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研究生:林子豪
論文名稱:環境管理指標之研究 – 以新竹科學園區 晶圓製造產業為例
論文名稱(外文):The Research of the Environmental management Indicators for Hsin-chu Science-based Industrial park Wafer Manufacturer
指導教授:張 謝 淵
學位類別:碩士
校院名稱:明新科技大學
系所名稱:營建工程與管理研究所
學門:工程學門
學類:土木工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2009
畢業學年度:97
語文別:中文
論文頁數:79
中文關鍵詞:新竹科學園區環境管理評估指標環境管理系統生態工業園區
外文關鍵詞:Hsinchu Science-based Industrial ParkThe environment manages systemEcosystem industrial parkThe index sign of the ecosystem benefit
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摘 要
自1974 年國際標準組織公告ISO 14000 以後,環境管理評估指標的建立及實施,成為企業診斷其組織環境問題及評估其環境管理的有利工具,並藉此展現其對社會的責任及關懷。由於晶圓產業為台灣高科技產業中的龍頭產業,於2006年台灣半導體產業產值1兆3,933億元,當時估計2007年產值將達1兆5,011億元,較2006年成長11.5%成長率遠高於當時之經濟成長率,本研究擬建置對此產業環境效益有巨大幫助的環境管理評估指標,進行相關研究。
本研究透過ISO14000 系列中環境管理系統ISO14001建立一套晶圓製造產業可全面適用的環境管理評估指標,提供給業界、政府、及一般利害相關者,當作評鑑環保管理好壞之依據。也藉由ISO14001 的環境管理指標系統,及生態工業園區物質、能量循環再利用的概念,建構工業區環境管理成效之評估架構,並透過生態效益指標試算互相印證;為園區環境建立實用之指標架構,並透過指標的量化檢測園區環境管理之成效。
根據晶圓製造業環境管理指標調查問卷結果顯示,工廠員工對六大類環境管理指標重要性認定已有共識,皆為以水資源類指標較高,能源資源類指標次之,而最低的是資源類方面指標。整體而言,14 家公司中位於前25﹪之環境管理分數表現較佳者有4 家,最高分為97.7分(百分等級為100);而位於後25﹪之環境管理分數表現較佳差者有4 家,最低分為42.9 分(百分等級為0);在高低標之間的公司有7 家,其分數集中於69-94 分,低於低標有3家,其分數集中於42-67 分顯示這3家公司仍需在環境管理方面多做努力。
關鍵字:新竹科學園區、環境管理評估指標、環境管理系統、生態工業園區、

ABSTRACT
Announced ISO from 1974 international standard organization 14000 later establishment and implement , of the index sign of the environment management valuation become its environment of its organization environment problem of the enterprise diagnosis and valuation management of beneficial tool , also make a show of it to the social responsibility and the concern . with thisBecause the wafer industry estimates at the 2006 Taiwan semi-conductor industry production value 1,393,300,000,000 dollars for the of the group leader industry in high-tech industry in Taiwan the production value will reach to 1,501,100,000,000 dollars in 2007 to grow up 11.5% ,s a little bit in 2006 so this research draws up the establishment does good to this benefit of the industry environment of the,of the valuation index sign of the environment management also carry on related research .
This text through the environment in the serieses of the ISO14000 manage the system ISO14001's drawing up to build up the valuation index sign of the environment management , that a set of wafer manufacturing industry can apply completely to provide the government and general gains and losses is related to the industry, regard as the management good and bad of the review environmental protection of according to the .The concept , that also circularly makes use of again by the , of the index sign system and material 、 energy in the ecosystem industrial park of the environment management of the ISO14001 constructs the valuation of industrial area environment management result structure ,Also try through the index sign of the ecosystem benefit to calculate to corroborate ; each otherTurn result . that examine environment in the garden's management for the quantity that environment in the garden builds up practical , of the index sign structure also through the index sign.
Manage the questionnaire of the index sign inquisition to suggest as a result according to the environment of the wafer manufacturing industry,The factory employee manages index sign importance to affirm to have already had a consensus to six big environments,All is with water resource index sign higher, the time of the energy resource index sign, and lowest is the index sign of the resource aspect.By all accounts,Be located on an exscore performance of the environment management of 25% in 14 companies the good more has 4,Most the high mark is 97.7 cents;And Be located on behind the score performance of the environment management better bad of 25% has 4,Lowest be divided into 42.9 cents;The company between the height mark has 7,Its score is concentrated to 69-94 cent,BE lower than a low mark to contain 3, its score concentration shows in 42-67 cents that this 3 companies still need in the environment to manage aspect to much make great effort.
Key word:Hsinchu Science-based Industrial Park、The environment manages system、Ecosystem industrial park、The index sign of the ecosystem benefit

