本研究希望在市面上常見的潔淨操作檯做迅速、有效的診斷及改進措施。為了實際了解氣流速率大小及分佈情況對塵粒數的影響，需作風速、塵粒數及壓力量測。將潔淨操作檯有效的工作空間分成三層，每層細分15個點位，共計45個量測點。在一般條件下運轉潔淨檯，量測45點位之風速值；之後僅抽換不同形狀之孔洞底板，原底板之孔洞為長條型，實驗加入之形狀為六角形及圓形，並一一重新量測前述各值。考慮到潔淨操作檯後方的流線並不圓滑，遂於其直角轉折處崁加金屬圓滑鈑，加強後方氣流流線之圓滑度，再一一重新量測前述各值重新量測。試驗結果顯示將底板孔洞形狀替換成圓形，潔淨操作檯最常使用的A層穩定度提升了4％，落塵量降低了89%。

A popular clean bench used in Taiwan will be investigated and improved in a simple and economic way. The working space of the clean bench will be cut in three layers horizontally. There are nine points in a layer uniformly, in other words, there are 45 points in a working space to be measured for airflow speed. Then, to modulate the different airflow streams, different hole shapes and distributions on the bottom plate will be run in a series experiments. The route of the air flow back in the clean bench is existed a right angle, therefore, two smoothing metal plates will also be considered. Test result shows that circular hole is the best one of these experienced hole shapes, and it will increase the stability 4%, decrease the particle 89% in the layer A.

摘 要 ii
ABSTRACT iii
致 謝 iv
目 錄 v
表目錄 ix
圖目錄 xi
第一章 緒 論 1
1.1 研究動機 1
1.2 研究目的 2
1.3 研究方法 2
1.4 文獻回顧 3
1.5 章節內容 4
第二章 潔淨室的原理 5
2.1 潔淨室的起源 5
2.2 潔淨室的需求 6
2.3 潔淨室與氣流關係 7
2.4 無塵分類的規範 7
2.5 潔淨室標準的基礎 8
2.6 國際標準ISO 14644-1規定 9
第三章 實驗設置與研究方法 12
3.1垂直單向流潔淨操作台 12
3.1.1使用過程 13
3.2量測儀器 13
3.3多功能量測儀 14
3.3.1多功能量測儀按鍵 15
3.3.2多功能量測儀功能 16
3.3.3使用說明 17
3.4風速感應器 20
3.4.1風速感應器功能 20
3.4.2使用方法 21
3.4.3風速感應器圖片參考 21
3.5 落塵計 21
3.5.1 落塵計功能 22
3.5.2 落塵計過濾原理 23
3.5.3 落塵計特點 23
3.5.4 落塵計優點 24
3.5.5 落塵計按鍵 25
3.5.6 使用方法 26
3.6 實驗方法 26
3.6.1 儀器設備 26
3.6.2 量測內容 27
3.6.3 量測步驟 27
3.6.4 執行成果 29
3.6.5 孔洞率 30
3.6.6 改善孔洞率 30
第四章 實驗結果與分析討論 32
4.1內部氣流轉彎處未加圓滑金屬片的實驗數據 32
4.1.1長條狀金屬底板 32
4.1.2六角狀金屬底板 34
4.1.3圓孔狀金屬底板 36
4.2內部氣流轉彎處加圓滑金屬片的實驗數據 39
4.2.1長條狀金屬底板 39
4.2.2六角狀金屬底板 40
4.2.3圓孔狀金屬底板 42
4.3改進前綜合討論 45
4.4新圓型孔洞底板對風速及落塵之影響 50
4.5潔淨操作檯各層各點位各種試驗條件之紊流強度 54
4.5.1A層各點位各種試驗條件之紊流強度 54
4.5.2B層各點位各種試驗條件之紊流強度 55
4.5.3C層各點位各種試驗條件之紊流強度 56
4.6各條件之特性分析與討論 57
4.6.1潔淨操作檯試驗段8條件下各層平均風速 57
4.6.2潔淨操作檯8種試驗條件下三層之平均紊流強度 57
4.6.3潔淨操作檯8種試驗條件下三層之均勻度 58
4.6.4八種試驗條件下各層之穩定度及均勻度之平均值 59
4.7潔淨操作檯各層各點位各種試驗條件之穩定度及均勻度 60
4.7.1穩定度和均勻度對A層面的影響 60
4.7.2穩定度和均勻度對B層面的影響 62
4.7.3穩定度和均勻度對C層面的影響 64
4.7.4 綜合討論 65
第五章結論與建議 70
5.1 結 論 70
5.2 建 議 72
參考文獻 74

1. Ljungqvist.B, Some observations on the interaction between air movements and the dispersion of pollution, Document 8, Swedish Council for Building Research, Stockholm, Sweden (1979).
2. Procedural standards for certified testing of cleanroom. National Environmental Balancing Bureau, Vienna, Virginia, 1988.
3. Milberg.J, J. Fischbacher and A. Engel, Fluid intergration of equipment in clean rooms, Solid State Technology 34(8), 43-49 (1991).
4. Sadjadi, Reza SM, Liu Benjamin YH, Supply plenum and airflow uniformity in cleanrooms, Journal of Institute of Environmental Sciences 1991, March/April, 56-60.
5. Fujita T. Sueda A, Hasegawa K, Kimura M, Uta H, Mizunuma Y, Oosawa M, Hayakawa I, Study on airflow distribution in a line type cleanroom system, In Proceeding of the Future Practice of Contamination Control, London, pp. 37-42 1992.
6. Suwa Y, Yanagisawa H, Nishimura T, A numerical study on airflow turbulence behind pleated air filters, In Proceeding of the Future Practice of Contamination Control, London, 1992, pp. 23-27.
7. Kuehn T. H. and V. A. Marple, Comparison of measured and predicted airflow patterns in a clean room, in Proceedings of Institute of Environment Sciences, 34 th Annual Technical Meeting, PP. 331-336, King of Prussia, PA, 3-5 May (1988).
8. Cheng M., R.R. Liu, etc. Approaches for improving airflow uniformity in unidirectional flow cleanrooms, Building and Environment 34 (1999) 275-284。
9. 黃富加，FFU式單向流潔淨室流場量測與流場影響因子之分析，國立交通大學碩士論文，民國92年。