(3.238.96.184) 您好!臺灣時間:2021/05/12 23:45
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果

詳目顯示:::

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:蔡元讚
研究生(外文):Yuan-Tsan Tsai
論文名稱:ITO圖案化對LED晶粒之取光特性分析
論文名稱(外文):Analysis of Light Extraction Characteristics for LED Chips With Patterned ITO
指導教授:陳文瑞陳文瑞引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立虎尾科技大學
系所名稱:光電與材料科技研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2013
畢業學年度:101
語文別:中文
論文頁數:71
中文關鍵詞:LED晶粒製程蝕刻技術ITO圖案化粗化技術
外文關鍵詞:LEDchip processETCH techniquesITO patterningcoarsening techniques
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:582
  • 評分評分:系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:1
本研究針對藍光LED晶粒進行ITO圖案化與粗化製程,並探討其對光萃取量的影響。首先設計三組不同圖案光罩分別用於(1)定義工作區域(2)圖案化蝕刻(3)電極製作等三道黃光製程。其次將LED晶片進行黃光、蝕刻、薄膜、合金、沉積、粗化等製程,其中將銦錫氧化物(Indium Tin Oxide ITO)的厚度控制為120nm與260nm兩種,進行溼蝕刻開孔洞製程,分析圖案化對光輸出之影響,粗化製程係以ITO蝕刻液控制在40℃,粗化時間以每間隔5秒取樣一次至25秒為止,藉以分析未粗化與粗化後光萃取量的變化關係。

In this study, the blue ray LED grains are used to conduct the ITO patterning and coarsening process, and the effect of it on the light extraction amount. First, the three reticles with different patterns are respectively used to (1) define the work area, (2) pattern etching, and (3) produce electrode in the three yellow ray processes. Secondly, the LED chips are conducted with the process of the yellow-ray, etching, thin film, alloy, and deposition, in which the thickness of the Indium Tin Oxide ITO is controlled into 120nm and 260nm to conduct the wet etching open-hole process to analyze the effect of patterning on light output. In the coarsening process, the ITO etching solution is controlled at 40℃and the interval of the coarsening time is every 5 seconds for total 25 seconds, so as to analyze the light extraction change relationship after un-coarsening and coarsening.

摘要....................................................i
Abstract................................................ii
誌謝....................................................iii
目錄....................................................v
表目錄..................................................viii
圖目錄..................................................ix
第一章 緒論.............................................1
1.1 LED之發展現況.......................................1
1.2 LED目前發展瓶頸.....................................5
1.3 研究動機............................................7
第二章 薄膜應用與前置作業...............................9
2.1 ITO簡介.............................................9
2.2 ITO 薄膜蒸鍍方式與片電阻量測........................9
2.3 光罩圖騰設計........................................11
第三章 實驗製程與方法...................................15
3.1實驗流程與架構.......................................15
3.2表面潔淨度處理.......................................15
3.3 定義工作區域之黃光作業..............................16
3.4進行乾蝕刻作業.......................................16
3.5去光阻及表面潔淨度處理...............................17
3.6 進行銦錫氧化物ITO之蒸鍍作業.........................17
3.7 進行開孔洞之黃光作業................................17
3.8 ITO 開孔洞 WET ETCH 作業............................18
3.9定義工作區域外之ITO去除作業..........................18
3.10 ALLOY 高溫合金.....................................19
3.11 進行電極區域之黃光作業.............................19
3.12 進行電極之蒸鍍作業.................................20
3.13 LIFT-OFF...........................................20
3.14 點測與粗化作業.....................................21
3.15 光場圖之拍攝.......................................21
第四章 ITO圖案化與光輸出表面粗化之電性與光萃取之差異性..25
4.1 製程穩定度分析與電性亮度............................25
製程穩定度分析..........................................25
120nm 電性與亮度及光場圖分佈............................28
260nm 電性與亮度及光場圖分佈............................30
4.2 ITO厚度穿透率與電流擴散機制差異及蝕刻速率...........33
穿透率差異性............................................33
ITO電流擴散機制變化.....................................34
蝕刻速率................................................35
4.3 光輸出表面粗化與ITO圖案化之差異性...................37
光輸出表面粗化之差異性..................................37
ITO 圖案化之差異性......................................39
不同圖案與蝕刻時間所呈現之衰退現象......................41
不同圖案與大小、間距、比率之電性與亮度差異..............47
失敗模式分析............................................56
圖案化光萃取最佳化電性與亮度與發光效率..................58
第五章 結論.............................................61
參考文獻................................................63
Extended Abstract.......................................66
簡歷....................................................71



