|
摘要 I Abstract II 致謝 III 目錄 IV 表目錄 VI 圖目錄 VII 第一章 序論 1 1.1前言 1 1.2研究動機與目的 2 第二章 前人研究與理論基礎 3 2.1低溫共燒陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic) 3 2.2玻璃陶瓷(Glass-Ceramic) 8 2.3 玻璃陶瓷的燒結緻密化行為 9 2.3.1玻璃液相燒結 9 2.3.2 緻密化與結晶溫度的關係 11 2.3.3 添加劑對玻璃陶瓷燒結性和結晶之影響 11 2.4 CaO-Al2O3-SiO2玻璃陶瓷 12 2.4.1 CaO-Al2O3-SiO2系統 12 2.4.2添加劑對CaO-Al2O3-SiO2玻璃陶瓷之影響 14 2.4.3 CaO-Al2O3-SiO2玻璃陶瓷介電性質 16 2.4.4 CaO-Al2O3-SiO2玻璃陶瓷機械性質 18 2.5 介電性質 20 2.5.1 介電基本原理 20 2.5.2 極化的機制 21 2.6多層陶瓷基板共燒行為 22 第三章 實驗步驟與方法 23 3.1 實驗流程圖 23 3.1.1 玻璃粉末之製備 23 3.1.2 試片製備及燒結 24 3.2 材料分析 24 3.2.1粉末比表面積 24 3.2.2 X-ray螢光成分分析(XRF) 25 3.2.3熱膨脹分析(DIL) 25 3.2.4熱分析(DTA/TG) 25 3.2.5結晶相鑑定 25 3.2.6顯微結構觀察 25 3.2.7玻璃陶瓷體密度、孔隙率 26 3.2.8介電性質量測 26 3.2.9維氏硬度量測 26 3.2.10抗彎強度測試 26 第四章 結果與討論 27 4.1 玻璃陶瓷非等溫燒結 27 4.1.1 添加氧化鋯對燒結緻密化行為之影響 27 4.1.2 添加氧化鋯對燒結活化能之影響 29 4.1.3添加氧化鋯對結晶行為之影響 35 4.1.4 添加氧化鋯對顯微結構之影響 42 4.1.5 添加氧化鋯對體密度、孔隙率之影響 48 4.1.6 添加Al2O3 filler對玻璃陶瓷緻密行為,結晶行為及顯微結構之影響 50 4.2玻璃陶瓷等溫燒結 55 4.2.1添加氧化鋯對結晶行為之影響 55 4.2.2添加氧化鋯對顯微結構之影響 57 4.3 玻璃陶瓷介電性質 60 4.3.1結晶行為、微孔洞對介電常數、介電損失之影響 60 4.3.2添加Al2O3 filler對介電常數(K 值)、介電損失(tan δ)之影響 61 4.4 玻璃陶瓷硬度及機械性質 62 4.4.1 緻密化與結晶相對維氏硬度之影響 62 4.4.2 緻密化與結晶相對抗彎強度之影響 63 4.5玻璃陶瓷基板和Co2Y鐵氧磁體層共燒 66 4.5.1添加Al2O3 filler對玻璃陶瓷與Co2Y鐵氧磁體積介面反應之影響 66 4.5.2熱收縮行為對玻璃陶瓷基板和Co2Y鐵氧磁體共燒之影響 66 第五章 結論 70 第六章 參考文獻 71 附錄 74
|