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研究生:王俊景
研究生(外文):Chun-Ching Wang
論文名稱:應用TRIZ理論探討廠務系統清潔生產之改善研究
論文名稱(外文):The research of Applying TRIZ Theory in the green production and the facility improvement
指導教授:許績興許績興引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:清雲科技大學
系所名稱:經營管理研究所
學門:商業及管理學門
學類:企業管理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2011
畢業學年度:99
語文別:中文
論文頁數:113
中文關鍵詞:無塵室TRIZ廠務系統清潔生產
外文關鍵詞:Clean roomTRIZthe facility of systemclean production
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廠務系統於半導體產業及各行業間有著重要但卻是不被重視的地位,半導體及高科技產業對於廠務系統的運轉品質是逐步提高的。因為,廠務系統是牽一髮而動全身,廠務系統的事故,輕則部份廠區無法生產,重則全廠生產停擺,嚴重的可能會有事故的發生,不可不重視。但是,除了要求廠務高運轉品質的半導體及高科技產業外,一般的產業卻對於廠務系統的要求僅限於可用即可的階段。
然而,大部份的廠務系統於建廠時即被固定了,鮮少於運轉後能有大幅度的更換或是改善,因此,要有效維持有效率運轉及管理是不容易的。究其原因,即使維護管理人員有勤於維護保養,但是生產是24小時進行的,再加上任何的變更修改皆會影響到生產及無塵室環境的維持,因此,除非必要的修改或是每年的歲修時間外,並無法將生產或無塵室暫停,更不需談論如何進行大規模的改善了。因此,廠務系統的初期建製對於效率的高低將佔有舉足輕重的地位。所以,如果能透過TRIZ的方式及廠務運轉的經驗再加上清潔生產的概念,提供廠務運轉系統設備的改良,使廠務運轉系統設備能降低運轉成本、節能及發揮出該有的運轉效能,也借此能提供相關運轉及設計人員,針對廠務系統有新的改善及設計,以利廠務系統工作及維護管理人員能有效掌握廠務系統之狀態及維持。


Factory service system in the semiconductor industry and other walks is important but it is not the important position. The semiconductor and high-tech facility for the operation quality system need to gradually improve. Because of the facility system like pull one hair and you would move the whole body. For factory system accident, such as one part of factory production was shut down belong not serious, other situation is whole factory shout down, the other may be have a serious accident, It is need to attention. However, nobody but the requirements of facility and high-tech industry ask to operating quality of the semiconductor. In general, the industry has the system requirements for the facility is available could be use.
However, most of the facility system was fixed when the factory was builing and they are less requires to replacement or improvement after operation. Therefore, it is not easy to maintain an efficient of transfer and effective operation of management. For this reason, even if the production personnel diligent to maintenance and management, it still diffcult because equipment activation is carried out 24 hours. It is easy to affect the process of production and environment of clean room when we change and modify the facility. Therefore, unless the annual repair of the machine or necessary modification couldn’t let the machine be shut down, not to mention how to improve for large project. Therefore, Factory service system has an important position for efficient during the early establishment. Therefore if applying TRIZ theory with facility operations experience and concept of clean production could be provide facility improvement on system equipment. The facility operating system equipment to reduce operating costs. Energy Saving and running performance have playing, Provide operation and design person about the factory service system how to improve and new design. Convenience facility and maintenance management system work effectively to master the facility and maintain the state system.