目 錄

第一章 緒論 1
1.1研究動機 1
1.2研究目的 3
1.3研究流程 5
第二章 文獻回顧及探討 6
2.1晶圓製造產業現況介紹 6
2.2環境管理系統 20
2.3生態工業園區 24
2.4生態效益 28
第三章 研究方法 30
3.1研究架構 31
3.2環境管理指標建立部分與資料統計分析 32
3.3晶圓製造廠問俊調查及訪談部份 34
第四章 結果與分析 37
4.1晶圓製造業問卷調查結果 37
4.1.1 填答者基本資料 37
4.1.2 工廠基本資料 38
4.2工廠環境管理指標評估結果分析 40
4.3生態效益比值分析 67
4.4晶圓製造業問卷調查結果分析 71
第五章 結論與建議 78
5.1結論 78
5.2建議 79
參考文獻
附錄


















圖 目 錄

圖1.1 研究目的架構圖 4
圖1.2 研究流程 5
圖2.1 IC產業產值趨勢圖 9
圖2.2 晶圓製造流程圖 12
圖2.3 環境管理系列標準之技術性架構 22
圖2.4 ISO14001實施流程 23
圖3.1 研究架構圖 32
圖4.1 2006年再利用水量佔全部自來水用量的百分比統計分析圖 43
圖4.2 2004~2008年再自來水再利用率統計分析圖 44
圖4.3 2004~2008年用水量統計分析圖 44
圖4.4 2004~2008年用電量統計分析圖 46
圖4.5 2004~2008年單位面積晶用電量統計分析圖 46
圖4.6 2004~2008年單位面積光阻劑用量統計分析圖 48
圖4.7 2004~2008年單位面積光阻劑用量統計分析圖 49
圖4.8 2004~2008年平均每年異丙醇之回收率統計分析圖 43
圖4.9 2004~2008年平均每年廢水回收再利用率統計分析圖 50
圖4.10 2004~2008年平均單位面積排放廢水量統計分析圖 52
圖4.11 2004~2008年平均氟化物排放量統計分析圖 52
圖4.12 2004~2008年揮發性有機氣體去除率統計分析圖 56
圖4.13 2004~2008年濕式洗滌塔處理效率統計分析圖 56
圖4.14 2004~2008年平均每單位面積氯化氫排放量統計分析圖 57
圖4.15 2004~2008年平均每單位面積輕氟酸排放量統計分析圖 57
圖4.16 2004~2008年平均每單位面積氨氣排放量統計分析圖 58
圖4.17 2004~2008年平均每單位面積氯氣排放量統計分析圖 56
圖4.18 2004~2008年平均每單位面積有機廢氣排放量統計分析圖 57
圖4.19 2004~2008年廠內廢棄化學品空瓶進行再利用比例統計分 60
圖4.20 2004~2008年廠內固體廢棄物中實際回收率統計分析圖 62
圖4.21 2004~2008年平均單位晶圓面積產生氟化鈣污泥統計分析圖 63
圖4.22 2004~2008年平均單位晶圓面積產生固體廢棄物統計分析 63
圖4.23 2004~2008年平均單位晶圓面積產生的廢溶劑統計分析圖 64
圖4.24 產業環境管理分析圖 66
圖4.25 高分群組公司生態效益比值趨勢圖 68
圖4.26 中分群組公司生態效益比值趨勢圖 69
圖4.27 低分群組公司生態效益比值趨勢圖 70
圖4.28 2004~2008年14間工廠平均單位產值/產品用水量趨勢圖 77
圖4.29 2004~2008年14間工廠平均製程用水回收率趨勢圖 77
圖4.30 2004~2008年14間工廠平均單位產值/產品之耗電量趨勢圖 78
圖4.31 2004~2008年14間工廠總用電量趨勢圖 78














表 目 錄

表2.1 我國IC產業國內生產總值 8
表2.2 晶圓製造業之相關空氣、水污染法規 18
表2.3 生態工業園區定義表 27
表3.1 評估指標說明 30
表4.1 填答者基本資料統計結果 38
表4.2 本研究回收樣本工廠基本資料 39
表4.3 環境管理指標綜合得分表 41
表4.4 各工廠水資源指標得分 42
表4.5 2006水資源環境管理指標數據分析 43
表4.6 各工廠能源資源指標得分 45
表4.7 2006年能源環境管理指標數據分析 45
表4.8 各工廠資源指標得分 47
表4.9. 2006資源環境管理指標數據分析 48
表4.10 各工廠水污染指標得分 50
表4.11 2006年水污染環境管理指標數據分析 51
表4.12 環境管理指標綜合得分表 53
表4.13 2006空氣污染環境管理指標數據分析 54
表4.14 各工廠廢棄物及其他污染物的產生與防治指標得分 60
表4.15 廢棄物及其他污染物的產生與防治指標數據分析 61
表4.16 六大類環境管理指標平均得分表 65
表4.17 各公司環境管理指標總得分數據分析 65
表4.18. 環境管理指標原始總分與百分等級對照表 66

參考文獻

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