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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:金慧姿
研究生(外文):Huei-Tzu Chin
論文名稱:錫球接合之2T1C主動式有機發光二極體顯示器製程整合研發
論文名稱(外文):New integrated processes for 2T1C AMOLED by tin balls soldering
指導教授:洪勝富
指導教授(外文):Sheng-Fu Horng
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:電子工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2015
畢業學年度:103
語文別:中文
論文頁數:43
中文關鍵詞:錫球接合
外文關鍵詞:Tin balls soldering
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具高解析度、高反應速度以及輕薄的主動式有機發光二極體顯示器,為未來顯示技術的主流。本論文中,設計小型微米級七段顯示器圖樣,應用於本實驗室所研發之具低成本且高輸出電流密度的垂直式空間電荷限制電晶體(Space-Charge-Limited Transistor,SCLT)與有機發光二極體(OLED),將此兩元件分別製作於不同基板上,並利用微米級的導電錫球,搭配植球製具,精確地將兩個元件焊接接合,完成小型七段顯示器,證實SCLT可作為2T1C AMOLED 中之驅動電晶體。因此,我們亦進行2T1C元件的製程設計,並以本實驗室所研發出之穩定strip-off奈米壓印技術,製作SCLT於軟性基板,透過這些初步的實驗結果,促進未來實現可撓性2T1C主動式有機發光二極體顯示器的概念性產品。
Active-matrix organic light-emitting diodes (AMOLED) which have the characteristics of high-resolution, high response time and light will be a mainstream in display technologies. In this thesis, a micron-size seven-segment display pattern was designed to apply on space-charge-limited transistor (SCLT) and OLED fabrication. Then SCLT and OLED were soldered together by 200μm diameter tin balls to make the micron-size seven-segment display. This shows that SCLT can be the driving transistor in 2T1C AMOLED. Besides, we also designed the process of 2T1C device and made SCLT by stable nanoimprint process on the flexible substrate. With the preliminary result of the experience, the products of flexible 2TIC AMOLED display could be made in the near future.
摘要 I
Abstract II
致謝 III
目錄 V
圖目錄 VII
Chapter 1 緒論 - 1 -
1-1 研究背景 - 1 -
1-2 研究動機 - 3 -
1-3 論文架構 - 5 -
Chapter 2 材料與設備簡介與元件原理 - 6 -
2-1 有機材料特性與簡介 - 6 -
2-1.1有機高分子絕緣材料 - 6 -
2-1.2共軛高分子材料 - 7 -
2-1.3壓印材料 - 9 -
2-1.4干涉曝光微影系統 - 9 -
2-1.5油壓式奈米壓印機 - 11 -
2-1.6小分子有機發光二極體材料 - 11 -
2-1.6.1電洞傳輸材料 - 11 -
2-1.6.2電子傳輸材料 - 12 -
2-1.6.3 發光層材料 - 12 -
2-2金屬與半導體界面 - 12 -
2-3有機共軛高分子載子傳輸理論 - 15 -
2-4空間電荷限制電晶體操作原理 - 16 -
2-5 2T1C 電路結構 - 19 -
Chapter 3 垂直式有機電晶體驅動有機發光二極體之整合製程研究 - 21 -
3-1 有機元件的製程 - 21 -
3-1.1 有機薄膜塗佈製程 - 21 -
3-1.1.1 旋轉塗布 - 21 -
3-1.1.2 刮旋塗布 - 21 -
3-1.1.3刮刀塗布 - 22 -
3-1.2空間電荷限制電晶體製程 - 23 -
3-1.2.1 下電極基板圖樣定義 - 23 -
3-1.2.1 基板清洗與表面處理 - 25 -
3-1.2.2奈米金屬網與柱狀結構的製程 - 25 -
3-1.2.3 主動層與上電極 - 26 -
3-1.3有機發光二極體製程 - 27 -
3-2垂直式有機電晶體驅動有機發光二極體之錫球整合製程 - 29 -
3-2.1 錫球接合製程與微型七段顯示器 - 29 -
3-2.1.1 SCLT元件特性量測 - 29 -
3-2.1.2錫球接合製程七段顯示器 - 31 -
3-2.2 2T1C元件製程設計 - 35 -
Chapter 4 壓印製程之可撓式垂直電晶體 - 38 -
Chapter 5總結與未來展望 - 41 -
參考文獻 - 42 -

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