臺灣博碩士論文加值系統

本論文將利用化學氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition，CVD)合成氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)奈米線，利用場發射掃描式電子顯微鏡(Field-Emission - Scanning Electron Microscopy，FE-SEM)觀察氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)奈米線表面形態、結構、長度及其分佈情形，並利用X光繞射儀(X-Ray Diffraction，XRD)鑑定氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)奈米線的結晶性及晶體方向，且也利用X光能量散譜儀(Energy Dispersive Spectrometer，EDS)分析氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)奈米線所含元素成份定性及半定量分析。

In this study, one-dimensional IZO nanostructure has been synthesized by chemical vapor deposition. And use field emission scanning electron microscopy (FE-SEM) to observe the nanowire surface morphology, structure, length and distribution. The crystal structures of the nanowire were identified by X-ray diffraction (XRD). Use the energy dispersive spectrometer (EDS) to analysis IZO nanowire chemical composition.

誌謝 I
中文摘要 II
Abstract III
目錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VII
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2奈米的應用 2
1-2-1 太陽能電池(Solar Cell)[3] 2
1-2-2 光感測器[7] 3
1-3 研究動機 3
第二章 文獻回顧 5
2-1 奈米化特性改變[8] 5
2-1-1 表面積效應 5
2-1-2 量子尺寸效應 6
2-1-3 小尺寸效應 6
2-2 透明導電氧化物(Transparent Conducting Oxide，TCO) 7
2-3 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO) 8
2-3-1氧化銦(In2O3)結構 8
2-3-2 氧化鋅(ZnO)結構 9
2-3-3 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)結構 10
2-3-4 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)特性 11
2-3-5 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO) 導電機制 11
2-3-6 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide，IZO)光學特性 12
2-4 氣固液成長(Vapor-liquid-solid，VLS) 13
第三章 實驗方法 16
3-1 實驗流程 16
3-2 ITO基板清洗 16
3-3 特性分析 17
3-3-1 場發射型掃瞄式電子顯微鏡( Field Emission SEM，FE-SEM ) [35][36] 17
3-3-2 X光能量分散光譜(Energy Dispersive Spectroscopy，EDS)[35] 18
3-3-3 X光繞射分析(X-Ray Diffraction spectrometer，XRD )[35] 18
第四章 結果與討論 18
4-1 表面分析 18
4-2 成份分析 18
4-3 結構分析 18
第五章 結論 18
參考文獻 18

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