臺灣博碩士論文加值系統

本研究主要是對微光致螢光量測系統進行光路設計與架設，結合CCD攝影機做影像擷取，讓LED半導體元件的相關研究人員便於進行螢光光譜的分析。實驗系統架構中包含了一片特殊的反射鏡，中央加工一個小孔洞來替代分光鏡功能，在螢光量測時可以即時接收影像，觀察樣品表面並做手動定對。本研究中還同時做了一般光致螢光與微光致螢光的架設與實驗，將不同架構實驗所產生的螢光光譜經過比較，證實本系統是有效的。另外實驗確認微光致螢光系統要激發最強的螢光，樣品需在雷射光點聚焦的位置上，最後完成一結合影像之正向微光致螢光系統之研製。

A procedure is optical design and installation for Micro Photoluminescence measurement system, combined with CCD camera to video capture, for semiconductor-related researcher to facilitate the analysis of Fluorescence spectroscopy. Experimental system architecture includes a special mirror, central processing of a small hole Substitute of Beam splitter features, fluorescence measurements can be made immediately to receive images, observed the sample surface and take manual correction. The study also while doing Ordinary light Photoluminescence and Micro Photoluminescence of experiment and erection, compare the different structure of fluorescence spectroscopy experiments result, confirmed the system is effective. In addition, experiments confirmed that Micro Photoluminescence system to stimulate the strongest fluorescence, samples need focus the laser spot position, finally to complete a forward Micro Photoluminescence and imaging system develop is combined.

摘要 I
Abstract II
誌謝 III
目 錄 IV
圖目錄 VII
表目錄 IX
第一章 緒論 1
1.1研究背景與目的 1
1.2文獻回顧 2
1.2.1 發光二極體發展歷史 2
1.2.2 光致螢光發展歷史 4
1.3研究方法 4
1.4本文架構 5
第二章 實驗原理 7
2.1 能帶與能隙 7
2.2光致螢光原理 8
2.2.1螢光產生的過程 9
2.2.2 電子電洞的再結合 10
2.2.3光譜特性與樣品之關係 11
2.3微光致螢光 12
第三章 實驗架構 14
3.1光學元件介紹 14
3.1.1 光譜儀 15
3.1.2 濾光片 16
3.1.3 CCD攝影機 18
3.1.4 光學鏡片 19
3.1.5 綠光雷射 21
3.1.6 顯微物鏡 23
3.2光軸校準 26
3.2.1 雷射校準 27
3.2.2 透鏡校準 28
3.2.3 反射鏡與分光鏡校準 29
3.3 幾何光學之應用 29
3.4 實驗架設 31
3.4.1光致螢光實驗架構 31
3.4.2側向微光致螢光實驗架構 32
3.4.3正向微光致螢光系統架構 33
第四章 實驗結果與討論 38
4.1 光譜量測結果比較 38
4.1.1 實驗樣品 38
4.1.2 各實驗架構之量測結果 39
4.2 螢光收光距離 43
第五章 結論與未來展望 48
參考文獻 50
附錄A 三元化合物半導體能隙對組成之變化 52
附錄B 光譜儀波長校正證書 53

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