摘 要 III
Abstract IV
誌 謝 V
目 錄 VI
表 目 錄 VIII
圖 目 錄 IX
第一章 緒 論 1
1.1 研究動機與目的 1
1.2 文獻回顧 6
1.3 論文架構 18
第二章 超音波馬達振動子設計 19
2.1 多相驅動振動子 19
2.2 單相驅動振動子 26
第三章 非對稱電場驅動之壓電振動子設計 30
3.1 振動子結構與致動原理 30
3.2 振動子尺寸分析 36
3.3 振動子表面振幅量測 43
第四章 線型超音波馬達 48
4.1 線型超音波馬達結構 48
4.2 馬達性能量測系統 50
4.3 實驗結果 54
第五章 各種超音波馬達應用 62
5.1 主動式線性滑軌 62
5.2 旋轉超音波馬達 67
5.3 平面與球面超音波馬達 73
第六章 結論與建議 79
6.1 結論 79
6.2 未來研究建議 81
參考文獻 82
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