摘要 I
ABSTRACT III
誌謝 V
表目錄 X
圖目錄 XI
第一章 緒論 1
1.1 研究背景與動機 1
1.2 研究範圍與目的 2
1.3 研究步驟 4
第二章 超純水系統製造流程探討 6
2.1 半導體超純水水質指標 6
2.1.1 一般原水之組成物質 6
2.1.2 原水水質分析 7
2.1.3 使用端(晶圓製造設備)要求水質 8
2.1.4 系統耗用水量 10
2.2 半導體超純水製造流程 11
2.2.1 多層過濾塔 13
2.2.2 活性碳塔 14
2.2.3 陽/陰離子樹脂交換塔 15
2.2.4 脫碳酸塔 16
2.2.5 逆滲透 17
2.2.6 紫外線 20
2.2.7 陰陽離子樹脂分層交換塔 20
2.2.8 脫氧膜 21
2.2.9 精餾樹脂交換塔 23
2.2.10 超濾膜 24
2.3 超純水處理系統功能vs.水質指標 26
第三章 超純水系統設計流程管理 28
3.1 專案時程vs.設計時程 28
3.2 發包前計劃項目 30
3.2.1 設計基準 30
3.2.2 一般需求 32
3.2.3 機械需求 33
3.2.4 配管需求 34
3.2.5 配管管支撐需求 36
3.2.6 電力及儀控需求 37
3.2.7 其他需求 39
3.3 發包後設計流程 40
3.3.1 基本設計 41
3.3.2 細部設計 43
第四章 超純水系統設計流程知識分享 65
4.1 超純水系統設計流程知識分享的概念及目的 65
4.2 超純水系統設計流程知識分享 66
4.3 EAR/Best Practice/Lesson Learnt/Punch List 69
第五章 結論與建議 79
5.1 結論 79
5.2 未來研究建議 79
參考文獻 81
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