目錄
摘要 i
英文摘要 ii
誌謝 iii
目錄 iv
表目錄 vi
圖目錄 viii
第一章 概論 1
1.1 前言 1
1.2 研究背景 3
1.3 研究目的 9
1.4研究方法 11
1.5研究步驟與流程 15
第二章 文獻回顧 18
2.1 綠色產品設計 18
2.1.1 從搖籃到搖籃的理念 18
2.1.2 綠色生命週期概念 20
2.1.3 綠色產品設計對產業之重要性 22
2.2半導體廠廠務系統 26
2.2.1無塵室(Clean Room) 28
2.2.2超純水系統 29
2.2.3氣體供應系統 31
2.2.4中央化學品供應系統 32
2.2.5電力供應系統 32
2.2.6廢水處理系統 32
2.2.7消防系統 33
2.2.8其他有關設施及系統 33
2.2.9非製程直接關聯附屬系統 33
第三章 研究方法 34
3.1 TRIZ 的發展沿革 34
3.2 TRIZ 問題的解決程序 36
3.3 TRIZ主要方法與工具 37
3.4 Matrix 2003 42
3.5 研究架構 46
3.6 改善工程特性或避免工程特性惡化的創新法則表 47
3.7 TRIZ應用 54
3.7.1純水系統改善 54
3.7.2 離子交換樹脂系統(混床系統)簡介 54
3.7.3 改善說明 55
3.7.4 改善目標 55
3.7.5 運用TRIZ分析 55
3.7.6 EDI(Electro-deionization)技術簡介 56
第四章 廠務系統與產品生命週期分析 62
4.1 結合 48 工程參數與產品生命週期建立關係表 62
4.2 案例分析--空氣壓縮機系統改善 77
4.2.1空氣壓縮機介紹 77
4.2.2空氣壓縮機系統改善 77
4.2.3改善說明 78
4.2.4改善目標 78
4.2.5運用TRIZ分析 78
第五章 結論與建議 82
5.1 研究結論 82
5.2 研究限制 83
5.3 研究建議 84
參考文獻 85
附錄 88
附件一 39 × 39 矛盾矩陣表 88
附件二 48 × 48 矛盾矩陣表 96
簡歷 114
表目錄
表 1.1 我國主要出口貨品 3
表 1.2 我國出口貿易結構 4
表 1.3 綠色產品生命週期分類之綠色產品設計原則 13
表 2.1 傳統行銷與綠色行銷之比較 20
表 2.2 國際環保法規 23
表 2.3 各類產品之回收目標 24
表 2.4 管制物質及濃度限值 25
表 2.5 新建晶圓廠主要設施 27
表 2.6 建廠重要里程碑 27
表 2.7 積體度與超純水水質的關係 31
表 2.8 2B3T + RO + MB 主處理系統之水質 32
表 3.1 TRIZ 39×39 矛盾矩陣表(部分表格) 38
表 3.2 TRIZ 40原則表 39
表 3.3 依 39 工程參數之屬性區分為六大群組 44
表 3.4 依48工程參數之屬性區分為六大群組 45
表 3.5 TRIZ 48×48矛盾表(部分表格) 47
表 3.6 改善工程特性的創新法則表 49
表 3.7 避免工程特性惡化的創新法則表 52
表 3.8 混床系統改善工程矛盾矩陣表 58
表 3.9 混床系統改善工程特性的創新法則表 59
表 3.10 混床系統避免工程特性惡化的創新法則表 60
表 3.11 混床系統改善工程四十原理原則 61
表 4.1 一、材料選擇與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 64
表 4.2 二、機構設計與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 66
表 4.3 三、製造程序與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 68
表 4.4 四、運輸配銷與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 70
表 4.5 五、消費者使用與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 72
表 4.6 六、廢棄與回收與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 74
表 4.7 七、環保法規與綠色產品生命週期廠務工程參數關係表 76
表 4.8 空壓機改善工程參數關係表 80
表 4.9 空壓機改善工程特性的創新法則 80
表 4.10 空壓機改善過程與結果 82

圖目錄
圖 1.1 我國主要貿易結構圖 5
圖 1.2 生命週期圖 5
圖 1.3 供應鍊風險管理圖 6
圖 1.4 生命週期思維圖 7
圖 1.5 綠色供應商管理圖 8
圖 1.6 論文結構 16
圖 1.7 研究流程 17
圖 2.1 行銷之魔術三角由傳統進入綠色 19
圖 2.2 綠色產品生命週期階段 22
圖 2.3 IC FAB / 廠務供應系統 26
圖 2.4 主處理系統:2B3T + RO + MB 28
圖 3.1 EDI構造 31
圖 4.1 壓縮空氣能量消耗圖 31



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