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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:黃韋綸
研究生(外文):Huang,Wei-Luen
論文名稱:從不同ITO製程參數研究發光二極體的亮度影響
論文名稱(外文):The brightness affects for light-emitting diodes from different fabricating parameters of ITO films
指導教授:陳盈安陳盈安引用關係
指導教授(外文):Chen,Ying-An
口試委員:連畊宇應誠霖
口試委員(外文):Lien,Keng-YuYing,Chen-Ling
口試日期:2012-07-04
學位類別:碩士
校院名稱:中華科技大學
系所名稱:飛機系統工程研究所在職專班
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2012
畢業學年度:100
語文別:中文
論文頁數:46
中文關鍵詞:穿透率發光二極體亮度
外文關鍵詞:ITOLEDbrightness
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摘要
本文旨在研究LED製程中的ITO ( Indium Tin Oxide ) 薄膜其導電特性 ( 電阻係數可至2×10-4 Ω - ㎝ 下 ) 、 高可見光 ( 400 ~ 700 nm ) 之透光率≧85 % [1]以及透過性、高紅外光之反射性。此LED亦可應用於透明加熱元件、抗靜電膜、電磁波防護膜等電子、光學及光電裝置上。由於LED電性問題,一直是製程中希望有所改善空間的區塊,此研究依照ITO製程中,希望透過更改假設性以及合理懷疑性的參數項目、如製程:溫度、通氧量、真空度、鍍率等等,進行變更測試實驗,並以阻值、折射 / 穿透率、膜厚度等來判斷此實驗中的發光二極體亮度是否受影響。
關鍵字:穿透率、發光二極體、亮度

ABSTRACT
This paper studied the ITO ( Indium Tin Oxide ) film performances during the LED fabricating processes , such as:electrical conductivity ( resistivity up to 2×10-4 Ω - ㎝ below )、high visible light ( 400 ~ 700 nm ) transmittance ≧85 % [1]、permeability and high reflectivity of infrared light . LEDs can also be used to be the transparent heating elements , antistatic-electric , films , electromagnetic protection film , for all the electronic、optical and optoelectronic devices . This studies hoped to improve the fabricating processes of ITO film and mainly to change the different fabricating parameters of ITO film , such as:temperature , oxygen flow , vacuum level , deposition rate . To compare the experimental date from the changing testing or high-to-low testing could understand the brightness affects of LED , also could be determined from the resistance , refractive index , film thickness of ITO film .
Keywords:ITO、LED、brightness
誌謝 i
中文摘要 ii
英文摘要 iii
目次 iv
圖目錄 vi
表目錄 viii
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機 1
1-3研究目的 2
1-4 研究方法 3
第二章 文獻回顧 5
2-1電阻值(Resistance) 5
2-2反射率 ( Reflectance ) 6
2-3折射率 6
2-4 膜厚度 7
2-5蒸鍍法原理 7
第三章 設備儀器 11
3-1設備儀器 真空蒸鍍-鍍膜系統簡介 11
3-2 設備儀器 四點探針片-電阻儀 15
3-3 設備儀器 橢圓測厚儀 16
3-4 設備儀器 光譜穿透測量儀 17
3-5設備儀器 SEM電子顯微鏡 18
第四章 結果與討論 19
4-1 實驗結果 24
4-2 問題討論 42
第五章 總結 44
第六章 未來展望 45
參考文獻 46

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