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研究生:呂偉豪
論文名稱:以低溫電漿聚合技術沉積可撓式電致色變氧化鎢鐵薄膜於製備、電化學性質及電致色變性質之研究
論文名稱(外文):A Study on the Preparation, Electrochemistry Properties and Eletrochemical Properties of Low temperature Plasma Polymerization deposited Flexible FeWOxCy Thin Film
指導教授:林永森林永森引用關係
口試委員:鍾財王黃昭銘林永森
口試日期:2014-07-24
學位類別:碩士
校院名稱:逢甲大學
系所名稱:化學工程學系
學門:工程學門
學類:化學工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2014
畢業學年度:102
語文別:中文
論文頁數:121
中文關鍵詞:電致色變可撓式低溫電漿聚合技術氧化鎢鐵
外文關鍵詞:ElectrochromicFlexibleLow temperature plasma polymerizationTungsten-Iron oxide
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電致色變(Electrochromism, EC)是現今發展最有前景的智能材料之一。其具有低驅動電壓、具有記憶性、較短的響應時間等優點,能自由的控制室內的明暗,常應用於節能窗戶,目的為有效的節約室內空調及照明所用的能源。因應市場的走向,可撓式電致色變元件也日益受到重視;因其具有輕、薄、耐衝擊、可撓曲及能大量生產(Roll to Roll生產方式)等優勢,故在未來具有較大的發展淺力。
本研究是利用低溫電漿聚合(plasma polymerization )技術,以W(CO)6與Fe(C2H5)2為單體於PET/ITO基材上製備電致色變薄膜氧化鎢鐵,不僅沉積速率快,並能配合可撓式基材在低溫下沉積電致色變薄膜。以不同氧氣比例以及不同鎢鐵混合比例等參數下對薄膜之影響,氧化鎢參雜鐵有助於提升薄膜電致色變性質,在鐵含量佔氧化鎢鐵薄膜20%,波長在550nm時穿透率可達62%,再藉由增加氧氣流量下沉積氧化鎢鐵薄膜,薄膜具有較佳的可逆性,當氧氣流量為17sccm,波長在550nm時穿透率提升為67%,且在任何波長下均具有較高的光學密度(ΔOD)。實驗以最佳參數以循環伏安測試薄膜經過200次循環後,薄膜性質依然保持穩定。並且以循環伏安法、階梯電位法、紫外光-可見光光譜儀進行探討材料電致色變之特性,以及利用冷場發射掃描(FE-SEM)分析鍍膜速率和表面型態,藉由化學分析影像能譜儀(ESCA)分析氧化鎢鐵薄膜材料之化學成分組成。
Electrochromic (Electrochromism, EC) is one of the fastest smart materials promising. in these days. Electrochromic devices contain low drive voltage, shorter response time, and the devices exhibit an open-circuit memory. They can independently control indoor lighting and shade, and usually have application to energy-conserving windows, effectively reaching the goal of saving energy for indoor air conditioning and illumination use. In accordance with market trends, the flexible electrochromic device is more obvious day by day, because of its advantages of the lightweight, flexibility and mass production (can use reels of roll to roll production), and they hold broad-spectrum potential for future development.
This study uses the low temperature plasma polymerization technology to monomer W(CO)6 and Fe (C2H5)2 preparation of flexible electrochromic film for tungsten-Iron oxide deposited on PET/ITO, not only has fast deposition rate but only can be used with flexible plastic substrates deposited film at low temperature. Investigate the effect of film under the different oxygen flow rate and mixing ratios of different tungsten and iron parameters. Iron doped tungsten oxide films help to improve the electrochromic properties. As Iron 20% proportion of the tungsten-Iron oxide film, it can found that improved transmittance change rate can reach to 62% (at 550 nm). And then by increasing the oxygen flow rate of tungsten-Iron oxide film that having a better reversible. When the oxygen flow rate is 17sccm, the transmittance change rate can reach to 67% (at 550 nm) and in any wavelength have the high visible light optic density difference (ΔOD). At the best experimental parameters of tungsten-Iron oxide film test after 200 cycles by the cyclic-voltamogram method. The tungsten-Iron oxide thin film still had good stability. And with cyclic voltammetry, potential step method, UV - visible spectroscopy method to explore the electrochemical properties and electrochromic properties, and the use Field Emission Scanning Electron Microscope was used to analyze the film thickness and its surface morphology, Electron Spectroscopy for Chemical Analysis was applied to the analysis of the chemical configuration in the tungsten-Iron oxide thin film.
