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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:李宗翰
研究生(外文):Zong-HanLi
論文名稱:微楔型鏡面應用於雙掃描系統之研製
論文名稱(外文):Design and fabrication sloping micromirror plate using LIGA-like technology for dual screen scanning system
指導教授:沈聖智沈聖智引用關係
指導教授(外文):Shen-Sheng Chin
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:系統及船舶機電工程學系碩博士班
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2012
畢業學年度:100
語文別:中文
論文頁數:98
中文關鍵詞:LIGA-like微電鑄楔型鏡面雙掃描系統
外文關鍵詞:LIGA-likeElectroformingWedge-shaped micromirrorDual screen scanning system
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本文係設計一新型雙楔型反射鏡並應用於雙掃描系統,改變目前微型投影模組之反射鏡皆為平面反射鏡的狀況。雙楔型反射鏡掃描系統包含雙楔型微鏡面結構與薄型壓電元件,其中雙楔型鏡面結構是以LIGA-like製程及蔓延式電鑄技術製作完成,具有快、慢兩組扭轉軸與左右對稱的雙楔型鏡面,搭配薄型壓電元件,使雙楔型鏡面做同步連動形成雙2D掃描運動行為,以應用於同步顯示兩個掃描畫面之功能。在楔型鏡面的部分,本文改變電鑄製程中的起始層,利用被鍍金屬等向性蔓延的現象,並設計獨立的電極區塊,使電鑄過程逐步形成楔型鏡面。由實驗結果證實,楔型反射鏡可應用於雙掃描模組,且鏡面傾斜角與其表面線性擬合程度可透過電極區塊的寬度與間距控制。本論文研製雙楔型反射鏡元件未來可廣泛的應用於微型投影裝置。
This paper presents an wedge-shaped micromirror plate for dual screen scanning system (DSSS), reforming the current status of micro-projection module mirrors, which are using the flat mirror. The DSSS is composed of dual wedge-shaped micromirror structure, a pair of fast axes and slow axes, and slender piezoelectric element, and both micromirrors have synchronously scanning motion. Dual wedge-shaped mirror structure is fabricated by the LIGA-like process and the spread-type electroforming technology. In order to fabricate wedge-shaped micromirror, we have changed the initial layer in the electroforming process and designed independent electrode layout utilizing the anisotropic spread of the electrodeposition.The experimental results demonstrated that the wedge-shaped reflector can be applied to the dual-scan module. The mirror sloping angle and linear fitting factor of the structure surface can be adjusted by the electrode width and spacing. In this research, the development of the dual wedge-shaped mirror elements can be widely used in micro-projection devices.
摘要 I
Abstract II
致謝 III
目錄 IV
表目錄 VI
圖目錄 VII
第一章 緒論 1
1-1前言 1
1-2研究動機 6
1-3研究方法與論文架構 7
第二章 文獻回顧 9
2-1 改變曝光方式 9
2-2 改變電鑄方式 21
2-3 文獻整理比較 22
第三章 元件設計與模擬 25
3-1 壓電材料介紹 25
3-1-1 壓電效應 25
3-1-2 壓電元件之種類 27
3-1-3 積層式壓電致動器 27
3-2 雙楔型鏡面元件設計與模擬 29
3-2-1 楔型鏡面傾斜角度設計 31
3-2-2 元件尺寸設計與模擬 33
第四章 元件製程設計與整合 43
4-1 LIGA-like製程介紹 43
4-1-1 LIGA-like製程 43
4-1-2 微電鑄製程 45
4-2 楔型結構電鑄製程 49
4-3雙楔型鏡面製程設計 54
4-3-1 獨立電極製作 57
4-3-2 框架結構製作 61
4-3-3 楔型鏡面製作 63
4-3-4 剝離製程 64
4-4雙楔型鏡面掃描模組之建構 66
第五章 量測與實驗結果 67
5-1元件量測 67
5-1-1元件靜態量測 67
5-1-2結構表面線性擬合程度 71
5-1-3改善後的雙楔型鏡面結構 82
5-2元件動態量測 86
第六章 結論 91
6-1 結論 91
6-2未來工作 92
參考文獻 93
附錄一 PZT-4材料係數 96
附錄二 Ra中心線平均粗糙度 97
作者自述 98

【1】J. Colegrove,“Pocket Projector Technology and Market Forecast Report, DisplaySearch, 2010.
