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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林雨蓉
研究生(外文):Yu-Jung Lin
論文名稱:應用量測系統分析於LTPS量測機台差異之研究
論文名稱(外文):The Study of Measurement System Analysis for Measurement Instrument Variation on LTPS
指導教授:黃振球黃振球引用關係
指導教授(外文):Jenn-Chiu Hwang
學位類別:碩士
校院名稱:元智大學
系所名稱:化學工程與材料科學學系
學門:工程學門
學類:綜合工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2009
畢業學年度:97
語文別:中文
論文頁數:110
中文關鍵詞:低溫多晶矽量測系統分析變異數分析t檢定迴歸分析
外文關鍵詞:LTPSMSAANOVAPaired t-testRegression analysis
相關次數:
  • 被引用被引用:5
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隨著LTPS (Low Temperature Poly-Silicon) 產業的快速發展,對產品品質的要求也越來越高,為確保廠內的量測系統可獲得正確且有效的量測數據,本研究將利用量測系統分析 (Measurement System Analysis, MSA) 方法來改善光學量測系統 (Display-Measuring-System, DMS) 之量測能力,其中,運用統計方法-變異數分析 (Analysis of Variance, ANOVA) 及品管手法-魚骨圖來評估量測系統變異的來源,進而加以改善,不僅能有效降低量測系統的變異由32.18%及59.74%減少至4.17%及8.02%,相對也提升量測數據的可信度及準確度。待量測系統穩定後,再利用標準光源對廠內不同的光學量測系統進行差異比對找出其差異性及相關性,作為日後預測光學量測系統輝度值的應用。
Along with the rapid growth of the LTPS industry, the demand for quality level is getting higher and higher. To assure that our measurement system can obtain the correct and effective measurement data, this study will apply the MSA approach to improve the measurement capability of DMS, and take advantage of the ANOVA analysis of statistics method and Cause-and-Effect Diagram of Quality tools to evaluate the source of the measurement system’s variation, then improves it, not can only reduce the measurement system’s variation effectively by 32.18% and 59.74% reduces to 4.17% and 8.02%, but also to improve the reliability and accuracy of the measurement result. After steady state of measurement system, uses Standard Light Source Measurement System to find out the correlation and difference from the deviation analysis of all various optical measurement systems, as will forecast the optical measurements system’s luminance in the future the application in the company.
書頁名 i
口試委員審定書 ii
授權書 iii
中文摘要 iv
英文摘要 vi
致謝 viii
目錄 ix
圖目錄 xiii
表目錄 xvii
第一章 緒論 1
1-1前言 1
1-2 研究背景 3
1-3 研究目的 11
第二章 原理 12
2-1液晶顯示器的光學特性 12
2-1-1 輝度(Luminance,L) 18
2-1-2 色度(Chromaticity) 21
2-1-3 對比(Contrast Ratio,CR) 23
2-1-4 視角(View Angle,VA) 25
2-1-5 灰階(Gray Scale, γ) 27
2-1-6 反應時間(Response Time,RT) 29
2-1-7 色溫(Color Temperature) 32
2-1-8 標準光源(Standard light source) 35
2-2量測系統分析(Measurement System Analysis,MSA)的應用 37
2-2-1 量具之重覆性與再現性(Gauge Repeatability and 42
Reproducibility,GR&R)分析方法 42
2-2-2 GR&R 判定指標 45
2-2-3 GR&R 結果分析 46
2-3相關與迴歸分析 47
2-3-1相關分析(Correlation Analysis) 47
2-3-2 迴歸分析(Regression Analysis) 49
2-4 假設檢定 51
2-5 Minitab分析軟體 54
第三章 實驗方法 55
3-1 實驗儀器 55
3-1-1 光學量測系統(Display-Measuring-System,DMS) 56
3-1-2 標準光源量測系統(Standard Light Source Measurement System) 59
3-2實驗環境 61
3-3 實驗方法 63
3-3-1 量測系統分析(MSA)之量具重覆性與再現性(GR&R)執行 63
3-3-2 機差比對 64
3-4 分析工具說明與運用 65
3-4-1 變異數分析(ANOVA) 65
3-4-2 t檢定-成對母體平均值差異檢定 67
3-4-3 線性迴歸分析 68
3-5 流程說明 69
3-5-1 實驗設計流程 69
3-5-2 MSA GR&R執行流程 70
第四章 實驗結果與討論 71
4-1光學量測系統MSA GR&R分析 72
4-1-1 DMS-903量測數據分析:改善前 72
4-1-2 DMS-903量測數據分析:改善後 79
4-1-3 DMS-900量測數據分析:改善前 85
4-1-4 DMS-900量測數據分析:改善後 91
4-1-5 光學量測系統系統MSA GR&R分析總結 97
4-2光學量測系統機台差異分析 99
4-2-1 量測數據分析 99
4-2-2光學量測系統機台差異分析總結 105
第五章 結論 106
5-1結論 106
5-2建議 108
5-3未來研究方向 108
參考文獻 109
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14.統寶光電,”MSA簡介與案例說明”內部教育訓練講義 (2008)
15.統寶光電,”Variable(量測儀器)MSA作業指導書”內部教育訓練教材 (2008)
16.內田治,”品質管理EXCEL使用手册”,鼎茂圖書 (2007)
17.Kutner,Michael H. ,Nachtsheim,Christopher J. and Neter,John,”Applied Linear Regression Models” ,Mc Graw Hill (2005)
18.吳宗正,鄭淑娥,“迴歸分析”,華泰文化 (2002)
19.陳順宇,”迴歸分析”,華泰文化 (1997)
20.黃登源,”應用迴歸分析”,華泰文化 (1998)
21.autronic-MECHERS GmbH , “Display Measuring System Introduction” (2002)
22.五鈴光學,”相對性積分球光源應用”外部教育訓練講義 (2008)
23.統寶光電,”光學量測系統操作與保養作業指導書”內部教育訓練教材 (2006)
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