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研究生:

江政毅

論文名稱:

雙對準4H碳化矽垂直型金氧半場效電晶體之新穎離子佈植遮罩製程研發

論文名稱(外文):

Development of Novel Implant Masking Processes for Double Self-Aligned 4H-SiC DMOSFETs

指導教授:

黃智方

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

電子工程研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2014

畢業學年度:

102

語文別:

中文

論文頁數:

中文關鍵詞:

4H碳化矽、垂直型金氧半場效電晶體、離子佈植遮罩、自我對準

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點閱:177
評分:
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