
[3]TFT LCD產業-危害認知與安全防護宣導用DVD影帶＂，TTLA(台灣薄膜電晶體液晶顯示氣協會)，民國九十四年。
[4]賴加勳，防爆電氣設備維護保養及檢查技術研究-耐壓型，IOSH88-S141，勞工安全衛生研究所研究報告，台北縣，民國八十八年。
[5]行政院勞工安全委員會，勞工安全衛生法，民國九十一年六月。
[7]行政院勞工安全委員會，高壓氣體勞工安全規則，民國八十七年六月。
[8]經濟部工業局，屋內線路裝置規則，民國八十八年四月。
[9]International Electro-technical Commission，Geneva，IEC 60079，1990。[9]經濟部檢準檢驗局，中華民國國家標準CNS 3376，民國九十一年。
[10]蘇文源，賴加勳，易燃性氣體及蒸氣之危險區域防爆等級判定，一版，台北，行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所，民國八十七年七月。
[11]NFPA 30，Flammable and Combustible Liquids Code，2003。
[12]奇美電子，「設備採購安全作業指導書」，三版，環安處，台南，民國九十五年。