致謝 I
摘要 III
Abstract IV
目錄 V
圖目錄 VI
表目錄 VIII
第一章、前言 1
1.1低溫複晶矽薄膜電晶體發展介紹 1
1.2非晶矽薄膜的結晶方法 3
1.3側壁子(spacer)通道結構 7
1.4閘極控制能力 8
1.5薄膜電晶體之基本結構 10
1.6研究動機 11
第二章、製程步驟與電性萃取方法 13
2.1 非對稱汲極與源極側壁子通道結構製程 13
2.2 對稱汲極與源極側壁子通道結構製程 15
2.3平面通道結構製程 17
2.4 電性參數萃取 18
第三章、實驗結果與討論 24
3-1前言 24
3.2模擬結果 25
3.3量測結果與討論 28
第四章、結論 40
參考文獻 41
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