【2】http://www.teema.org.tw/epaper/20090909/industrial013.html
【3】http://www.autooo.net/utf8-classid122-id9513.html
【4】http://g-egg.blogspot.com/2010/07/dlplcd.html
【5】王志方,「微型投影機產業概況」,2010。
【6】施明廷,「微天秤型鏡面結構於雙顯示投影系統之研製」,國立成功大學系統及船舶機電工程學系碩士論文,2011。
【7】J.W. Gardner, V.K. Varadan, O.O.Awadelkarim,微機電元件(Microsensors MEMS and Smart Devices),滄海書局,2005。
【8】Y.J. Huang, T.L. Chang, H.P. Chou, C.H. Lin, “A Novel Fabrication Method for Forming Inclined Groove-Based Microstructures Using Optical Elements, Japanese Journal of Applied Physics, vol. 47, no. 6, pp. 5287–5290 , 2008.
【9】G. Jiang, S. Baig, M. Wang, “3D Microstructures Fabricated by Prism-Assisted Inclined UV Lithography, Proc. of SPIE, vol. 8249, pp. 82490L-82490L-7, 2012.
【10】M. Han, W. Lee, S.K. Lee, S.S. Lee, “3D microfabrication with inclined/rotated UV lithography, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 111, pp. 14-20, 2004.
【11】S.J. Moon, S.S. Lee, “Fabrication of microneedle array using inclined LIGA process, Transducers’03, Boston, vol. 2, pp. 1542-1549, 2003.
【12】K.Y. Hung, J.C. Liao, F.G. Tseng, H.P. Feng, H.H. Tsai, “Optimal Fabricate Technology of Polymer Micro Optical Mirror, Industrial Technology ICIT 2008, pp.1-6, 2008.
【13】O. Tabata, N. Matsuzuka, T. Yamaji, S. Uemura, K. Yamamoto, “3D fabrication by Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) with multiple stages, The Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, pp.180-183, 2002
【14】K. Reimer, H.J. Quenzer, M. Jürss, B. Wagner, “Micro-optic fabrication using one-level gray-tone lithography, Proc. SPIE, vol. 3008, pp.279-288, 1997.
【15】A. Maciossek, “Electrodeposition of 3D microstructures without moulds, Proc. SPIE, vol. 2879, pp. 275-279, 1996.
【16】J. Y. Jin, J.H. Park, B.W. Yoo, Y.H. Jang, Y.K. Kim, “Numerical analysis and demonstration of a 2-DOF large-size micromirror with sloped electrodes, Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 21, no. 9, 2011.
【17】C.W. Baek, Y.K. Kim, “Novel Fabrication Process of Freestanding Metallic Microstructures Using Double Electroplating, Japanese Journal of Applied Physics, vol. 37 , pp. 7104-7109, 1998.
【18】周卓明,壓電力學(Piezoelectricity Mechanics),全華科技圖書,2003。
【19】http://www.eettaiwan.com/ART_8800497622_480702_NT_860e7db9.HTM
【20】J.K. Lee, “Piezoelectric bimorph optical beam scanners: analysis and construction, Applied Optics, vol. 18, no. 4 , pp. 454-459 , 1979.
【21】PIEZO SYSTEMS, INC. , “Introduction to piezo transducers, 2011
【22】楊啟榮,強玲英,黃奇聲,「微系統LIGA 製程之精密電鑄技術」, 科儀新知,第二十二卷第一期,頁4-16,2000。
【23】P. Rai-Choudhury, Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication vol. 2, Bellingham Washington, SPIE Press, 1997.
【24】陳建仁,「精密電鑄製程之應用介紹」,鑄造科技,2002。
【25】L.S. Johansen , M. Ginnerup, J.T. Ravnkilde, P.T. Tang, B. Lochel, “Electroforming of 3D microstructures on highly structured surfaces, sensors and actuators A , vol.83, pp.156-160, 2000.
【26】昇鋐理化有限公司,鎳電鑄槽操作手冊,台灣。
【27】林淑君,蔡裕祥,精密量測及檢驗,全華科技圖書,2000。

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