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研究生:王聖維
研究生(外文):Sheng-wei Wang
論文名稱:一維氧化銦鋅成長之製備與特性研究
論文名稱(外文):Fabrication and Characterization of One-Dimensional Indium Zinc Oxide
指導教授:施仁斌
指導教授(外文):Jen-Bin Shi
學位類別:碩士
校院名稱:逢甲大學
系所名稱:電子工程所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2009
畢業學年度:97
語文別:中文
論文頁數:34
中文關鍵詞:氧化銦鋅
外文關鍵詞:Indium - Zinc Oxide
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本論文將利用化學氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition,CVD)合成氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)奈米線,利用場發射掃描式電子顯微鏡(Field-Emission - Scanning Electron Microscopy,FE-SEM)觀察氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)奈米線表面形態、結構、長度及其分佈情形,並利用X光繞射儀(X-Ray Diffraction,XRD)鑑定氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)奈米線的結晶性及晶體方向,且也利用X光能量散譜儀(Energy Dispersive Spectrometer,EDS)分析氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)奈米線所含元素成份定性及半定量分析。
In this study, one-dimensional IZO nanostructure has been synthesized by chemical vapor deposition. And use field emission scanning electron microscopy (FE-SEM) to observe the nanowire surface morphology, structure, length and distribution. The crystal structures of the nanowire were identified by X-ray diffraction (XRD). Use the energy dispersive spectrometer (EDS) to analysis IZO nanowire chemical composition.
誌謝 I
中文摘要 II
Abstract III
目錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VII
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2奈米的應用 2
1-2-1 太陽能電池(Solar Cell)[3] 2
1-2-2 光感測器[7] 3
1-3 研究動機 3
第二章 文獻回顧 5
2-1 奈米化特性改變[8] 5
2-1-1 表面積效應 5
2-1-2 量子尺寸效應 6
2-1-3 小尺寸效應 6
2-2 透明導電氧化物(Transparent Conducting Oxide,TCO) 7
2-3 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO) 8
2-3-1氧化銦(In2O3)結構 8
2-3-2 氧化鋅(ZnO)結構 9
2-3-3 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)結構 10
2-3-4 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)特性 11
2-3-5 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO) 導電機制 11
2-3-6 氧化銦鋅(Indium-Zinc Oxide,IZO)光學特性 12
2-4 氣固液成長(Vapor-liquid-solid,VLS) 13
第三章 實驗方法 16
3-1 實驗流程 16
3-2 ITO基板清洗 16
3-3 特性分析 17
3-3-1 場發射型掃瞄式電子顯微鏡( Field Emission SEM,FE-SEM ) [35][36] 17
3-3-2 X光能量分散光譜(Energy Dispersive Spectroscopy,EDS)[35] 18
3-3-3 X光繞射分析(X-Ray Diffraction spectrometer,XRD )[35] 18
第四章 結果與討論 18
4-1 表面分析 18
4-2 成份分析 18
4-3 結構分析 18
第五章 結論 18
參考文獻 18
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