[1] N. Holonyak Jr. and S. F. Bevacqua, “Coherent (Visible) Light Emission from Ga(As1-xPx) Junctions,”Appl. Phys. Lett, vol.1, Issue 4, 1962, pp.82-83,.
[2] A.Zukauskas.M.S.Shur & R.Caska,Introduction to Solid-State Lighting,New York, 2002.
[3] 齊宇薇 台灣企業經營績效的影響因素分析:以LED產業為例 國立中央大學 產業經濟研究所 碩士論文,2009。
[4]劉忠祺 結合QFD與TRIZ方法之產品創新設計-以LED照明產品開發為例 國立勤益科技大學 研發與科技管理研究所碩士在職專班 碩士論文,2009。
[5] [10] [13]郭邦彰 高功率LED 先進封裝之散熱分析 高苑科技大學 電子工程研究所 碩士論文,2009。
[6] [14]林德政 消費者選購LED室內照明燈之關鍵評估因素 中華大學 經營管理研究所 碩士論文,2010。
[7] [9] [18]陳省男 台灣LED照明產業發展趨勢與策略分析 國立清華大學 科技管理學院 高階經營管理碩士在職專班(EMBA) 碩士論文,2009。
[8]鄒佩玲 發光二極體的經濟策略與競爭優勢之研究-以X公司為例 亞洲大學 國際企業學系 碩士論文,2005。
[11] Panina L V,Mohri K, Bushida K. et al.Giant magneto-impedance and magneto-inductive effects in amorphous alloys [J].J Appl Phys, 1994, 76,pp.6198-6203.
[12] Delooze P,Panina L V, Mapps D J, et al. Resolution differential magnetic field sensor utilizing asymmetrical magnetoimpedance in multiayer films [J].IEEE Trans Magn, 2004, 40, pp.2664-2666.
[15]林紀羣 LED產業市場推廣之研究與探討-以A公司為例 逢甲大學 經營管理碩士在職專班 碩士論文,2009。
[16] [17] 黃怡潔 LED產業個案分析與產能效益之研究 國立東華大學企業管理學系 碩士論文,2011。
[19] 顏兆詩 LED照明光源色溫度對辦公室閱讀心理影響之研究 國立清華大學 工業工程與工程管理學系 碩士論文,2009。
[20] [21] 江文瑞 台灣可見光二極體上游產業競爭策略 義守大學管理研究所 碩士論文,2004。
[22]余文成 台灣LED產業發展和競爭策略之研究 國立台灣科技大學 工業管理碩士在職專班 碩士學位論文,2005。
[23]張詩意 高功率白光LED之混光實驗、模組設計及模擬優化 國立台灣科技大學 電子工程系 碩士論文 ,2012。
[24] [26] 陳文賓 硫酸鈉與硼酸溶液對導電玻璃窗ITO上鍍鈷的影響 國立台灣師範大學理學院 物理學系 碩士論文,2012。
[25] 謝敏男 熱處理對氧化銦錫薄膜之研究 國立台灣師範大學 機電科技學系 碩士論文 ,2012。
[27] 陳裕閔 ITO夾層對可見光應答TiO2/ITO複合膜特性的影響 國立高雄海洋科技大學 輪機工程研究所 碩士論文,2006。
[28] [29] 廖冠翔 應用鋁鍺共晶於發光二極體覆晶封裝之研究 國立虎尾科技大學 光電與材料科技研究所 碩士論文,2011。
[30] 簡竹模 ITO擴散阻障層直接電鍍銅之研究 國立虎尾科技大學 光電與材料研究所 碩士論文,2007。


QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
無相關期刊
 
系統版面圖檔 系統版面圖檔