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研究生:楊珮甄
研究生(外文):PEI-CHEN YANG
論文名稱:使用磁控濺鍍法成長Zn3N2之材料特性分析
論文名稱(外文):Characterization of Zn3N2 Prepared with reactive Sputtering
指導教授:甘炯耀
指導教授(外文):JON-YIEW GAN
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:96
語文別:中文
論文頁數:66
中文關鍵詞:磁控濺度能隙氮化鋅載子濃度
外文關鍵詞:sputteringbandgapZn3N2mobilitycarrier concentration
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在本研究中,我們使用四點探針量測與霍爾量測去了解Zn3N2 的電性,由量測中我們知道Zn3N2是n-type,並在某個條件下可得到最大的電阻率2.49Ωcm 與較低的載子濃度 3.903*1017 cm-3。並在工作瓦數為15 Watts,工作壓力為15 mtorr,Ar/N2=2/18,鍍膜時間為2 小時,能夠再現它的性質與可以在室溫下製程。結晶性質中我們知道它是多晶性質價態。光學性質方面,由它的吸收係數,知道它可能是直接能隙的型態,能隙位置大至由穿透光譜知道它的能隙是在900 nm-1100nm 附近,換算後判定其能隙在1.1 eV。
摘要 I
一、緒論 1
二、文獻回顧 3
2-1 Zn3N2的結構 3
2-2 Zn3N2的製作方法 3
2-3 Zn3N2的光學性質 4
三、實驗步驟與分析方法 13
3-1 試片準備 13
3-2 鍍膜設備 13
3-3 實驗流程 14
3-4 分析設備與方法 14
四、實驗結果與討論 25
4-1 Zn3N2薄膜結構特性 25
4-1-1 晶體結構 25
4-1-2 表面形態 26
4-2 電性量測 28
4-3 光學性質量測 32
4-3-1 n k analysis 32
五、結論及未來發展 65
六、參考文獻 66
【1】R. Juza, H. Hahn, Z. Anorg. Allg. Chem., 224, 125(1940)
【2】K. Kuriyama, Y. Takahashi, F. Sunohara, Phys. Rev. B 48, 2781–2782(1993)
【3】M. Futsuhara, K. Yoshioka, O. Takai, Thin Solid Films 317, 322–325(1998)
【4】M. Futsuhara, K. Yoshioka, O. Takai, Thin Solid Films 322, 274–281(1998)
【5】M. Penza, M.F. De Riocardis, L. Mirenghi, M.A. Tagliente, E.Verona, Thin Solid Films 259, 154(1995)
【6】K. Kubota, Y. Kobayashi, K. Fujimoto, J. Appl. Phys. 66, 2984 (1989)
【7】S. Strite, M.E. Lin, H. Morkoc, Thin Solid Films 231, 197(1993)
【8】O. Takai, J. Surf. Finish. Soc. Jpn. 40, 88(1989)
【9】O. Takai, Proc. 9th Int. Symp. Plasma Chemistry, p. 1371(1989)
【10】F. Zong, H. Ma, W. Du, Applied Surface Science 252, 7983–7986(2006)
【11】W. Du,F. Zong, H. Ma, Cryst. Res. Technol. 41, No. 9, 889 – 892 (2006)
【12】K. Kuriyama and T. Katoh, phys. Rev. B37, 7140 (1988)
【13】J.I. Pankov, Optical Processes in Semiconductors, Dover, New York, 1975, (Chapter 4).
【14】M. Li, Physics of Semiconductors, Science Press, Beijing, 2000, (Chapter 3).
【15】MARTIN A. GREEN, Solar cell, chap5
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