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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:賴正鑫
研究生(外文):LAI,ZHENG-XIN
論文名稱:半導體精密取放系統之非接觸式 最佳化控制參數設計
論文名稱(外文):The Optimal Design of Noncontact Control Parameters for Semiconductor Precision Pick and Place Systems
指導教授:林欽裕林欽裕引用關係
指導教授(外文):LIN,QIN-YU
口試委員:林欽裕蘇寶林郭宗祥
口試委員(外文):LIN,QIN-YUSU,BAO-LINGUO,ZONG-XIANG
口試日期:2011-01-18
學位類別:碩士
校院名稱:中州科技大學
系所名稱:工程技術研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2011
畢業學年度:99
語文別:中文
論文頁數:32
中文關鍵詞:石英晶片田口式法直交表
外文關鍵詞:Blank quartzTaguchi MethodOrthogonal Array
相關次數:
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中文摘要

本研究之目的是探討為預防石英薄板吸取高度不確定因素,而影響產品的放置良率,藉由實驗記錄之影像資料,進行快速吸取Blank好壞關係之統計分析,建立精密取放系統之非接觸式視覺檢測機制,以提昇整體製程的品質。
本文使用初始化實驗、最佳化實驗、實機驗證三種方式,運用田口式實驗計劃法,設計出石英薄板取放系統之最佳化、非接觸吸取控制參數,以改善薄板吸取偏移過大的情況,以提升製程的能力30 %,變異數誤差由1500 μm 降至1050 μm ,做分析探討。
由本文的研究發現,初步實驗;選擇S/N比最大A1與B2,吸取高度A1=0 μm,吸取負壓B2=-2.0 MPa,變異數達到1065.62 μm製程提升96.53 % 。最佳化實驗;選擇S/N比最大A2與B1,吸取高度A2=20 μm,吸取負壓B1=-2.0 MPa,變異數達到481.08 μm製程提升226.43 %。實機驗證;選擇S/N比最大A2與B1,吸取高度A2=20 μm,吸取負壓B1=-2.0 MPa,變異數達到787.25 μm製程提升158.39 % 。以上三種方式,最佳化實驗即可達到製程能力提升226.43 %。

關鍵字:石英晶片、田口式法、直交表

ABSTRACT

The purpose of this study was to explore the lessons to prevent a high degree of uncertainty of quartz plate,while the yield of product placement, the image recorded by the experimental data, good or bad relationship fast draw Blank statistical analysis, non-precision pick and place system contact vision inspection system to improve the overall quality of the process.
This article uses the initialization experiment, the best experiment, three ways to implement machine authentication, the use of Taguchi experimental method to design a quartz plate pick and place system optimization, non-contact lessons control parameters to improve the draw sheet offset too large situation in order to enhance the ability to process 30% of the variance of the error reduced by the 1500 μm 1050 μm, will be analyzed.
By the findings of this paper, preliminary experiments; Select S/N ratio of the maximum A1 and B2, drawing a high degree of A1 = 0 μm, drawing negative B2 =- 2.0 MPa, the process variance to 1065.62 μm 96.53 % increase. Optimization experiments; Select S/N ratio of the maximum A2 and B1, drawing a high degree of A2 = 20μm, drawing negative B1 =-2.0 MPa, the process variance to 481.08 μm 226.43 % increase. Actual machine verification; Select S/N ratio of the maximum A2 and B1, drawing a high degree of A2 = 20 μm, drawing negative B1 =-2.0 MPa, the process variance to 787.25 μm 158.39 % increase.
The above three ways, the best of the experimental process capability can be achieved by 226.43 % percent increase.
Keywords:Blank quartz,Taguchi Method, Orthogonal Array

目 錄

誌謝 i
中文摘要 ii
ABSTRACT iii
目錄 iv
圖目錄 v
表目錄 vi

第一章 緒論 1
1.1 研究背景 1
1.2 研究動機與目的 5
1.3 研究方法與步驟 7
第二章 理論依據 8
2.1 田口品質設計法簡介 8
2.2 田口品質設計法之原理與步驟 8
第三章 實驗系統之建立 12
3.1 系統元件之選擇 13
3.2 取放系統設計 13
3.3 製程流程規劃 15
第四章 最佳化參數設計 16
4.1 田口實驗與初步參數設計 16
4.2 最佳化參數設計 18
4.3 最佳參數實機驗證 21
第五章 結論 24
參考文獻 25

圖目錄

圖 ‎‎1 1‎‎ TXC石英振盪器內部圖示 1
圖 ‎‎1 2 車上的Crystal應用 3
圖 ‎‎1 3 ‎‎軍事與通訊Crystal應用 3
圖 ‎‎1 4 ‎‎全球Crystal產業市場分佈圖 4
圖 ‎‎1 5‎ ‎‎1900年~2006年SMD石英晶體大小演進 4
圖 ‎‎1 6 ‎‎Blank與MASK的間隙0.02mm 6
圖 ‎‎1 7‎ ‎‎石英薄板吸取位置與角度的偏移影像 6
圖 3-1‎ ‎‎特性要因分析圖 12
圖 3-2‎ ‎‎Blank Insert System排片機內部構造之組成示意圖 13
圖 3-3 ‎‎吸嘴置放模式 14
圖 3-4‎ ‎‎散裝石英晶片與置放盤 14
圖 3-5 ‎‎取放系統之製程流程圖 15
圖 4-1‎ ‎‎初始化實驗-S/N回應圖 18
圖 4-2‎ ‎‎最佳化實驗-S/N回應圖 21
圖 4-3‎ ‎‎實機驗證-S/N回應圖 23




表目錄

表1-1 石英元件的應用領域 2
表1-2 Crystal的種類分佈 5
表3-1 實驗平台之組成元件與功能說明 13
表4-1 初始化實驗-參數設定表 16
表4-2 初始化實驗-可控因子及水準表 16
表4-3 初始化實驗-田口式直交表 17
表4-4 初始化實驗-S/N回應表 18
表4-5 最佳化實驗-參數設定表 19
表4-6 最佳化實驗-可控因子及水準表 19
表4-7 最佳化實驗-田口式直交表 20
表4-8 最佳化實驗-S/N回應表 20
表4-9 實機驗證實驗-參數設定表 21
表4-10 實機驗證實驗-可控因子及水準表 22
表4-11 實機驗證實驗-田口式直交表 22
表4-12 實機驗證實驗-S/N回應表 23

參考文獻

[1].吳復強,產品穩健設計─田口方法之原理與應用,全威出版社,2005年。
[2].房克成,林清風,管制圖與製程管制,中華民國品質學會出版社,2009年。
[3].台灣晶技公司(TXC Corporation)網站,http://www.txc.com.tw/tw/index.asp。
[4].可攜式裝置小型化趨勢,新通訊元件雜誌,2009 年 11 月號 105 期
http://www.2cm.com.tw/technologyshow_content.asp?sn=0910200013。
[5].游志成,石英元件廠商近況,TISC研究週報,研究部http://www.tisc.com.tw/new/newreport/industry/upload/industry20080509-2.pdf。
[6].王志方,石英元件產業概況,台灣工銀,2006年6月,http://www.ibt.com.tw/Research/Research_E0101.aspx?i_id=51。
[7].李輝煌,田口方法品質設計的原理與實務,高立圖書有限公司,民國九十二年。
[8].劉克琪,實驗設計與田口式品質工程, 華泰書局, 1994.

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