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研究生:張引獻
研究生(外文):Yin-Hsien Chang
論文名稱:微型投影面板配向膜塗覆製程薄化後缺陷之改善研究
論文名稱(外文):A Study on Polyimide Process Improvement of Cell Form Defect for Liquid Crystal on Silicon Panel
指導教授:姚文隆姚文隆引用關係
指導教授(外文):Wen-long Yao
學位類別:碩士
校院名稱:國立高雄第一科技大學
系所名稱:機械與自動化工程所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2009
畢業學年度:97
語文別:中文
論文頁數:65
中文關鍵詞:配向膜微型投影六標準差矽控液晶光閥實驗設計
外文關鍵詞:PolyimideDesign of ExperimentMini-ProjectSix SigmaLiquid Crystal on Silicon
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本研究以矽控液晶光閥顯示器產業為背景,以六標準差手法進行改善之個案研究。從2009年CES消費性電子大展及國內外知名的研究機構DIGITIMES、TSR針對微型投影技術應用產品之調查結果顯示,微型投影技術發展潛力十足,由此可知微型投影技術持續的開發與改良是勢在必行。為使矽控液晶光閥於微型投影技術佔有一席之地,本研究主要目的為配向膜塗覆製程薄化後缺陷之改善研究,以六標準差手法提升矽控液晶光閥之投影影像品質。
本研究依據六標準差管理手法之 DMAIC 改善程序,針對矽控液晶光閥配向膜塗覆製程之缺陷,以實驗設計法分析在不同製程條件下對細胞狀缺陷之影響,結果顯示透過本研究之階段程序,能有效改善配向膜塗覆製程所產生之細胞狀缺陷,良率由改善前的2.6%~11.8%大幅提升至70.3%~78.5%,而細胞狀缺陷完全地消失,影像品質得以提升。
This is a case study to use six sigma skills do improvements on the LCoS (Liquid Crystal on Silicon) display industry. According to CES (Consumer Electronics Show) on 2009 , domestic and foreign well-known research institution as digitimes and TSR(Techno System Research) reveal to the investigation result of the technical application products of mini-projection, the technological development potentiality of the miniature projection is great. Therefore can know development and improvement of mini-projection is lasting and necessary. In order to make famous in mini-projection technology for LCoS. And it is a study on polyimide process improvement of defect and improves the quality of the projection image for LCoS Panel.
The six sigma had been proved by many researches and case studies as an effective skill for a project improvement. The research follows six sigma “DMAIC” procedure to use DOE(design of experiment) to analyze the defect of polyimide for LCoS. And it concludes through the procedure of the research, we can improve the defect of cell form for polyimide process and improves the quality of the projection image. Give the best parameters standardization and release to the procedure of manufacture, improves the cell form defect in an all-round way.
摘要
Abstract
符號說明
第一章 緒論
1.1 研究背景與動機
1.2 問題描述
1.3 文獻回顧
1.4 研究目的
1.5 研究架構
1.6 論文架構
第二章 微型投影相關技術與原理介紹
2.1 微型投影技術發展
2.2 配向材料與塗覆相關技術
2.2.1 配向膜材料與用途
2.2.2 配向膜塗覆相關技術
2.3 六標準差品質管理
2.4 田口品質工程
2.4.1 信號雜訊比
2.4.2 變異數分析
2.5 量測系統分析
2.6 統計製程管制
2.7 小結
第三章 配向膜塗覆製程之改善
3.1 LCoS面板流程與配向膜塗覆製程
3.1.1 LCoS面板前、中段流程
3.1.2 配向膜塗覆製程
3.2 配向膜塗覆製程問題界定
3.3 配向膜塗覆製程品質衡量
3.3.1 量測系統分析
3.3.2 資料收集計畫
3.4 影響配向膜製程品質要因分析
3.5 實驗設計
3.6 品質的控制
3.7 小結
第四章 實驗設計與結果討論
4.1 塗覆參數與膜層對應關係
4.2 實驗設計與結果
4.2.1 關鍵因子、水準值與實驗配置
4.2.2 評價指標設立與實驗結果
4.3 顯著因子、效應分析與最佳化模式預測
4.3.1 顯著因子分析
4.3.2 效應分析與最佳化模式預測
4.4 最佳化模式驗證
第五章 結論與未來展望
5.1 結論
5.2 未來展望
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