致謝 I
摘要 II
ABSTRACT IV
目錄 VI
圖目錄 XI
表目錄 XVI
符號說明 XVIII
第一章 前言 1
1-1概論 1
1-2研究目的 4
第二章 文獻回顧 9
2-1變色材料種類 9
2-2電致色變 9
2-2-1電致色變介紹 9
2-2-2電致色變元件結構 10
2-2-3電致色變材料 13
2-3電致色變薄膜-氧化鎢 15
2-2-1氧化鎢介紹 15
2-2-2氧化鎢變色機制 16
2-2-2-1價間遷移理論 16
2-2-3氧化鎢製備方式 17
2-4摻雜對電致色變氧化鎢薄膜 19
2-4-1摻雜鐵之影響 19
2-5氧氣流量對氧化鎢鐵薄膜之影響 21
2-6電致色變元件可撓式基材之優勢 22
第三章 實驗步驟及方法 24
3-1實驗流程 24
3-1-1實驗基材前處理 24
3-1-2實驗材料及設備 25
3-2電漿聚合鍍膜系統 29
3-3薄膜之電化學性質探討 32
3-3-1循環伏安法(Cyclic Voltammetry) 32
3-3-2階梯電位響應時間分析(Potential Step) 34
3-3-3離子擴散速率計算 36
3-3-4鋰離子(Li+)之值入/遷出值計算 37
3-4薄膜之電致色變性質探討 38
3-4-1薄膜之光學性質探討 38
3-4-2光學密度計算 38
3-4-3著色效益計算 39
3-5薄膜基本性質分析 40
3-5-1 X-ray低掠角繞射分析(XRD) 40
3-5-2薄膜厚度測量(FE-SEM) 40
3-5-3薄膜沉積速率分析 41
3-5-4化學分析影像能譜儀量測(ESCA) 41
第四章 結果與討論 43
4-1可撓式氧化鎢鐵薄膜電化學性質之影響 43
4-1-1不同鎢、鐵混合比例之影響 44
4-1-1-1循環伏安曲線分析 44
4-1-2-2階梯電位響應時間分析 47
4-1-1-2離子擴散係數計算 49
4-1-1-3鋰離子植入/遷出能力分析 50
4-1-2不同氧氣流量之影響 51
4-1-2-1循環伏安曲線分析 51
4-1-2-2階梯電位響應時間分析 54
4-1-2-2離子擴散速率計算 56
4-1-1-3鋰離子植入/遷出能力分析 57
4-2可撓式氧化鎢鐵薄膜電致色變性質之影響 58
4-2-1不同鎢、鐵混合比例之影響 59
4-2-1-1可見光穿透率變化比較 59
4-2-1-2光學密度變化與著色效益計算 62
4-2-2不同氧氣流量之影響 65
4-2-2-1可見光穿透率變化比較 65
4-2-2-2光學密度變化與著色效益計算 68
4-3可撓式氧化鎢鐵薄膜物理性質之影響 71
4-3-1不同鎢、鐵混合比例之影響 71
4-3-1-1薄膜厚度及沉積速率 72
4-3-1-2薄膜表面型態分析 74
4-3-1-3薄膜表面之元素成分及化學態分析 76
4-3-1-4 X光繞射分析 82
4-3-2不同氧氣流量之影響 83
4-3-2-1薄膜厚度及沉積速率 83
4-3-2-2薄膜表面型態分析 86
4-3-2-3薄膜表面之元素成分及化學態分析 88
4-3-2-4 X光繞射分析 94
第五章 結論 95
參考文獻 97
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