臺灣博碩士論文加值系統

本研究是針對曝光設備於曝光過程中，因靜電放電產生之玻璃破片問題進行靜電消除裝置(Photo Ionizer)架設評估，探討藉由靜電消除方式達到品質改善目地。研究過程中實際進行基板傳送測試，利用靜電偵測儀器偵測出靜電放電異常位置與玻璃破片間的相關性，使用CPM(Charge Plate Monitor)儀器探討現況曝光設備靜電消除裝置效能確認，並於曝光設備可架設空間範圍進行靜電消除器架設最佳位置與高度研究。研究中以實驗設計結合反應曲面法來得到此靜電消除裝置最佳架設位置與高度，達到品質改善目的，並建立出後續工程設備之靜電消除裝置架設與靜電消除能力評估標準化流程，以縮短品質對策時間。

This study is to explore the solution with the use of Photo Ionizer for solving ESD-generated glass breaking problem for the exposure equipment. In the study, substrate send test was performed and electrostatic detection equipment (Electrostatic Monitoring System) was used to find the correlation between the locations of abnormal electrostatic discharge and the glass broken. The Charge Plate Monitor was used to check the ability of statics elimination of the Photo Ionizer and to investigate the optimal location of ionizers. Empirical method with use of Response Surface Methodology was used to find the optimal locations of the Photo Ionizer. Finally, the standard operation procedure for Photo Ionizer installation and the assessment of the static elimination ability of a device was set up to reduce the time for quality improvement.

中文摘要…………………………………………………………I
英文摘要…………………………………………………………II
誌 謝……………………………………………………………III
目錄………………………………………………………………IV
圖目錄……………………………………………………………VI
表目錄……………………………………………………………VIII
第一章 緒論……………………………………………………………1
1-1 前言……………………………………………………………1
1-2 研究動機與目的………………………………………………2
1-3 內容編排………………………………………………………2
第二章 靜電放電原理介紹……………………………………………3
2-1 靜電放電之簡介………………………………………………3
2-2 靜電發生理論…………………………………………………4
2-3 靜電產生模式…………………………………………………5
2-4 液晶顯示器靜電產生模式……………………………………8
2-5 液晶顯示器製程的靜電防治…………………………………9
2-6 靜電消除器架設實驗設計-反應曲面法應用………………16
第三章 微影工程曝光設備與除靜電裝置介紹……………………18
3-1 微影工程曝光設備介紹………………………………………18
3-2 曝光設備使用Photo Ionizer介紹………………………21
3-3 Photo Ionizer裝置除靜電效能確認……………………22
3-4 靜電監控系統介紹……………………………………………24
第四章 曝光設備靜電破壞問題探討與改善對策…………………26
4-1 曝光設備破片問題說明………………………………………26
4-2 破片異常原因調查……………………………………………27
4-3 Plate Stage鏡面化靜電量測分析…………………………29
4-4 曝光設備Photo Ionizer除靜電能力量測分析……………34
4-5 新增Photo Ionizer 實驗設計流程…………………………36
4-6 新增Photo Ionizer 實際安裝測試與靜電改善數據分析…38
4-7 標準化流程訂定…………………………………………………45
第五章 結論與未來發展方向……………………………………………46
5-1 結論………………………………………………………………46
5-2 未來發展方向……………………………………………………47
參考文獻 ……………………………………………………………………48

圖目錄

圖2.1 固體接觸與分離產生靜電的示意圖…………………………5
圖2.2 靜電感應現象…………………………………………………7
圖2.3 TFT-LCD結構圖………………………………………………9
圖2.4 靜電防治接地示意圖….……………………………………10
圖2.5 設備機台溫度溼度監控圖……………………………………11
圖2.6 交流型靜電消除器……………………………………………13
圖2.7 直流型靜電消除器……………………………………………14
圖2.8 放射線式靜電消除器…………………………………………15
圖3.1 TFT-LCD曝光方式示意圖……………………………………18
圖3.2 Scanner曝光機曝光方式示意圖……………………………19
圖3.3 曝光機基板傳送方式示意圖…………………………………20
圖3.4 曝光機靜電消除器位置示意圖…………………………………21
圖3.5 Photo Ionizer靜電消除能力曲線圖…………………………22
圖3.6 CPM儀器……………………………………………………………23
圖3.7 CPM儀器實際測量畫面……………………………………………24
圖3.8 靜電監控系統………………………………………………………25
圖4.1 曝光機靜電破壞基板破片圖示……………………………………27
圖4.2 曝光機基板破片座標圖……………………………………………28
圖4.3 曝光機手臂傳送靜電量測監控點…………………………………29
圖4.4 手臂傳送靜電監控數據圖…………………………………………30
圖4.5 曝光機Stage靜電量測監控點……………………………………31
圖4.6 曝光機Stage靜電量測監控點4量測數據chart…………………32
圖4.7 曝光機Stage靜電量測監控點5量測數據chart…………………33
圖4.8 破片量測靜電監控數據統計圖……………………………………34
圖4.9 曝光stage消除靜電能力量測點示意圖…………………………35
圖4.10 曝光stage消除靜電能力統計圖…………………………………36
圖4.11 新增Photo Ionizer位置示意圖………………………………38
圖4.12 Minitab建立設計實驗數據操作圖………………………………41
圖4.13 Minitab實驗因子條件設定操作圖………………………………41
圖4.14 Minitab RSM座標設定操作圖……………………………………42
圖4.15 Minitab RSM 規格設定操作圖……………………………………42
圖4.16 RSM靜電消除器架設位置與高度反應曲面圖………………………43
圖4.17 新增Photo Ionizer靜電能力監控數據chart…………………44

表目錄

表2.1 物質帶正負電磨擦帶電系列表…………………………………5
表3.1 靜電監控系統規格表……………………………………………25
表4.1 曝光機破片率統計表……………………………………………26
表4.2 新增Photo Ionizer消除靜電能力實驗記錄表………………40
表4.3 靜電問題標準化確認流程表……………………………………45
表5.1 曝光機破片率改善統計表………………………………………46

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