本研究運用”商品企劃七工具”之手法，以國內半導體蝕刻設備業之個案公司為研究對象，透過訪談調查、意見調查、定位分析、創意發想法、創意選擇法、聯合分析等過程，進行服務創新之企劃研究，其結果說明如下：整體受測者對於四種新服務屬性之偏好程度依序為「設備故障時的即時服務」、「設備的稼働確保」、「教育訓練協助」及「加值服務」等。其次，最佳屬性水準選擇為：「機台網路連線設備商」、「設備商來廠定期保養與更新」、「成為國外廠商的授權維修廠」及「製作機台操作教學影帶」等四項，其對於所有受測者帶來總成份效用值最高，本研究亦針對意見調查結果進行不同的構面討論，提出半導體蝕刻設備業服務創新企劃實務上之建議。

The study adopts the method of “Seven tools for New Product Planning” and focus on domestic Semiconductor Etching Equipment as the research object. Through interviewing method, questionnaire investigation, factor analysis method, idea stimulating, idea selecting method, and conjoint analysis to develop the research of service innovation planning.
The result explains as follows : One of the overall subject of four new services for the priority degree of the preference attribute, "Real-Time Services In Equipment Failure ", "Kadou Ensure that the machine ", " Education Training Services" and" Value Added Services". And the best attribute choice of service innovation are below four items : "Machine network Connect to Manufacturers", "Manufacturer Regularly Does Maintenance and Renewal", "Become A Foreign Manufacturers Authorized Repair Station" and "Make Machine Instruction Video", and this combination of attribute levels for all tested components are most effectively.
This study also discusses different aspects for the opinion surveys, and hope can provides the service innovation suggestion of Semiconductor Etching Equipment industry.

中文摘要i
英文摘要ii
誌謝iii
目錄iv
表目錄v
圖目錄vii
第一章 緒論1
1.1 研究背景與動機1
1.2 研究目的3
1.3 研究流程4
1.4 研究範圍與限制5
第二章 文獻探討6
2.1 半導體設備製造業之概述6
2.2 服務創新的意涵13
2.3 商品企劃七工具簡介17
第三章 研究方法27
3.1 研究架構27
3.2 第一階段研究設計30
3.3 第二階段研究設計32
第四章 分析結果36
4.1 訪談調查後資料整理與分析36
4.2 問卷設計39
4.3 問卷調查統計結果41
4.4 因素分析49
4.5 創意發想與選擇57
4.6 聯合分析60
4.7 研究成果與討論69
第五章 結論與建議74
5.1 結論74
5.2 研究建議76
參考文獻77
附錄一、第一階段問卷81
附錄二、創意選擇問84
附錄三、聯合分析問卷85
附錄四、聯合分析結果87

一、 中文部份：
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3.電子工程專輯http://www.eettaiwan.com/ART_8800551025_480102_NT_904352e4.HTM
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6.IC INSIGHTS，http://www.icinsights.com/
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