臺灣博碩士論文加值系統

在傳統半導體產業生產過程中，針對製程中屬於後端的晶圓測試流程，需使用比較多數的人力來進行資料確認及資訊回報，在此過程中所耗損的生產時間，間接影響生產效率及降低企業的生產獲利率。本論文研究目的是導入無線射頻辨識(RFID)系統進行自動化物料辨識功能，利用RFID之特性，將所需生產資料及生產完畢之相關資料，進行電子化系統整合，以達到半導體晶圓測試之自動化流程，並能獲得提昇製程效率、降低成本的附加價值特點。
為實現此目的，本論文利用無線射頻辨識(RFID)裝置設備，將半導體測試機台安裝RFID Reader並結合工廠內部的網際網路。利用製造執行系統(MES)跟生產貨物資料進行生產流程控制，將現場生產設備的動作、產能、良率及品質等相關資訊整合，使相關負責生產之人員能及時獲取生產資訊。

關鍵字：晶圓測試、無線射頻辨識(RFID)、製造執行系統(MES)。

In the traditional semiconductor manufacturing process, the back-end wafer testing processes need more manpower to confirm data and information returns. The production time is exhausted in these processes, which affect and decrease the production profitability of businesses. The research purposes of this thesis derived radio frequency identification (RFID) system to conduct automated material identification functions. In order to achieve the automatic semiconductor wafer testing processes, this thesis integrated electronic systems with all relevant production data using RFID. Besides, there are some additional values which include high-quality production, low cost, short delivery and more diversity.
This thesis used RFID system to plant equipment. The semiconductor test machines are installed RFID reader and combined with the interior Internet in factories. The related production staffs can timely access the relevant information via manufacturing execution system (MES) and cargo information to control the production processes. Furthermore, these devices can integrate all related information which contains operation, productivity, yield and quality.

Keywords: Wafer Testing, Radio Frequency Identification (RFID), Manufacturing execution system (MES).

中文摘要 I
Abstract II
誌謝 III
目錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VIII
第一章 前言 1
1.1研究背景與動機 1
1.2研究目的 2
1.3章節說明 3
1.4 研究方塊圖 4
第二章 相關研究探討 5
2.1半導體晶圓測試介紹 5
2.2半導體晶圓測試生產流程 7
2.3 MES之介紹 8
2.3.1 MES之功能 8
2.3.2 MES之成效 10
2.4 RFID 簡介 11
2.4.1 RFID 原理 11
2.4.2 RFID技術 16
第三章RFID應用在MES系統之研究方法 18
3.1研究架構 18
3.2研究步驟 19
3.3資料蒐集 19
3.3.1設備管理關鍵指標定義 19
3.3.2設備產出及設備總和效率分析與管理公式 19
3.3.3半導體測試與OEE之結構關係 20
3.3.4半導體測試費用計算 21
第四章 系統結果與分析 22
4.1 作動原理 22
4.2驗證與測試結果 25
4.3生產自動化系統與OEE關係 29
4.4生產自動化系統之OEE效率分析 29
4.5測試成本效益試算 32
第五章 結果與討論 34
參考文獻 35
論文發表 37
自傳

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